技术编号:19157235
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开的实施方式涉及一种材料沉积布置,包括阀元件。此外,实施方式涉及一种材料沉积腔室。再者,实施方式还涉及一种用于材料的沉积的工艺。特别是,本公开的实施方式涉及在需要蒸发不同材料以形成数层于数个基板上的情况下,如在数种技术领域中使用的数个基板的真空涂布。背景技术用于沉积材料的蒸发工艺一般包含两种基本工艺;热源材料蒸发并接着凝结于基板上。执行蒸发有数个方法,其中一个执行蒸发的方法是热方法,其中例如金属材料供给至加热的半金属上,或置于坩锅中。半金属像是陶瓷。坩锅例如是电加热的。融化的金属材料在源的上...
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