技术编号：19160781
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种组合式真空镀膜系统的生产方法。背景技术本发明试图将每个独立涂层领域的优点最佳地配置到一个集成涂层系统中。特别地，本发明的另一个目的是安装辐射防护罩以防止腔室的污染和热扩散，并分别根据涂覆目的和材料（基质胶）的特性以及操作的便利性来选择和更换靶支架。通过各种方法将新的组件（例如选择腔室形状以最大化性能）应用于各种不同方法的实验研究和生产，以实现第三次涂层开发。发明内容本发明涉及一种集成涂层系统，其中每个独立的系统被捆绑到一个单独的腔室中，例如电子束腔室，溅射腔...
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