一种组合式真空镀膜系统的生产方法与流程

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种组合式真空镀膜系统的生产方法。

背景技术：

本发明试图将每个独立涂层领域的优点最佳地配置到一个集成涂层系统中。特别地，本发明的另一个目的是安装辐射防护罩以防止腔室的污染和热扩散，并分别根据涂覆目的和材料（基质胶）的特性以及操作的便利性来选择和更换靶支架。通过各种方法将新的组件（例如选择腔室形状以最大化性能）应用于各种不同方法的实验研究和生产，以实现第三次涂层开发。

技术实现要素：

本发明涉及一种集成涂层系统，其中每个独立的系统被捆绑到一个单独的腔室中，例如电子束腔室，溅射腔室，热蒸发腔室等。它涉及一种配置和操作的系统制造方法。

本发明的集成涂覆系统能够通过使用第三种材料，即另一种涂覆方法来获得目标，该第三种材料在保持每个独立涂覆系统的特性的同时，不会在一般涂覆系统中获得，并且污染了腔室内部。尽量保持克制。另外，通过更换辐射屏蔽罩，可以减少清洁时间并减少人力浪费，并且由于腔室的形状适用于箱门式，因此可以轻松进行a/s。

另外，本发明的特征之一是操纵器的安装，该操纵器能够随着目标支架的旋转和射流（z）运动而移动。这是因为在涂覆方法中，由于对目标的瞄准和位置（距离）的选择非常重要，因此可以通过改变传统的位置固定方式来实现最佳涂覆。另外，在使用热源时，高压馈电回转经过专门设计来改变位置调节，并且可以安装任何类型的热源，并且可以上下调节快门。确实如此。

另外，在进行常规靶加热器的安装以完全通过固定（固定）来防止应用的情况下，将根据涂层性能选择本发明的生产设备并通过安装pbn加热器，sic加热器，fecral加热器等来代替。

另外，在安装靶架时，本发明可以根据靶的特性来安装普通的靶架，并且在对腔室大气温度或温度敏感的靶的情况下，可以通过将其变为水冷套型来进行安装，测试，研究和生产。

如上所述，在本发明中，在每个独立设备中获得的涂覆方法仅利用了集成的优势，从而降低了设备采购成本和制造成本，并通过共涂覆获得了第三样品，并且还在产品开发，研究和生产的过程中。本发明将具有防止由于迁移引起的质量下降的效果。

附图说明

图1是根据本发明实施例的安装在集成真空镀膜系统的腔室中的组件的视图；

图2是本发明的一些组件的剖视图；

图3是制造本发明的一些部件的剖视图；

图4是图3的部件安装制造图；

图5是图2的部件安装制造图；

图6是示出根据本发明的部件的安装的剖视图；

图7是本发明的部件的截面图；

图8是本发明的构造和制造截面图。

图中：10腔室，11（a）喷枪辐射防护罩，12视口百叶窗，13腔室门的连接部分，14门，15密封部分，16备用端口，17底板，18腔内壁，20喷射，（z）运动机械手，20a波纹管支撑部分，20b机械手驱动部分，21a目标面罩齿轮驱动器，21b目标面罩齿轮驱动器，21b-1：目标罩百叶窗邮件齿轮，21b-2：目标罩百叶窗邮件齿轮，21c：整个目标罩齿轮驱动部分，22滚珠轴承，23径向护罩，30电动机驱动部，30a电动机轴与冷却轴之间的连接部，31水冷却部件，31a：氟橡胶o型圈，31b：sts圈，32冷却管，33冷却组件的支撑螺钉，40加热元件（a），50加热器加热目标支架，51加热元件（b），52磁铁，53目标罩，53a蝶形螺栓，54目标（a），55靶孔，60水冷却靶支架，60a：水，61冷却套支架，63靶罩，64靶（b），70高真空泵，71低真空泵，72a高真空阀，72b：perline阀，72c旁通阀，72d艾默生阀，73贝克表压传感器，80腔室冷却线，90太阳能电对投掷，100电子束枪，101飞溅枪，101a热逃逸源，102高压馈通，103船闸，103a目标罩闸，104水冷却接头。

具体实施方式

参照附图，将描述根据本发明实施例的集成真空涂覆设备的构造。

具体实施方式图1是根据本发明的实施例的集成真空涂覆系统的腔室中的腔室10构造，喷射旋转（z）旋转操纵器构造以及靶保持器。50）部件，加热元件40部件，舵罩11、11a，103部件以及根据涂覆方法（100、101、102）的涂覆等。

在本发明的集成涂层系统中，腔室10采用箱门13和14的形式，材料由sus304制成，并且腔室的表面18在抛光后进行电解处理。另外，腔室的外壁被冷却线80和104包裹。另外，门的密封（密封）使用的是vitono形圈（15）。另外，制造三个视口百叶窗12并将其安装在门上以观察腔室内部。此外，腔室底板（17）根据国际标准is0进行法兰连接以安装组件。它的设计和制造能够在以后的实验，研究和生产中随时更改涂覆方法。不要忘记在腔室的外墙上安装备用端口/16。

另外，本发明的喷射（z）运动旋转操纵器构造（20、20a，b，30）是为了能够进行电动机驱动（30/速度可调）和上下调节（20：±150）。这些组件是使用电动机，符合is0的法兰，波纹管，手柄，齿轮和测距仪设计和制造的。如上所述，进行了本发明的应用，从而可以针对用户的实验，研究和生产最优地设定靶与涂布枪之间的距离。

特别地，考虑到材料的特性来选择靶支架构造（图2、3、4），因为靶（54、64/样品或晶片）的温度对实验，研究和生产具有非常显着的影响。（图2或3），它被安装。如上所述，本发明的目标保持器可以在水冷下上下旋转保持器并旋转至目标掩模。并且安装支架61以保持腔室内的压力，并且冷却管32/in深深地连接在夹套中以保持水61a的恒定温度分布。另外，通过磁铁52或蝶形螺栓（53a）来选择固定掩模53的固定。

另外，加热元件40、51组件被配置为根据用户的选择进行安装（pbn，sic，fecral等）。

另外，在基本屏蔽罩11、11a，103的构造中，设置了一个基本屏蔽罩以防止污染原始腔室的内壁并促进腔室的清洁。第二，使腔室内的环境温度保持恒定也是有利的。第三，可以根据是否使用枪来使用枪来防止枪的污染，并且可以使从枪产生的扩散热最小化，并且可以防止来自侧枪的涂料。有。另外，由于每把枪都装有百叶窗，因此涂料可以同时使用或以不同顺序操作，从而使用户可以自行决定是否进行操作。

另外，根据本发明的涂覆方法（100、101、102）中的构造（取决于喷枪的类型），考虑到用户对基板17的要求，在is0标准法兰中的溅射101方法中，该射束枪100），备用端口[（16）：iso标准法兰]可以制造成易于根据热源102的数量进行安装，并可以根据用户的选择和热源进行轻松更改在这种情况下，由于高压馈通线（材料：ofhc）是专门设计和安装的，因此本发明制造的夹具可用于调节上部（+100），下部（-50），左右电源的位置。可以根据用户的选择进行调整。

可以根据用户的选择安装其他泵送零件，mfc，仪表，阀门和其他组件。

技术特征：

1.在根据集成共涂覆真空系统的涂覆方法的用于真空涂覆的集成真空涂覆设备中,该表面在抛光后经过电解处理，并在腔室的外壁上具有一个或多个备用端口，并通过o形圈密封；被拉入箱门腔并被驱动旋转和喷射运动，包括电动机，符合is0的法兰，波纹管，手柄，齿轮，行程计和目标支架，以保持目标支架的恒定温度分布一种机械手，其具有插入有冷却管的冷却套，一种底板，在is0标准法兰上装有两个或多个信号源，并具有备用端口，以便以后可以根据用户的选择轻松更换；和包括；安装在腔室部分内壁上的辐射悬架，该源的特征在于，来自由溅射源，蒸发源，热源，电子束源，epizone电池源，可固化衬里源，离子源或激光沉积源组成的源群中的至少两个或更多个被组合，集成式真空镀膜单元，包含一般独立的镀膜单元。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述热源，集成了通用独立涂层设备的集成真空涂层设备，其特征在于，高压进给装置配备了用于向上，向下，向左和向右位置可变调整的源夹具。

3.根据权利要求1的方法，安装在喷枪和喷枪之间的辐射谢尔；和以及安装在喷枪中的百叶窗，以同时或有序地操作涂层，从而可以根据用户的意愿操作涂层。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述靶支架，包括加热器或水冷套，

结合有通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，安装了靶支架掩模。

5.根据权利要求5的方法电机轴和冷却套轴之间的连接接头，结合有通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，冷却管安装在冷却套轴的内部。

6.根据权利要求1的方法，结合了通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，所述靶保持器轴和所述靶掩模通过电动机单独或同时旋转，并且所述菜单板和冷却轴以中空类型连接。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括使冷却轴平稳旋转并防止变形的轴承装置，并且还包括在目标罩中的齿轮和滚珠轴承装置。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述冷却轴，集成有通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，入口冷却连接器和出口冷却连接器以预定距离安装，并且目标保持器和面罩固定件使用磁体或蝶形螺栓安装。

技术总结
本发明公开了一种组合式真空镀膜系统的生产方法，包括腔室（10），Z和旋转操纵器单元，靶支架单元（50），加热元件单元（40），辐射屏蔽单元（11,11a，103）和单位（100,101,102）基于涂覆方法。在此，组合涂覆真空系统的涂覆方法使用溅射源，蒸发源，热源，电子束源，喷射池，坩埚和衬里，离子蚀刻源和激光沉积源方法。提供一种生产组合式真空镀膜系统的方法，该方法仅在具有从单个系统获得的优点的情况下应用于组合式系统，并保持在组合式涂覆系统中建立的最佳状态。

技术研发人员：张海富
受保护的技术使用者：江苏坤载新材料科技有限公司
技术研发日：2019.09.23
技术公布日：2019.11.15