具缓冲区的非线性式镀膜设备的制造方法

文档序号:10916544
具缓冲区的非线性式镀膜设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种具缓冲区的非线性式镀膜设备,包含有一入料室、一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置与多个溅镀室,其中该入料室供置入一载具,该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具,该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向,且该第一方向与一第二方向垂直,并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构,该溅镀室于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置,并设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧;本实用新型可以缩减该第一方向的长度,同时可以因应工艺需要,自由选择需要的溅镀室进行镀膜,而增加溅镀室的利用效率,以增加产能。
【专利说明】
具缓冲区的非线性式镀膜设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种镀膜设备,尤指一种具缓冲区的非线性式镀膜设备。
【背景技术】
[0002]真空镀膜技术是利用物理或化学手段,于一抽真空的环境中,将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、导电和绝缘等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命等作用,并已应用于航空、电子、机械、化工、军事等领域。
[0003]不同的产品,因应工艺条件的不同,如要达到最佳的镀膜质量,其所需要的镀膜时间会不同,甚至需要不同的镀膜材料;而如现有中国台湾新型专利公告第M426600号的“连续式真空镀膜设备输送装置”所述的镀膜设备,其为连续式与循环输送设计,其一次送入进行镀膜的产品,只能给予相同的镀膜材料与镀膜时间,因此为了确保镀膜质量,其只能适用于需要相同镀膜材料与镀膜时间的产品,因此当有多批产品需要进行镀膜时,其必须等待前一批产品的镀膜程序完全处理完毕之后,才能调整工艺参数,如更换靶材,调整镀膜时间与参数等等之后,才能进行下一批产品的镀膜作业,显然其溅镀室无法有效充分利用,会减损利用效率,而减损广能。
[0004]另,上述现有的镀膜设备,其虽然可以不须额外设置一循环输送设备于镀膜设备之外,以减少占地空间,然而此类设计的镀膜设备,虽然将循环输送设备整合于镀膜设备内可以减少循环输送设备的占地空间,然而,相较于循环输送设备来说,镀膜设备因包含多个大型机台,且随着镀膜技术、材料的演进与应用领域的增加,使镀膜设备所占的长度会随着为不同工艺的需求而有所变化;此外为了增加镀膜设备的通用性,一般会倾向设计为具有较久镀膜时间(较长的溅镀室)或可使用镀膜材料(较多的溅镀室),也就是说通用性的镀膜设备,其镀膜设备的长度通常都相当的长,其长度对于厂房来说,往往是一大考验。现有厂房在没有改建的前提下,通常难以满足新工艺镀膜设备的长度需求。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的主要目的,在于提供一种具缓冲区的非线性式镀膜设备,解决现有镀膜设备要增加镀膜时间与镀膜材料而导致长度增加,无法直接设置于现有厂房的问题。
[0006]本实用新型的次要目的,在于解决现有镀膜设备的时间利用效率不高,无法增加产能的问题。
[0007]为达上述目的,本实用新型提供一种具缓冲区的非线性式镀膜设备,对一载具上的一基材进行镀膜,其包含有一入料室、一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置与多个溅镀室,其中该入料室供置入该载具,而该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具,该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向,且该第一方向与一第二方向垂直,并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构,而该些溅镀室于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置,并该些溅镀室设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧。
[0008]其中,更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的缓冲输送室,该缓冲输送室为串联排列于该第一方向,且该缓冲输送室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。
[0009]其中,更包含一供置放该载具的载具置放台,该载具置放台邻近该入料室设置。
[0010]其中,该镀膜缓冲转向装置具有一降压腔体,该传送机构设置于该降压腔体内,该传送机构具有一第一方向传动轮与一可升降的第二方向传动轮,该第二方向传动轮具有一让该载具进出该溅镀室的升起位置,与一让该载具接触该第一方向传动轮的下降位置。
[0011]其中,该第二方向传动轮设置于一升降板上,该升降板设置于该镀膜缓冲转向装置上。
[0012]其中,更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的出料室,该出料室为串联排列于该第一方向,且该出料室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。
[0013]其中,该入料室具有一传送该载具至该镀膜缓冲转向装置的入料传送轮,而该出料室具有一承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具的出料传送轮。
[0014]其中,该出料室具有一供放置该载具的出料升降台,该镀膜缓冲转向装置具有位于下方的一回传输送轮,该入料室具有一供放置该载具的入料升降台,该出料升降台、该回传输送轮与该入料升降台构成一将该载具自该出料室传送至该入料室的回传装置。
[0015]其中,该镀膜缓冲转向装置更具有一降压栗与一加热元件。
[0016]其中,该至少一溅镀室分别设置一具一移动自由度的溅镀源。
[0017]综上所述,本实用新型让该些溅镀室设置于该第二方向,因此可以缩减于第一方向的长度,满足现有厂房的规格,而不需大规模改建。另,该镀膜缓冲转向装置的传送机构可以因应工艺需要,将需要镀膜的基材的载具选择送入特定的溅镀室进行镀膜,亦即不同的载具可以自由选择需要的溅镀室进行镀膜,因此溅镀室不会有空闲时间,可增加溅镀室的利用效率,进而增加产能。
[0018]以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述,但不作为对本实用新型的限定。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型的设备配置前视示意图。
[0020]图2为本实用新型的设备配置俯视示意图。
[0021 ]图3为本实用新型镀膜缓冲转向装置结构图。
[0022]图4A?图4C为本实用新型使用示意图。
[0023]图5为本实用新型另一实施的设备配置俯视示意图。
[0024]其中,附图标记:
[0025]10、10A、10B、10C、10D、10E 载具
[0026]11基材
[0027]20载具置放台
[0028]30入料室
[0029]31入料传送轮
[0030]32入料升降台
[0031]40镀膜缓冲转向装置
[0032]401降压腔体
[0033]41缓冲区
[0034]42传送机构
[0035]421第一方向传动轮
[0036]422第二方向传动轮
[0037]43升降板
[0038]44回传输送轮
[0039]45降压栗
[0040]46加热元件[0041 ]50出料室
[0042]51出料传送轮
[0043]52出料升降台
[0044]60A、60B、60C、60D 溅镀室
[0045]61溅镀源
[0046]70回传装置
[0047]80清洁室
[0048]90缓冲输送室
[0049]91缓冲传送轮
【具体实施方式】
[0050]有关本实用新型的详细说明及技术内容,现就配合图式说明如下:
[0051]请参阅图1、图2与图3所示,本实用新型为一种具缓冲区的非线性式镀膜设备,对一载具10上的一基材11(为求图面的简洁,仅绘制于部分的载具10)进行镀膜,其包含有一供置放该载具10的载具置放台20、一入料室30、一紧邻该入料室30的镀膜缓冲转向装置40、一紧邻该镀膜缓冲转向装置40的出料室50与多个紧邻该镀膜缓冲转向装置40的溅镀室60A、60B、60C、60D,其中该入料室30供置入该载具10,该载具置放台20邻近该入料室30设置,以方便让该载具1移载至该入料室30,而该镀膜缓冲转向装置40承接来自该入料室30的该载具10,该出料室50则承接来自该镀膜缓冲转向装置40的该载具10,该入料室30可以具有一传送该载具10至该镀膜缓冲转向装置40的入料传送轮31,而该出料室50可以具有一承接来自该镀膜缓冲转向装置40的该载具10的出料传送轮51。
[0052]该入料室30、该镀膜缓冲转向装置40与该出料室50为串联排列于一第一方向,且该第一方向与一第二方向垂直,并该镀膜缓冲转向装置40具有至少一缓冲区41与一设置于该缓冲区41且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构42,而该些溅镀室6(^、608、60(:、600于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置40设置,该些溅镀室60A、60B、60C、60D设置于该镀膜缓冲转向装置40的该至少一缓冲区41的两侧,较佳的,该至少一溅镀室60A、60B、60C、60D可以分别设置于该镀膜缓冲转向装置40的上下两侧,且可并排设置,如图所示,为四个溅镀室60A、60B、60C、60D的实施样态;并该传送机构42为于该镀膜缓冲转向装置40及该溅镀室60A、60B、60C、60D之间传送该载具10,且值得一提的是,该至少一缓冲区41与该至少一溅镀室60A、60B、60C、60D的数量为相互对应的,每一缓冲区41至多可以对应两个溅镀室60A、60B、60C、60D,而如图所示,为二个缓冲区41的实施样态。
[0053]又,该镀膜缓冲转向装置40可以具有一降压腔体401,该传送机构42设置于该降压腔体401内,该传送机构42具有一第一方向传动轮421与一可升降的第二方向传动轮422,该第二方向传动轮422具有一让该载具10进出该溅镀室60A、60B、60C、60D的升起位置,与一让该载具10接触该第一方向传动轮421的下降位置,该第一方向传动轮421为传送该载具10沿该第一方向移动,而该第二方向传动轮422则传送该载具10沿该第二方向移动。在实施上,该第二方向传动轮422可以设置于一升降板43上,让该升降板43设置于该镀膜缓冲转向装置40上,借由该升降板43的升降,即可让该第二方向传动轮422转换为升起位置或下降位置。
[0054]另,为了操作上的便利性,该出料室50更可以具有一供放置该载具10的出料升降台52,该镀膜缓冲转向装置40具有位于下方的一回传输送轮44,该入料室30具有一供放置该载具10的入料升降台32,该出料升降台52、该回传输送轮44与该入料升降台32,构成一将该载具10自该出料室50传送至该入料室30的回传装置70,如此即可将该载具10回送至该入料室30。
[0055]此外,为了提升工艺良率,该入料室30与该镀膜缓冲转向装置40之间可以设置一清洁室80,借以清洁该载具10上的该基材11,且该镀膜缓冲转向装置40更可以具有一降压栗45与一加热元件46,该降压栗45可抽真空,该加热元件46可以进行加热,借以进行初期降压与加热等处理,进一步提高工艺的良率。另该至少一溅镀室60A、60B、60C、60D可以分别设置一具一移动自由度的溅镀源61,其可增加该基材11的镀膜均匀度。
[0056]请再一并参阅图4A?图4C所示,为本实用新型的使用示意图,首先如图4A,多个载具10A、10B、10CU0D为经过该入料室30、该镀膜缓冲转向装置40而进入该些溅镀室60A、60B、60C、60D,以进行镀膜。而该些溅镀室60A、60B、60C、60D可以进行相同的镀膜材料,但可依据该载具1A、1B、1C、1D的基材11特性改变镀膜时间。因此,如图4B所示,溅镀室60A内先完成镀膜的该载具1A,可以先经由该出料室50与该回传装置70回传至该入料室30,以供取出。接着,如图4C所示,可再置入新的该载具1E进入该溅镀室60A。如此即可充分利用该些溅镀室6(^、6(?、60(:、600,充分发挥该些溅镀室6(^、608、60(:、600的利用效率,以增加产會K。
[0057]请再一并参阅图5所示,此外,紧邻该镀膜缓冲转向装置40的出料室50,亦可改为设置为一紧邻该镀膜缓冲转向装置50的缓冲输送室90,该缓冲输送室90同样为串联排列于该第一方向,且该缓冲输送室90承接来自该镀膜缓冲转向装置40的该载具10,且该缓冲输送室90可以具有一承接来自该镀膜缓冲转向装置40的该载具10的缓冲传送轮91。据此,于本实施例中,镀完膜的该载具10可以暂存于该缓冲输送室90,当在该镀膜缓冲转向装置40(缓冲区41)、清洁室80、入料室30皆没有该载具10时,即可利用该镀膜缓冲转向装置40(缓冲区41)反向传送该缓冲输送室90上的该载具1,让该载具1回到该入料室30,以方便取放该载具10,其充分利用该镀膜缓冲转向装置40(缓冲区41),可以节省设备成本(即设置该回传装置70的成本),对于镀膜时间长的工艺来说,相当的适合使用。
[0058]综上所述,本实用新型具有以下特点:
[0059]—、通过让该至少一溅镀室设置于该第二方向,因此可以缩减于第一方向的长度,满足现有厂房的规格。
[0060]二、充分利用溅镀室,可减少溅镀室的设置数量,减少设备的占用面积。
[0061]三、不同的载具可以因应工艺需要,自由选择需要的溅镀室进行镀膜,同时增加溅镀室的利用效率,以增加产能。
[0062]四、借由回传装置或缓冲输送室的设置,让工作人员于该载具置放台处,即可取出基材已镀好膜的该载具,以节省人力配置。
[0063]五、于该镀膜缓冲转向装置的降压腔体即可进行初期降压,可提高工艺的良率。
[0064]当然,本实用新型还可有其它多种实施例,在不背离本实用新型精神及其实质的情况下,熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种具缓冲区的非线性式镀膜设备,对一载具上的一基材进行镀膜,其特征在于,包含有: 一入料室,该入料室供置入该载具; 一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置,该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具,该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向,且该第一方向与一第二方向垂直,并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构;以及 多个于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置的溅镀室,该溅镀室设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧。2.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的缓冲输送室,该缓冲输送室为串联排列于该第一方向,且该缓冲输送室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。3.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,更包含一供置放该载具的载具置放台,该载具置放台邻近该入料室设置。4.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,该镀膜缓冲转向装置具有一降压腔体,该传送机构设置于该降压腔体内,该传送机构具有一第一方向传动轮与一能升降的第二方向传动轮,该第二方向传动轮具有一让该载具进出该溅镀室的升起位置,与一让该载具接触该第一方向传动轮的下降位置。5.根据权利要求4所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,该第二方向传动轮设置于一升降板上,该升降板设置于该镀膜缓冲转向装置上。6.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的出料室,该出料室为串联排列于该第一方向,且该出料室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。7.根据权利要求6所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,该入料室具有一传送该载具至该镀膜缓冲转向装置的入料传送轮,而该出料室具有一承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具的出料传送轮。8.根据权利要求6所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,该出料室具有一供放置该载具的出料升降台,该镀膜缓冲转向装置具有位于下方的一回传输送轮,该入料室具有一供放置该载具的入料升降台,该出料升降台、该回传输送轮与该入料升降台构成一将该载具自该出料室传送至该入料室的回传装置。9.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,该镀膜缓冲转向装置更具有一降压栗与一加热元件。10.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备,其特征在于,该至少一溅镀室分别设置一具一移动自由度的溅镀源。
【文档编号】C23C14/34GK205603665SQ201620452267
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月17日
【发明人】杨智仁, 林忠炫, 余端仁
【申请人】友威科技股份有限公司
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