一种多边圆形镀膜设备腔体的制作方法

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一种多边圆形镀膜设备腔体的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种多边圆形镀膜设备腔体,包括腔体本体,所述腔体的一侧设有连接管道,另一侧设有腔门,腔门与腔体铰接,腔体的外侧壁为多边形结构,侧壁处设有蒸发源过渡法兰,其顶部设有方向校正过渡法兰,腔体的内部设有压力感应器,腔体的外壁设有数显屏,数显屏与压力感应器相连接,改善设备结构,形状为“多边形圆形”,从而缩短抽空时间和空间利用率。
【专利说明】
一种多边圆形镀膜设备腔体
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及镀膜领域,特别涉及一种多边圆形镀膜设备腔体。
【背景技术】
[0002]目前,镀膜技术一般分为干式镀膜与湿式镀膜两种方法。干式镀膜主要利用气相沉积的方法,包括真空蒸镀,真空溅镀等。湿式镀膜主要利用液相沉积的方法,是指将待镀的基板置于电解质溶液中,通过电镀法或化学镀法,使其表面形成膜层。其中,湿式镀膜制程具有制程设备简单、便宜、沉积速率快、易控制沉积厚度、制程温度低、不受限于形状复杂之基板、适用于多样性材料、更可在软性基材上镀膜等优点。
[0003]但是现有镀膜设备腔体多为圆形结构,空间大,使用效率低,空间大,抽空时间长。【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多边圆形镀膜设备腔体,以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。
[0005]为实现上述目的,本实用新型提供以下的技术方案:一种多边圆形镀膜设备腔体,包括腔体本体,所述腔体的一侧设有连接管道,另一侧设有腔门,腔门与腔体铰接,腔体的外侧壁为多边形结构,侧壁处设有蒸发源过渡法兰,其顶部设有方向校正过渡法兰,腔体的内部设有压力感应器,腔体的外壁设有数显屏,数显屏与压力感应器相连接。
[0006]优选的,所述多边形结构的剖面为梯形结构。
[0007]优选的,所述腔门与腔体铰接处通过铰接合页相连接。
[0008]优选的,所述腔体的顶部设有透气孔。
[0009]优选的,所述透气孔处设有盖板。
[0010]采用以上技术方案的有益效果是:本实用新型结构的多边圆形镀膜设备腔体,改善设备结构,形状为“多边形圆形”,从而缩短抽空时间和空间利用率。
[0011]腔体内设有压力感应器,可以检测出腔体内的压力,并通过数显屏显示出来,可以将盖板打开调节腔体内的气压。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图。
[0013]其中,I一腔体、2--连接管道、3--腔门、4--蒸发源过渡法兰、5--方向校正过渡法兰、6—压力感应器、7—数显屏、8—铰接合页、9一透气孔、10-盖板。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
[0015]图1出示本实用新型的【具体实施方式】:一种多边圆形镀膜设备腔体I,包括腔体I本体,所述腔体I的一侧设有连接管道2,另一侧设有腔门3,腔门3与腔体I铰接,腔体I的外侧壁为多边形结构,侧壁处设有蒸发源过渡法兰4,其顶部设有方向校正过渡法兰5,腔体I的内部设有压力感应器6,腔体I的外壁设有数显屏7,数显屏7与压力感应器6相连接。
[0016]多边形结构的剖面为梯形结构;腔门3与腔体I铰接处通过铰接合页8相连接;腔体I的顶部设有透气孔9 ;透气孔9处设有盖板10。
[0017]本实用新型结构的多边圆形镀膜设备腔体,改善设备结构,形状为“多边形圆形”,从而缩短抽空时间和空间利用率。
[0018]腔体内设有压力感应器,可以检测出腔体内的压力,并通过数显屏显示出来,可以将盖板打开调节腔体内的气。
[0019]以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种多边圆形镀膜设备腔体,包括腔体本体,其特征在于,所述腔体的一侧设有连接管道,另一侧设有腔门,腔门与腔体铰接,腔体的外侧壁为多边形结构,侧壁处设有蒸发源过渡法兰,其顶部设有方向校正过渡法兰,腔体的内部设有压力感应器,腔体的外壁设有数显屏,数显屏与压力感应器相连接。2.根据权利要求1所述的多边圆形镀膜设备腔体,其特征在于,所述多边形结构的剖面为梯形结构。3.根据权利要求1所述的多边圆形镀膜设备腔体,其特征在于,所述腔门与腔体铰接处通过铰接合页相连接。4.根据权利要求1所述的多边圆形镀膜设备腔体,其特征在于,所述腔体的顶部设有透气孔。5.根据权利要求4所述的多边圆形镀膜设备腔体,其特征在于,所述透气孔处设有盖板。
【文档编号】C23C14/22GK205676529SQ201620441930
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年5月14日 公开号201620441930.5, CN 201620441930, CN 205676529 U, CN 205676529U, CN-U-205676529, CN201620441930, CN201620441930.5, CN205676529 U, CN205676529U
【发明人】武文全
【申请人】佛山市佛欣真空技术有限公司
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