太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，包括框架总成，框架总成中布置有电源装置和前进机构，框架总成内布置有第一承板和第二承板，第一承板上布置有多个第一套管，第二承板上布置有第二套管，每个第一套管与其相对应的第二套管之间形成夹套空间，第二承板和第二板之间安装有耐热驱动电机，耐热驱动电机的旋转端驱使第二套管沿其安装轴旋转，耐热驱动电机通过耐热导线和电源装置连通，框架总成在前进机构的带动下进入溅射镀膜室，耐热驱动电机驱使太阳能集热钢管做径向转动，框架总成带着太阳能集热钢管沿着前进方向垂直通过若干个溅射镀膜靶下方或一侧，这样可以在超长的太阳能集热钢管表面均匀镀膜。
【专利说明】
太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备，特别是一种太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架。
【背景技术】
[0002]目前对太阳能集热钢管的镀膜，一是立式、卧式单罐多靶溅射镀膜设备中完成。缺点是每次镀膜完成，都要破坏真空放大气开门卸、装钢管，工作效率低。二是一种钢管连续溅射镀膜设备，设置有前后预抽真空室，镀膜靶室与预抽真空室连接有真空门锁，进出钢管时镀膜室的真空不受影响。设置有传动装置使钢管可向前运动。镀膜室在钢管的端部设置有摩擦转动装置，使钢管在镀膜室前进的同时做切向转动，使钢管能均匀的溅射镀膜。钢管与溅射靶成平行状态。由于钢管与溅射靶成平行状态，所以溅射靶的长度要长于钢管，才能保证镀膜的均匀性。对镀制4060mm长度的钢管，溅射靶和真空室的制造难度大，造价很高。钢管的长度增至8000mm时根本无法实现。
[0003]本实用新型克服了上述太阳能集热钢管的溅射镀膜设备的缺陷。开发出一种新的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的，在于提供一种太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架。
[0005]本实用新型解决其技术问题的解决方案是:太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，包括通过第一板、第二板以及位于第一板和第二板之间的两块侧板围成的框架总成，所述框架总成中布置有电源装置和驱使框架总成前进的前进机构，框架总成内布置有分别与第一板平行的第一承板和第二承板，所述第一承板上布置有多个沿其安装轴旋转的第一套管，所述第二承板上布置有与第一套管相匹配的第二套管，每个所述第一套管与其相对应的第二套管之间形成夹套空间，第二承板和第二板之间安装有耐热驱动电机，所述耐热驱动电机的旋转端直接或者间接驱使第二套管沿其安装轴旋转，所述耐热驱动电机通过耐热导线和电源装置连通。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进，所述耐热驱动电机包括普通电机以及包裹在普通电机外表面的电机蓄热箱，耐热驱动电机与电源装置通过耐热导线连通供电。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述电源装置包括位于两块侧板外侧的动电刷，所述动电刷与太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备中的定电刷匹配后形成耐热驱动电机的供电电源。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进，所述电源装置包括位于电机蓄热箱内部的蓄电池，所述蓄电池通过导线与耐热驱动电机直接相连，所述蓄电池的外表面完全被电机蓄热箱包裹。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进，所述电机蓄热箱包括上箱体和下箱体，所述上箱体的上端面布置有至少一个进水孔，所述下箱体的下端面布置有至少一个出水孔，每一个所述进水孔和其相匹配的出水孔之间布置有冷却通道，所述冷却通道位于上箱体和下箱体扣合后的蓄热箱体中。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进，所述前进机构包括分别位于两块侧板下端面的前进齿条，每条所述前进齿条与其所在的侧板之间布置有齿条座。
[0011]作为上述技术方案的进一步改进，两块侧板分为上侧板和下侧板，所述上侧板位于下侧板的上方，所述第一板和第二板竖直布置，所述前进机构包括位于下侧板下端面的前进齿条，所述前进齿条与下侧板之间布置有齿条座。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进，每个所述第二套管均配置一个从动齿轮，相邻的两个所述从动齿轮之间布置有中间齿轮，所述耐热驱动电机旋转输出端上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与其中一个从动齿轮啮合，所述中间齿轮安装在第二承板上。
[0013]作为上述技术方案的进一步改进，所述电机蓄热箱为比热容大的金属材料构件，或者，所述电机蓄热箱包括金属外壳以及填充在金属外壳内的相变蓄热材料。
[0014]作为上述技术方案的进一步改进，所述电机蓄热箱的外表面四周设置有隔热板。
[0015]本实用新型的有益效果是:本实用新型通过在框架总成布置电源装置和耐热驱动电机，那么当将4000mm以上的太阳能集热钢管嵌在第一套管和第二套管之间后，框架总成在前进机构的带动下进入溅射镀膜室，耐热驱动电机驱使太阳能集热钢管做径向转动，框架总成带着太阳能集热钢管沿着前进方向垂直通过若干个溅射镀膜靶下方或一侧，直至通过最后一个溅射镀膜靶脱离时，太阳能集热钢管的径向转动停止;这样可以在超长的太阳能集热钢管表面均匀镀膜，溅射靶的长度无需长于钢管长度。另外，在耐热驱动电机表面包裹有电机蓄热箱，通过电机蓄热箱将溅射镀膜室镀膜过程辐射到蓄热箱外表产生的热量和电机工作产生的热量有效地储存。保证耐热驱动电机能处于高真空、高温下，正常工作，驱动太阳能集热钢管自转，保证太阳能集热钢管表面的镀膜质量。
【附图说明】
[0016]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他设计方案和附图。
[0017]图1是本实用新型的俯视图；
[0018]图2是本实用新型的侧视图；
[0019]图3是本实用新型中标注A所框选部分的放大图；
[0020]图4是本实用新型中标注B所框选部分的放大图。
【具体实施方式】
[0021]以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，文中所提到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。
[0022]参照图1?图4，太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，包括通过第一板10、第二板11以及位于第一板10和第二板11之间的两块侧板12围成的框架总成I，所述框架总成I中布置有电源装置和驱使框架总成I前进的前进机构，框架总成I内布置有分别与第一板10平行的第一承板13和第二承板14，所述第一承板13上布置有多个沿其安装轴旋转的第一套管4，所述第二承板14上布置有与第一套管4相匹配的第二套管5，每个所述第一套管4与其相对应的第二套管5之间形成夹套空间，第二承板14和第二板11之间安装有耐热驱动电机3，所述耐热驱动电机3的旋转端直接或者间接驱使第二套管5沿其安装轴旋转，所述耐热驱动电机通过耐热导线和电源装置连通。耐热驱动电机3可以为可直接置于溅射镀膜室且正常工作的电机，耐热驱动电机3也可以为包括普通电机以及包裹在普通电机外表面包裹的电机蓄热箱2，耐热驱动电机3与电源装置通过耐热导线连通供电。
[0023]通过在框架总成I布置电源装置和耐热驱动电机3，那么当将4000mm以上的太阳能集热钢管嵌在第一套管4和第二套管5之间后，框架总成I在前进机构的带动下进入溅射镀膜室，耐热驱动电机3驱使太阳能集热钢管做径向转动，框架总成I带着太阳能集热钢管沿着前进方向垂直通过若干个溅射镀膜靶下方或一侧，直至通过最后一个溅射镀膜靶脱离时，太阳能集热钢管的径向转动停止;这样可以在超长的太阳能集热钢管表面均匀镀膜，溅射靶的长度无需长于钢管长度。另外，在耐热驱动电机3表面包裹有电机蓄热箱2，通过电机蓄热箱2将溅射镀膜室镀膜过程辐射到蓄热箱外表产生的热量和电机工作产生的热量有效地储存。保证耐热驱动电机3能处于高真空、高温下，正常工作，驱动太阳能集热钢管自转，保证太阳能集热钢管表面的镀膜质量。
[0024]进一步作为优选的实施方式，所述电源装置包括位于两块侧板12外侧的动电刷，所述动电刷与太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备中的定电刷匹配后形成耐热驱动电机3的供电电源，这样，可以将电源装置和耐热驱动电机3分开，只有通过动电刷和太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备中的定电刷接触后耐热驱动电机3通电工作，其余情况，耐热驱动电机3不会通电。
[0025]进一步作为优选的实施方式，所述电源装置包括位于电机蓄热箱2内部的蓄电池，所述蓄电池通过导线与耐热驱动电机3直接相连，所述蓄电池的外表面完全被电机蓄热箱2包裹。电源装置和太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备分开，一方面便于电源装置的安装维护以及更换，另一方面减少太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的改造成本，并降低太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的维护成本。
[0026]进一步作为优选的实施方式，所述电机蓄热箱2包括上箱体和下箱体，所述上箱体的上端面布置有至少一个进水孔，所述下箱体的下端面布置有至少一个出水孔，每一个所述进水孔和其相匹配的出水孔之间布置有冷却通道，所述冷却通道位于上箱体和下箱体扣合后的蓄热箱体中。当镀膜完成后，可以通过从进水孔注入冷却水对电机蓄热箱2进行冷却，吸热后的水经冷却通道和出水孔后排出，使电机蓄热箱2得到有效地降温，以便于电机蓄热箱2以及耐热驱动电机3进入下一次的镀膜中。
[0027]进一步作为优选的实施方式，所述前进机构包括分别位于两块侧板12下端面的前进齿条6，每条所述前进齿条6与其所在的侧板12之间布置有齿条座7。即太阳能集热钢管水平安装在框架总成I中后随着框架总成I进入太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备中。
[0028]进一步作为优选的实施方式，两块侧板分为上侧板和下侧板，所述上侧板位于下侧板的上方，所述第一板10和第二板11竖直布置，所述前进机构包括位于下侧板下端面的前进齿条6，所述前进齿条6与下侧板之间布置有齿条座，即框架总成I立起来进入太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备中，每根太阳能集热钢管沿着前进方向布置进入太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备。
[0029]进一步作为优选的实施方式，每个所述第二套管5均配置一个从动齿轮31，相邻的两个所述从动齿轮31之间布置有中间齿轮32，所述耐热驱动电机3旋转输出端上安装有主动齿轮30，所述主动齿轮30与其中一个从动齿轮31啮合，所述中间齿轮32安装在第二承板14上。耐热驱动电机3通过主动齿轮30带动其中一个从动齿轮31转动，而该从动齿轮31通过中间齿轮32带动其旁边的从动齿轮31转动，进而使得框架总成I中的所有第二套管5以及位于第二套管5和第一套管4之间的太阳能集热钢管转动。
[0030]进一步作为优选的实施方式，所述电机蓄热箱2为比热容大的金属材料构件，优选地，电机蓄热箱2为矩形状的铝制金属件。或者，所述电机蓄热箱2包括金属外壳以及填充在金属外壳内的相变蓄热材料，通过金属外壳将热传递到相变蓄热材料后将热量吸收，使得耐热驱动电机3的工作温度不超过其极限温度。
[0031]进一步作为优选的实施方式，所述电机蓄热箱2的外表面四周设置有隔热板。
[0032]太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备一般包括前、后预抽真空室，溅射镀膜室。前、后预抽真空室设有2个门锁，一个可对大气开关，一个与溅射镀膜室连接，可控制与溅射镀月吴室的开关。
[0033]当装有太阳能集热钢管的框架总成I，由前进齿条6和其相应的齿轮相互传动下进入前预抽真空室后，关闭对大气门锁，前预抽真空室开始抽真空，当真空度与溅射镀膜室真空度平衡时，打开前预抽真空室与溅射镀膜室间的门锁。在前进齿条6和其相应的齿轮相互传动的驱动下，框架总成I进入溅射镀膜室，脱离后，门锁关闭。前预抽真空室放大气，室内气压与大气平衡时，开对大气门锁。下一个装有太阳能集热钢管的框架总成完全进入前预抽室后，关闭门锁，前预抽室恢复抽真空。进入溅射镀膜室的框架总成I在前进的过程，耐热驱动电机3通过动电刷和固定供电装置的相对移动获取电能或从蓄电池获取电能，耐热驱动电机3驱使太阳能集热钢管做径向转动，太阳能集热钢管沿着前进方向垂直通过若干个溅射镀膜靶下方，直至通过最后一个溅射镀膜靶脱离时，太阳能集热钢管的径向转动停止。溅射镀膜室与后预抽真空室间的门锁打开，框架总成I完全进入后预抽真空室后，框架总成I暂停前进，门锁关闭。后预抽真空室停止抽真空并放大气，与大气压平衡时。开对大气门锁，框架总成I前进从后预抽真空室脱离后，门锁关闭，并恢复抽真空。
[0034]以上是对本实用新型的较佳实施方式进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出种种的等同变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【主权项】
1.太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:包括通过第一板、第二板以及位于第一板和第二板之间的两块侧板围成的框架总成，所述框架总成中布置有电源装置和驱使框架总成前进的前进机构，框架总成内布置有分别与第一板平行的第一承板和第二承板，所述第一承板上布置有多个沿其安装轴旋转的第一套管，所述第二承板上布置有与第一套管相匹配的第二套管，每个所述第一套管与其相对应的第二套管之间形成夹套空间，第二承板和第二板之间安装有耐热驱动电机，所述耐热驱动电机的旋转端直接或者间接驱使第二套管沿其安装轴旋转，所述耐热驱动电机通过耐热导线和电源装置连通。2.根据权利要求1所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述耐热驱动电机包括普通电机以及包裹在普通电机外表面的电机蓄热箱，耐热驱动电机与电源装置通过耐热导线连通供电。3.根据权利要求2所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述电源装置包括位于两块侧板外侧的动电刷，所述动电刷与太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备中的定电刷匹配后形成耐热驱动电机的供电电源。4.根据权利要求2所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述电源装置包括位于电机蓄热箱内部的蓄电池，所述蓄电池通过导线与耐热驱动电机直接相连，所述蓄电池的外表面完全被电机蓄热箱包裹。5.根据权利要求2或3或4所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述电机蓄热箱包括上箱体和下箱体，所述上箱体的上端面布置有至少一个进水孔，所述下箱体的下端面布置有至少一个出水孔，每一个所述进水孔和其相匹配的出水孔之间布置有冷却通道，所述冷却通道位于上箱体和下箱体扣合后的蓄热箱体中。6.根据权利要求1或2或3或4所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述前进机构包括分别位于两块侧板下端面的前进齿条，每条所述前进齿条与其所在的侧板之间布置有齿条座。7.根据权利要求1或2或3或4所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:两块侧板分为上侧板和下侧板，所述上侧板位于下侧板的上方，所述第一板和第二板竖直布置，所述前进机构包括位于下侧板下端面的前进齿条，所述前进齿条与下侧之间布置有齿条座。8.根据权利要求1或2或3或4所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:每个所述第二套管均配置一个从动齿轮，所述耐热驱动电机旋转输出端上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与其中一个从动齿轮啮合，相邻的两个所述从动齿轮之间布置有中间齿轮，所述中间齿轮安装在第二承板上。9.根据权利要求2或3或4所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述电机蓄热箱为比热容大的金属材料构件，或者，所述电机蓄热箱包括金属外壳以及填充在金属外壳内的相变蓄热材料。10.根据权利要求9所述的太阳能集热钢管连续溅射镀膜设备的镀膜钢管转动架，其特征在于:所述电机蓄热箱的外表面四周设置有隔热板。
【文档编号】C23C14/50GK205443438SQ201620105829
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年2月2日
【发明人】林洪
【申请人】广州粤海真空技术有限公司