技术编号:19160786
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蒸镀技术领域,特别是涉及一种蒸镀设备及其防着板。背景技术现行生产工艺中使用蒸镀技术制作高解析度oled面板,而在蒸镀过程中,基板与定义像素成膜位置的金属掩模板(mask)一起置于高真空的金属腔体内,坩埚内的材料经过加热汽化沉积在基板上,此过程中大部分的汽化的材料会腔壁上。当累积过多时,材料会脱离形成颗粒污染产品。现行做法为在真空腔体内壁上安装可拆卸的防着板以便定时更换,减少上述问题发生的机率。然而,蒸镀过程中蒸发源一直处在高温状态,在将材料汽化的同时也会通过辐射的方式向周围传递能量,例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。