蒸镀设备及其防着板的制作方法

本发明涉及蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备及其防着板。

背景技术：

现行生产工艺中使用蒸镀技术制作高解析度oled面板，而在蒸镀过程中，基板与定义像素成膜位置的金属掩模板(mask)一起置于高真空的金属腔体内，坩埚内的材料经过加热汽化沉积在基板上，此过程中大部分的汽化的材料会腔壁上。当累积过多时，材料会脱离形成颗粒污染产品。现行做法为在真空腔体内壁上安装可拆卸的防着板以便定时更换，减少上述问题发生的机率。

然而，蒸镀过程中蒸发源一直处在高温状态，在将材料汽化的同时也会通过辐射的方式向周围传递能量，例如基板、金属掩模板及防着板。而辐射热通过金属防着板表面的反射会影响金属掩模板，导致基板与金属掩模板之间产生错位或使得oled面板产生局部mura。

故，有必要提供一种蒸镀设备及其防着板，以解决现有技术所存在的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种蒸镀设备及其防着板，抑制热辐射对基板及金属掩模板的影响，从而减少热膨胀所导致的错位及mura的产生，进而提升产品分辨率及良率。

为达成本发明的前述目的，本发明提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：

一壳体，所述壳体内形成有一蒸镀腔；

一坩埚，设置于所述蒸镀腔内，用以容置一蒸镀材料；以及

一防着板，设置于所述蒸镀腔内，并且所述防着板位于所述壳体与所述坩埚之间，所述防着板包括：

一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；及

一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。

根据本发明一实施例，所述粗糙表面朝向所述坩埚。

根据本发明一实施例，所述粗糙表面是通过一喷砂处理形成在所述支撑基板上。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。

本发明还提供一种用于蒸镀设备的防着板，所述防着板包括：

一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；以及

一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层为黑色。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层的材料包含金属氧化物、陶瓷、氮化钛(tin)、氮化硅(sin)、石墨、碳纤维或其组合。

根据本发明一实施例，所述粗糙表面为一波纹齿结构、一锯齿结构或一阵列凹陷结构。

根据本发明一实施例，所述支撑基板为一不锈钢板。

本发明的有益效果为：通过防着板上的辐射热吸收层来减少辐射热反射至基板及金属掩模板。如此一来，可以减少基板及金属掩模板的热膨胀，进而提升成膜精度及产品分辨率。此外，抑制基板温度升高可以提升有机膜层的产品良率。

附图说明

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

图1是根据本发明一实施例的一种蒸镀设备的一示意图。

图2是根据本发明一实施例的一种用于蒸镀设备的防着板的半成品的一局部放大示意图。

图3是图2中实施例的一种用于蒸镀设备的防着板的完成品的一局部放大示意图。

图4是本发明另一实施例的一种用于蒸镀设备的防着板的示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。再者，本发明所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。

请参照图1，本实施例提供了一种蒸镀设备100，所述蒸镀设备100包括一壳体110、一坩埚120及一防着板140。

所述壳体100内形成有一蒸镀腔111，所述壳体100可以由多块板体围合构成。所述壳体100可以由金属材料，例如不锈钢，所制成。图1中只是示意性的示出了所述壳体110及所述蒸镀腔111的形状，在实际产品中，所述壳体110及所述蒸镀腔111的形状并不限于此。在蒸镀过程中，一金属掩模板150及一基板160将会置入所述蒸镀腔111内。

所述坩埚120设置于所述蒸镀腔111内，所述坩埚120用以容置一蒸镀材料130。所述坩埚120可以受热用来蒸发所述蒸镀材料130。为了让所述蒸镀材料130可以均匀受热，所述坩埚120可以由金属材料制成。优选的是，熔点高并且导热率较高的金属材料，例如钛、钨、钽、钥等。

所述防着板140设置于所述蒸镀腔111内，并且所述防着板111位于所述壳体110与所述坩埚120之间。请参照图2及图3所述防着板140包括：一支撑基板141及一辐射热吸收层143。所述支撑基板141具有一粗糙表面142，而所述辐射热吸收层143设置于所述粗糙表面142上。

所述支撑基板141可以由金属材料所制成。例如所述支撑基板141可以为一不锈钢板。所述粗糙表面142朝向所述坩埚120，也可以说所述粗糙表面142朝向所述蒸镀材料130。请参照图2，以所述支撑基板141为不锈钢板为例，所述粗糙表面142可以通过一喷砂处理形成在所述支撑基板141上。应当理解的是，所述粗糙表面142也可以使用其它相似表面处理技术(例如酸洗、蚀刻等)形成在所述支撑基板141上。请参照图2至图4，所述粗糙表面142可以为一波纹齿结构(如图2及图3所示)、一锯齿结构(如图4所示)或一阵列凹陷结构。

所述辐射热吸收层143可以依所述粗糙表面142的起伏形成在所述支撑基板141上。所述辐射热吸收层143可以为黑色或是，例如蓝色、棕色等深色系的颜色。应当理解的是，深色系的颜色都有吸收辐射热的效果，其中以黑色的效果最为显着。所述辐射热吸收层143可以为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。所述辐射热吸收层143的材料可以包含金属氧化物、陶瓷、氮化钛(tin)、氮化硅(sin)、石墨、碳纤维或其组合。所述辐射热吸收层143可以通过涂布黑色铁氟龙涂层或是含有石墨、碳纤维等材料的涂料、沉积氮化钛(tin)或氮化硅(sin)薄膜或发黑处理等技术形成在所述粗糙表面142上。所述发黑处理可以是通过剧烈的氧化反应在所述粗糙表面142上形成黑色/深色的金属氧化物薄膜。应当理解的是，所述辐射热吸收层143也可以采用其它可形成黑色/深色的表面处理技术来形成。例如适度的蚀刻也可以在金属表面形成黑色/深色膜层。

因此，在蒸镀过程中，所述防着板140的所述粗糙表面142可以避免辐射热直接反射到所述金属掩模板150及所述基板160，而所述辐射热吸收层143可以吸收直接来自所述坩埚120辐射热或是经过反射后的辐射热。

本发明的有益效果为：通过防着板上的辐射热吸收层来减少辐射热反射至基板及金属掩模板。如此一来，可以减少基板及金属掩模板的热膨胀，进而提升成膜精度及产品分辨率。此外，抑制基板温度升高可以提升有机膜层的产品良率。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。