技术编号：19179806
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种单晶硅制绒工艺及装置，属于晶硅太阳电池制造技术领域。背景技术目前太阳电池朝着高效低成本方向发展，电池效率不断提高。太阳电池要获得良好的光电转换效率就需要有更多的太阳光进入到太阳电池内部而不被反射掉。因此就需要制备反射率更低，且符合后道工序的绒面结构。目前产业上单晶硅的绒面制备方法大多为碱制绒，但是制绒过程中会出现白点、齿印，脏污清洗不干净，绒面反射率较大，金字塔尺寸不均匀及制绒工序时间较长等缺点。发明内容本发明要解决的技术问题是：解决了如何减少在制绒过程中硅片表面的脏污，降低绒面的...
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