技术编号:1932342
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光于玻璃内部加工导光板的装置,激光器的输出端光路上依次设置有扩束镜、45度全反射镜组、光束整形单元和扫描振镜,扫描振镜的光束输出端正对于载物平台,扫描振镜上安装有CCD系统,CCD系统的镜头正对于载物平台;激光器发出的激光经扩束镜对光束进行同轴扩束,改善光束传播的发散角,使光路准直,对激光光束同轴扩束,使聚焦后光斑更小;扩束后光束到达45度全反射镜组,进入光束整形单元,整形后的聚焦光斑可在玻璃内部形成立体微结构,整形后光束到达扫描振镜,扫描...
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