技术编号:1934992
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种校准板,具体是一种硅片切片方向校准板,包括板体,所述板体为长方形板材,在所述板体四条边的其中一条边上开设有导向缺口,在所述板体的顶面和底面均开设有横向和纵向交错的通气凹槽,所述板体的顶面、底面和四条边均光洁无毛刺。有益效果是避免各个批次切割加工出来的硅片在清洗后出现切割方向上的叠放混乱的情况,能在晶棒切片加工后的清理过程中能方便的判断出每一批次切割加工出来的硅片的切割方向,以方便后面进行检测分选时不会出现因检测的硅片的切割方向不同而影响得...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。