技术编号:1955753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种工件夹具本实用新型属于多线切割硅单晶锭领域,尤其属于一种与多线切割机匹配 使用,用于固定硅单晶锭,然后利用多线切割机将硅单晶锭切割成硅单晶片的 工件夹具。背景技术多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一 根高速运动的钢线,带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩 擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主 线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工件台的上升下降实现工件的进给, 可将半导体等硬脆材...
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