专利名称：一种工件夹具的制作方法
技术领域：
一种工件夹具
技术领域：
本实用新型属于多线切割硅单晶锭领域，尤其属于一种与多线切割机匹配 使用，用于固定硅单晶锭，然后利用多线切割机将硅单晶锭切割成硅单晶片的 工件夹具。背景技术：
多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一 根高速运动的钢线，带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩 擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主 线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工件台的上升下降实现工件的进给， 可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，多线切割技术与其他技术相比， 具有效率高，产能高，精度高且节材等优点，业已逐渐取代传统的刀锯片、砂 轮片及内圆切割，是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。
进行切割作业， 一个与工件台联接、必不可少的附件就是固定待加工工件 的工件夹具。该工件夹具的结构包括主连接座和副连接座，以及分别贴置固定 在主连接座和副连接座上的主连接片和副连接片。作业前，先将两根待加工工 件即硅单晶锭，连同主连接片和副连接片分别固定在主连接座和副连接座上， 然后，再将携带工件的夹具对接在多线切割机的工件台上，由工件台完成上升 下降、实现工件进给，利用线网进行切割。
现有工件夹具在固定工件时，存在如下问题主导工件固定以后，从导工 件按要求必须严格参照主导工件的位置为基准，固定从导工件，但是，这种工 件夹具要调整好从导工件的位置非常麻烦，以至于费时费力还很难确保从导工 件与主导工件的一致性，从而造成多线切割机所切割出的硅片厚薄不一致，合 格率低，有时线网还会出现跳线、断线现象，影响多线切割机正常作业。
发明内容
为克服现有技术存在的上述缺陷，本实用新型旨在提供一种结构新型的工 件夹具，该工件夹具在主导工件定位后，通过简单调整，就能使从导工件按照 主导工件基准定位，确保主导工件和从导工件位置的一致性，从而消除硅片厚 薄不一致，合格率低，以及线网跳线、断线现象。
为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案
这种工件夹具，包括主连接座和副连接座、主连接片和副连接片，主连接 座与主连接片经螺栓固定呈平面连接，副连接座和副连接片经定位螺栓固定呈平面连接，其特征是副连接座用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状呈异形。
如上所述的一种工件夹具，其特征是副连接座和副连接片经定位螺栓固 定呈平面连接，副连接座上用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状为前后向长槽形。
如上所述的一种工件夹具，其特征是副连接座和副连接片经定位螺栓固 定呈平面连接，副连接座上用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状为前后向椭圆形。
有益效果与现有技术相比，本实用新型通过改变副连接座用于接纳定位 螺栓的螺栓孔形状，当主导工件固定定位后，如果从导工件出现与主导工件位 置不一致时，只要旋松定位螺栓，利用椭圆形孔微调副连接片的前后位置后， 加以固定即可，克服了现有技术副连接座上用于接纳定位螺栓的螺栓孔形状为 圆形，工件不能作前后(实际作业时为左右向)向调整的缺陷，因为，圆形螺 栓孔作调整时，主导工件与从导工件只能作整体调整，而不能改变两者的相对 位置来达到微调效果。
图1为本实用新型一个实施例的立体结构示意图。
图中导轨l，装卸槽2，紧同螺孔3，切割垫块4，切割垫块41，定位螺 栓5，定位螺栓孔6，副连接座7，副连接片71，导向柱8，沙浆管9，工件IO， 工件IOI，主连接座ll，主连接片12。
具体实施方式
参见图1。导轨1通过装卸槽2，由紧固螺栓经紧固螺孔3固定在多线切割 机的工件台上。夹具以导轨1下方的沙浆管9为对称，两侧分别设置主连接座 11、副连接座7。主连接片12和副连接片71分别由相应的定位螺栓5经定位螺 栓孔6，贴置固定在主连接座11、副连接座7上(主连接片12和副连接片71 上有相应的圆形螺栓孔)。
右侧的工件10称主导工件，工件101为从导工件。主连接片12、切割垫块 41和工件10是通过粘胶粘接而成的整体件，副连接片71、切割垫块4和工件 101也是通过粘胶粘接而成的整体件。本实用新型的创新之处在于接纳定位螺 栓5的定位螺栓孔6的形状呈异形，为非圆形，例如长条形、椭圆形，定位螺 栓孔6的数量可根据实际情况而定， 一般为6个。作业时，当主导工件定位后， 调整从导工件位置只要旋松定位螺栓，即可微调连接在副连接座7上的整体件 的前后位置，改进简单、方便实用。
权利要求1、一种工件夹具，包括王连接座(11)和副连接座(7)、主连接片(12)和副连接片(71)，主连接座(11)与主连接片(12)经螺栓固定呈平面连接，副连接座(7)和副连接片(71)经定位螺栓(5)固定呈平面连接，其特征是副连接座(7)用于接纳定位螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形状呈异形。
2、 如权利要求1所述的一种工件夹具，其特征是副连接座(7)和副连 接片(71)经定位螺栓(5)固定呈平面连接，副连接座(7)上用于接纳定位 螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形状为前后向长槽形。
3、 如权利要求1所述的一种工件夹具，其特征是副连接座(7)和副连 接片(71)经定位螺栓(5)固定呈平面连接，副连接座(7)上用于接纳定位 螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形状为前后向椭圆形。
专利摘要一种工件夹具，包括主连接座和副连接座、主连接片和副连接片，主连接座与主连接片经螺栓固定呈平面连接，副连接座和副连接片经定位螺栓固定呈平面连接，其特征是副连接座用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状呈异形，例如长槽形、椭圆形。与现有技术相比，本实用新型通过改变副连接座上用于接纳定位螺栓的螺栓孔形状，当主导工件固定定位后，如果从导工件出现与主导工件位置不一致时，只要旋松定位螺栓，利用椭圆形孔微调副连接片的前后位置后，加以固定即可，克服了现有技术副连接座上用于接纳定位螺栓的螺栓孔形状为圆形，工件不能作前后向调整的缺陷。
文档编号B28D7/04GK201264324SQ20082016609
公开日2009年7月1日 申请日期2008年10月14日 优先权日2008年10月14日
发明者陆昌忠 申请人:浙江华友电子有限公司