技术编号:1965475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种单晶硅棒加工过程中所使用的V型槽,特别涉及的是一种单 晶硅棒加工过程中所使用的可以移动的V型槽。背景技术截取头尾、样片和分段作为单晶硅棒加工的首道工序,目前大多数厂家都采用带 锯机进行前述作业。由于单晶硅棒是圆柱体型长棒,现在大多都采用V型槽或V型块作为 支撑,然后再用汽缸压块压紧固定的方式进行装夹。装夹后带锯机上进行截取头尾和分段 作业。 但是对于扭曲严重或不扭曲但直径发生异变明显(突大突小)的晶棒来说,这种 方式的缺点是很显而易见的,...
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