一种可移动v型槽的制作方法

文档序号:1965475阅读:466来源:国知局
专利名称:一种可移动v型槽的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅棒加工过程中所使用的V型槽,特别涉及的是一种单 晶硅棒加工过程中所使用的可以移动的V型槽。
背景技术
截取头尾、样片和分段作为单晶硅棒加工的首道工序,目前大多数厂家都采用带 锯机进行前述作业。由于单晶硅棒是圆柱体型长棒,现在大多都采用V型槽或V型块作为 支撑,然后再用汽缸压块压紧固定的方式进行装夹。装夹后带锯机上进行截取头尾和分段 作业。 但是对于扭曲严重或不扭曲但直径发生异变明显(突大突小)的晶棒来说,这种 方式的缺点是很显而易见的,它不能调整晶棒的轴心线,致使晶棒不同心度过大,导致加工 后的晶棒因端面垂直度超出客户规格要求而需要返切加工。

实用新型内容本实用新型克服了上述的缺点,而提供一种能够调整晶棒轴心线的可移动的V型 槽。 为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现 —种可移动V型槽,它包括一块放置在带锯机工作台面上的底板,其特征在于,在
所述底板的上平面上设置有可沿着底板上平面滑动的复数个V型块。 为了使所述的复数个V型块能平稳且能在一条直线上滑行,在所述的底板上设有 导轨,并在所述V型块的底面开有与所述的导轨相配合的滑槽,该V型块通过滑槽安置在底 板的导轨上,形成可沿导轨移动的V型块。 在本实用新型的一个优选方案中,所述的滑轨为平行设置在底板上平面上的两条
滑轨,在所述V型块的底面开有两条与所述的两条导轨相配合的两条滑槽。 为了防止所述的V型块意外地滑出所述的滑轨,造成晶棒的损坏,在所述的底板
沿V型块滑动方向的两端面上各固定有两块挡块,该挡块突出所述底板的上平面,以防止V
型块滑出导轨。 为防止在装夹晶棒时崩边,本实用新型将所述的V型块沿滑动方向的两端面倒 角,并在每一端面上贴附一块橡胶皮。 为了方便移动所述的v型块,在每一v型块面向操作者的这一侧面上安装有一手 柄,通过该手柄就能很方便地移动v型块。 为防止单晶被V型块的金属沾污,在每一V型块的两个斜面上各固定一块聚四氟
乙烯隔离层,以隔离晶棒与V型块的两斜面表面接相触,但在具体加工过程中,两聚四氟乙
烯隔离层须固定在V型块的斜面面上,同整个V型块整体加工,保证其平整度。 本实用新型根据单晶棒的实际直径状况,通过移动V型块来调整夹持位置,规避
晶棒扭曲和直径突变之处,在最佳夹持位置夹持,从而调整晶棒的同心度,尽可能的让晶棒垂直于带锯,以减小晶锭端面的不垂直度,加工出合格的产品。以下结合附图和具体实施方式
来详细说明本实用新型;


图1为本实用新型的主视图。 图2为本实用新型的右视图。 图3为本实用新型的俯视图。
具体实施方式为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面 结合具体实施方式
,进一步阐述本实用新型。 参考
图1-3所示本实用新型公开的一种可移动V型槽,它包括一个底板100和四 个V型块200,当然也不局限于四个V型块200, V型块200的数量可以根据晶棒加工的需 要而设定。底板100安装在带锯机(图中未示出)的工作台面上。 在底板100的上平面110上平行间隔地安装有两条导轨120,两条导轨120的间隔 可以根据需要而定。在每一个V型块200的底面开设有与两条导轨相配合的滑槽210,每一 条导轨120嵌入到相应的滑槽210内,这样V型块200就能在底板100的上平面110上平 稳地滑动,以调整晶棒轴心线,从而尽可能的让晶棒和带锯垂直。同时为了方便地移动V型 块200,在每一个V型块200面向操作者的这一侧面220上安装有一手柄300,通过该手柄 300就能很方便地移动V型块200。 为了防止V型块200意外地滑出滑轨120,造成晶棒的损坏,在底板100沿V型块 200滑动方向(图l中的箭头方向)的两端面上各固定有一挡块400,两个挡块400突出底 板100的上平面110,以防止V型块400滑出导轨120。 为了防止在装夹晶棒时崩边,本具体实施方式
将每一个V型块200沿滑动方向的 两端面倒角230,并在每一端面上各贴附一块橡胶皮240,借此来防止崩边的发生。 为防止单晶被V型块200的金属沾污,在每一 V型块200的两个斜面250上各固 定一块聚四氟乙烯隔离层260,以隔离晶棒与V型块200的两斜面250表面接相触,但在具 体加工过程中,两聚四氟乙烯隔离层260须固定在V型块200的斜面250面上,同整个V型 块200整体加工,保证其平整度。 通常情况下一般的材料与水接触之后都很容易生锈,所以本实用新型的底板4和
V型块l的材料均采用防锈铝,这样以来增加了其使用寿命,同时也减轻了重量。 在操作过程中,把晶棒放在所述的四个V型块200的V型槽,通过手柄4来调整晶
棒的同心度,由于本实用新型设置有四个V型块200,所以根据晶棒的扭曲状况,通过移动V
型块200实现对晶棒夹持位置调整,规避扭曲和直径突变的地方,调整晶棒的同心度,从而
尽可能的让晶棒和带锯垂直,以减小晶锭端面的不垂直度, 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行 业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述 的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还 会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定'
权利要求一种可移动V型槽,它包括一块放置在带锯机工作台面上的底板,其特征在于,在所述底板的上平面上设置有可沿着底板上平面滑动的复数个V型块。
2. 如权利要求1所述的可移动V型槽,其特征在于,在所述的底板上设有导轨,并在所 述V型块的底面开有与所述的导轨相配合的滑槽,该V型块通过滑槽安置在底板的导轨上, 形成可沿导轨移动的V型块。
3. 如权利要求2所述的可移动V型槽,其特征在于,所述的滑轨为平行设置在底板上平 面上的两条滑轨,在所述V型块的底面开有两条与所述的两条导轨相配合的两条滑槽。
4. 如权利要求2所述的可移动V型槽,其特征在于,在所述的底板沿V型块滑动方向的 两端面上各固定有一挡块,该挡块突出所述底板的上平面,以防止V型块滑出导轨。
5. 如权利要求1-4任一项所述的可移动V型槽,其特征在于,所述的V型块沿滑动方向 的两端面倒角,并在每一端面上贴附一块橡胶皮。
6. 如权利要求1所述的可移动V型槽,其特征在于,在每一 V型块面向操作者的这一侧 面上安装有一手柄。
7. 如权利要求1所述的可移动V型槽,其特征在于,在每一 V型块的两个斜面上各固定 一块聚四氟乙烯隔离层,以隔离晶棒与V型块的两斜面表面相接触。
专利摘要本实用新型公开了一种可移动V型槽,它包括一块放置在带锯机工作台面上的底板,其特征在于,在所述底板的上平面上设置有可沿着底板上平面滑动的复数个V型块。本实用新型根据晶棒的扭曲状况,通过移动V型块实现对晶棒夹持位置的变化,规避扭曲和直径突变的地方,调整晶棒的同心度,从而尽可能的让晶棒和带锯垂直,以减小晶锭端面的不垂直度,加工出合格的产品。
文档编号B28D5/04GK201436170SQ20092007306
公开日2010年4月7日 申请日期2009年5月27日 优先权日2009年5月27日
发明者陈平 申请人:上海申和热磁电子有限公司
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