结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统与流程技术资料下载

技术编号:19687020

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本发明涉及光学非球面测量的技术领域,尤其涉及一种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,以及结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量系统。背景技术非球面的面型参数包括顶点曲率半径和二次曲面常数。这两个参数共同决定了非球面的形状特征,其中,顶点曲率半径不仅影响非球面的轮廓,还决定了非球面的基本性质,进而影响光学系统的像差和成像质量;而二次曲面常数是非球面的分类依据。精确测量面型参数误差,对于光学非球面的加工和装调非常重要。通常情况下,利用接触法或非接触法可以获得被测面的面形轮廓,然后对面形轮...
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