技术编号:19687020
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学非球面测量的技术领域,尤其涉及一种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,以及结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量系统。背景技术非球面的面型参数包括顶点曲率半径和二次曲面常数。这两个参数共同决定了非球面的形状特征,其中,顶点曲率半径不仅影响非球面的轮廓,还决定了非球面的基本性质,进而影响光学系统的像差和成像质量;而二次曲面常数是非球面的分类依据。精确测量面型参数误差,对于光学非球面的加工和装调非常重要。通常情况下,利用接触法或非接触法可以获得被测面的面形轮廓,然后对面形轮...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。