技术编号:19733666
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于蓝宝石晶片研究领域,具体涉及一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法。背景技术蓝宝石晶体具有高强度、高熔点、物理化学性能稳定等特性,在军事、航天航空、光学、生物、分析、半导体基片以及在高速信息处理、电子光子装置的微型化、智能化方面得到广泛的应用。蓝宝石晶体是目前半导体照明产业发展中使用最为广泛的衬底材料,广泛用于半导体氮化镓(gan)发光二极管(led)的外延衬底材料。因此,蓝宝石晶片的质量直接影响电子产品的性能,如何快速检测蓝宝石晶片是否存在缺陷是一项重要的程序。cn201811346543.3...
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