一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法与流程

文档序号:19733666发布日期:2020-01-18 04:13阅读:294来源:国知局

本发明属于蓝宝石晶片研究领域,具体涉及一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法。



背景技术:

蓝宝石晶体具有高强度、高熔点、物理化学性能稳定等特性,在军事、航天航空、光学、生物、分析、半导体基片以及在高速信息处理、电子光子装置的微型化、智能化方面得到广泛的应用。蓝宝石晶体是目前半导体照明产业发展中使用最为广泛的衬底材料,广泛用于半导体氮化镓(gan)发光二极管(led)的外延衬底材料。因此,蓝宝石晶片的质量直接影响电子产品的性能,如何快速检测蓝宝石晶片是否存在缺陷是一项重要的程序。

cn201811346543.3公开了一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,所述检测方法包括:在液体环境中,将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上,从而检测蓝宝石晶片缺陷;所述检测方法简单易行,且不需要昂贵的专业设备,大大降低了生产成本;效果直观,可通过肉眼直接鉴别;培训成本低,见效快,可立即投入使用,因此适用于蓝宝石晶片缺陷检测。虽然该检测方法简单,不需要大量的昂贵设备,效果直观,但是蓝宝石晶片加工过程中未清洁干净的切割液和抛光液会造成干扰,即结果的可靠性有待考究。因此需要一种更好的检测方法来排除劣质的蓝宝石晶片。



技术实现要素:

针对上述技术问题,本发明提供一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,该方法可以减少加工过程对检测效果的影响,方法简单可靠,可应用于产业生产。

一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,包括以下步骤:

步骤1,取加工后的蓝宝石晶片,流水冲洗后,再用碱性溶液冲洗5-10分钟,边冲洗边用绒毛刷来回震荡1-3分钟,所述绒毛的边缘光滑;

步骤2,取石蜡融化后,投入蓝宝石晶片,保证浸泡在液体石蜡中,加热煮沸3-5分钟;

步骤3,取出裹有石蜡的蓝宝石镜片,置入冰箱中冷冻5-8分钟,取出,剥离蓝宝石晶片外包裹的固体石蜡;

步骤4,对光观察蓝宝石晶片,裂缝中存在的固体石蜡即不透光区,即为缺陷区;

步骤5,对于缺陷区内的石蜡,可通过加热晶片的方式,让石蜡融化流出,即可得到在需要处理的蓝宝石晶片。

作为改进的是,步骤1中所用的碱性溶液为碳酸氢钠溶液。

作为改进的是,步骤3中冷冻的温度为2-4℃,不需要低温,即可使得石蜡凝固,降低了能耗,缩短了检测时间。

有益效果:

与现有技术相比,本发明的提供的一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法具有如下优势:

1、本发明采用固体石蜡融化后包裹蓝宝石晶片,并加热使得石蜡慢慢浸入蓝宝石晶片的缝隙区,然后采用冻干的方式,抠出外围的石蜡,对光检测,即可发现是否存在缺陷区域,有效保证了晶片不被损坏,且检测后的晶片易于清理干净,不影响晶片使用;

2、存在于蓝宝石晶片缝隙中的固体石蜡,易于除去,即通过加热蓝宝石晶片,使得内部的石蜡融化流出,即可进行下一步常规清洗后应用;

3、石蜡相对于现有的试剂检测,更具有优势,不会对晶片本身造成影响,且石蜡可反复利用,降低了成本。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步描述。

实施例1

一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,包括以下步骤:

步骤1,取加工后的蓝宝石晶片,流水冲洗后,再用碳酸氢钠溶液冲洗5分钟,边冲洗边用绒毛刷来回震荡1分钟,所述绒毛的边缘光滑;

步骤2,取石蜡融化后,投入蓝宝石晶片,保证浸泡在液体石蜡中,加热煮沸3分钟;

步骤3,取出裹有石蜡的蓝宝石镜片,置入冰箱中2℃冷冻5分钟,取出,剥离蓝宝石晶片外包裹的固体石蜡;

步骤4,对光观察蓝宝石晶片,裂缝中存在的固体石蜡即不透光区,即为缺陷区;

步骤5,对于缺陷区内的石蜡,可通过加热晶片的方式,让石蜡融化流出,即可。

实施例2

一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,包括以下步骤:

步骤1,取加工后的蓝宝石晶片,流水冲洗后,再用碳酸氢钠溶液冲洗8分钟,边冲洗边用绒毛刷来回震荡2分钟,所述绒毛的边缘光滑;

步骤2,取石蜡融化后,投入蓝宝石晶片,保证浸泡在液体石蜡中,加热煮沸4分钟;

步骤3,取出裹有石蜡的蓝宝石镜片,置入冰箱中4℃冷冻6分钟,取出,剥离蓝宝石晶片外包裹的固体石蜡;

步骤4,对光观察蓝宝石晶片,裂缝中存在的固体石蜡即不透光区,即为缺陷区;

步骤5,对于缺陷区内的石蜡,可通过加热晶片的方式,让石蜡融化流出,即可。

实施例3

一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,包括以下步骤:

步骤1,取加工后的蓝宝石晶片,流水冲洗后,再用碳酸氢钠溶液冲洗10分钟,边冲洗边用绒毛刷来回震荡1-3分钟,所述绒毛的边缘光滑;

步骤2,取石蜡融化后,投入蓝宝石晶片,保证浸泡在液体石蜡中,加热煮沸5分钟;

步骤3,取出裹有石蜡的蓝宝石镜片,置入冰箱中3℃冷冻8分钟,取出,剥离蓝宝石晶片外包裹的固体石蜡;

步骤4,对光观察蓝宝石晶片,裂缝中存在的固体石蜡即不透光区,即为缺陷区;

步骤5,对于缺陷区内的石蜡,可通过加热晶片的方式,让石蜡融化流出,即可。

通过实施例1-3的检测方法可知,检测周期短,检测准确性好,可达到100%,进入缺陷区的石蜡易于除去,不会带来多余的步骤,具有良好的应用前景。

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