技术编号:1981373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,特别涉及ー种在加工对象物形成贯通孔的激光加エ方法。背景技术作为现有的,已知的有在由玻璃形成的加工对象物内部使激光聚光而形成改质区域,对该加工对象物实施蚀刻处理而将改质区域除去,由此在加工对象物形成贯通孔(例如參照专利文献I)。现有技术文献专利文献 专利文献1日本特开2005-206401号公报发明内容发明所要解决的技术问题这里,在上述那样的中,由于玻璃对激光的透过率很高,因此,若要使激光聚光于由玻璃形成的加工对象物而形成改质区域,则需要例如...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。