技术编号:1982245
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种线锯系统用的导向辊,更为详细地涉及一种在导向辊的侧面滑动固定有平衡部件,随着导向辊的旋转,便于以旋转轴为中心使重量平衡,且保持导向辊同心度的线锯系统用的导向辊。背景技术一般来说,在锭块的成长(growth)工序结束之后,为了将锭块制成 晶片,进行按单片单位切割锭块的切片工序。这种切片工序有多种形式,其中典型的是线锯(Wire Saw)方式,即为在腔室内使钢琴线或高张力线高速往返移动,并在其上喷洒淤浆(slurry)溶液,通过沾在线上的淤浆和单...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。