专利名称：线锯系统用的导向辊的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种线锯系统用的导向辊，更为详细地涉及一种在导向辊的侧面滑动固定有平衡部件，随着导向辊的旋转，便于以旋转轴为中心使重量平衡，且保持导向辊同心度的线锯系统用的导向辊。
背景技术：
一般来说，在锭块的成长(growth)工序结束之后，为了将锭块制成 晶片，进行按单片单位切割锭块的切片工序。这种切片工序有多种形式，其中典型的是线锯(Wire Saw)方式，即为在腔室内使钢琴线或高张力线高速往返移动，并在其上喷洒淤浆(slurry)溶液，通过沾在线上的淤浆和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。线锯方式可将锭块同时切割为多个晶片，从而能够提高单位时间的生产收率，因此目前被广泛地应用。韩国专利第887494号公开一种用于切割锭块的线锯系统。韩国专利第887494号所公开的线锯系统在主辊上缠绕有300 400圈的线，由于主辊的旋转，线作高速运行。而且用于固定锭块的固定单元下降，由高速运行的线切割锭块。此时，限定了固定单元的结构。为了保持这种主辊的稳定的旋转，随着主辊的旋转，需要以旋转轴为中心使主辊的重量平衡。然而，现有技术根据在主辊的旋转时所测定的偏差值，用钻头等切削主辊，因此每当产生偏差值时均需要进行切削作业，有所繁杂。此外，还具有由于反复的切削作业，降低主辊的强度，损坏主辊外观的问题。
发明内容
本发明的目的是解决上述以往的问题，提供一种线锯系统用的导向辊，防止根据在主辊的旋转时所测定的偏差值进行切削作业的麻烦，随着主辊的旋转便于以旋转轴为中心使重量平衡，保持主辊的同心度。此外，本发明的另一目的是提供一种线锯系统用的导向辊，防止反复的切削作业，并防止主辊强度的下降，能够使主辊的外观优美。上述目的通过本发明的以下技术方案来实现一种线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊包括导槽，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成；至少一个平衡部件，嵌设于所述导槽，沿所述导槽滑动；以及固定件，在所述导槽中固定所述平衡部件。其中，所述导槽的侧面优选构成导向斜面，使得所述导槽的深度越深，所述导槽的宽度越宽。其中，所述平衡部件的侧面优选对应于所述导槽的侧面而形成有支承斜面。
其中，所述导槽优选沿着入口侧边缘形成有止挡部。上述目的通过本发明的以下技术方案来实现一种线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊包括导轨，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上突出而形成；至少一个平衡部件，形成有供所述导轨嵌入的插槽，且沿所述导轨而滑动；以及固定件，在所述导轨上固定所述平衡部件。其中，所述固定件优 选由贯穿所述平衡部件而与所述平衡部件螺栓结合的固定螺栓构成。其中，所述平衡部件优选凹陷形成有间隔槽，以形成相互隔开的支承部，所述固定件由通过所述间隔槽且贯穿所述支承部而与所述平衡部件螺栓结合的固定螺栓构成。其中，所述固定件优选包括支承突部，突出设置在所述平衡部件的至少一侧；以及弹性件，设置在所述平衡部件和所述支承突部之间，用于弹性支承所述支承突部。其中，所述导槽优选进一步在侧面形成有供所述支承突部嵌入的支承槽。其中，所述固定件优选包括支承突部，从所述平衡部件的插孔突出而设置；以及弹性件，设置在所述平衡部件和所述支承突部之间，用于弹性支承所述支承突部。其中，所述导轨优选进一步在侧面形成有供所述支承突部嵌入的支承槽。根据本发明，提供一种能够防止根据在主辊的旋转时所测定的偏差值进行切削作业的麻烦，随着主辊的旋转便于以旋转轴为中心使重量平衡，保持主辊同心度的线锯系统用的导向棍。此外，提供一种无需进行反复的切削作业，能够节省反复的切屑作用所需的维修费用的线锯系统用的导向辊。此外，提供一种操作简便，能够防止导向辊的强度下降，且能够使导向辊的外观优美的线锯系统用的导向辊。
图I是表示本发明第一实施例的线锯系统的图。图2是表示本发明第一实施例的导向辊的立体图。图3是表示根据本发明的第一实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。图4是表示根据本发明的第二实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。图5是表示根据本发明的第三实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。图6是表示根据本发明的第四实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。图7是表示根据本发明的第五实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。符号说明F :固定单元GR:导向辊WR:卷取辊
M:电动机P:电源部C:控制器W :线I :锭块B :稱合器10:旋转轴I :导槽11:支承槽12:导向斜面2 :导轨5 :止挡件51 :止挡部3 :平衡部件31 :支承斜面32:插槽3a:支承部33 :间隔槽4:固定件6:固定螺栓8:支承突部9 :弹性件
具体实施例方式进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同的结构的结构要素使用相同的符号，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中对与第一实施例不同的结构进行说明。下面，参照附图详细说明本发明第一实施例的线锯系统用的导向辊。图I是表示本发明第一实施例的线锯系统的图。参照图1，本发明第一实施例的线锯系统是通过运行的线W切割锭块I的装置，包括固定单元P、导向辊GR和卷取辊WR，且进一步包括断线感测单元。固定单元P用于安装锭块I，向所运行的线W按规定的速度使锭块I移动。优选地，固定单元P隔开配置在导向辊GR的上侧，并按规定的速度下降。导向辊GR是供线W缠绕而被支承的辊轮，配置有至少两个即可。导向辊GR可设置为其中至少一个由另行设置的电动机(未图示)的旋转力而旋转，随之能够使线W高速运行。卷取辊WR用于向导向辊GR供给线W或用于回收缠绕在导向辊GR的线W的辊轮。卷取辊WR可分为供给侧的卷取辊WR，在外周面上缠绕有线W，并将被缠绕的线W供给至导向辊GR ;以及回收侧的卷取辊WR，回收缠绕在导向辊GR的线W，并将线W缠绕在外周面上。卷取辊WR可设置为连接在电动机M，通过电动机M进行旋转，电动机M可通过将在后面描述的控制器C或另行配置的控制部(未图示)受到控制。断线感测单元与线W电连接，对线W施加预先设定的设置电压，并检测所施加的电压而感测线W的断线与否。断线感测单元可包括以下结构而构成电源部P，对线W施加预先设定的电压；传导体A，将电源部P和卷取辊WR电连接；以及控制器C，检测所施加的电压，以感测线W的断线与否。附图标记B表示用于连接电动机M和卷取辊WR的耦合器，其能够使电动机M和卷取辊WR之间绝缘，防止电动机M受到损伤。附图标记N表示在切割锭块I时喷洒淤浆的喷嘴。这样一来，随着供给侧的卷取辊WR通过电动机M而旋转，缠绕在供给侧的卷取辊WR的线W以单向解开，经由多个辊轮配置结构(未图示)后，缠绕在导向辊GR上。缠绕在导向辊GR上的线W随着导向辊GR的旋转而运行，切割通过固定单元P下降的锭块I。此时，通过喷嘴N喷洒淤浆，稳定地进行锭块I的切割。在锭块I的切割中使用的线W再次经由多个辊轮配置结构(未图示)后，缠绕在通过电动机M的旋转而旋转的回收侧的卷取辊、WR上。其中，电源部P、控制器C、传导体A、卷取辊WR和线W形成电连接，若断线感测单元通过电源部P施加预先设定的设置电压，则通过传导体A和卷取辊WR，设置电压被施加到线W上，控制器C检测所施加的电压，从而可通过所检测到的电压变化而感测线W的断线与否。下面，详细说明本发明第一实施例的导向辊。图2是表示本发明第一实施例的导向辊的立体图，图3是表示根据本发明的第一实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。参照图2和图3，本发明第 旋转而使线W高速运行。在导向辊GR高速旋转时，需要保持旋转的导向辊GR的重量平衡，因此导向辊GR包括导槽I、平衡部件3和固定件4。导槽I是在导向辊GR的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成的槽，在导向辊GR的一侧面沿着圆周方向形成为圆形。导槽I也可在导向棍GR的至少一个侧面形成为三角形或四边形等的多边形。平衡部件3是嵌设于导槽I中，沿导槽I滑动的重量物，在导槽I中能够嵌设至少一个即可。在此，平衡部件3的重量可根据在导向辊GR的旋转时所测定的偏差值而改变，不限定其重量。固定件4将嵌设在导槽I中的平衡部件3固定于导槽I。尤其在本发明的第一实施例中，平衡部件3可形成有间隔槽33，以形成相互隔开的支承部3a，固定件4可由贯穿支承部3a且通过间隔槽33与平衡部件3螺栓结合的固定螺栓6构成。这样一来，为了使导向辊GR的重量平衡，根据所测定的偏差值将至少一个平衡部件3嵌入导槽I中并使之移动。此时，平衡部件3也可在导槽I的深度方向移动。若固定螺栓6与平衡部件3螺栓结合，则相互隔开的支承部3a之间的间隔减小，由此至少使导槽I的侧面和平衡部件3的侧面贴紧，从而能够将平衡部件3固定于导槽I。此时，也可以使导槽I的底面和平衡部件3的底面贴紧。而且，若从平衡部件3解除固定螺栓6的螺栓结合，则支承部3a之间的间隔恢复原状，从而能够使平衡部件3移动。在另一个实施例中，若固定螺栓6与平衡部件3螺栓结合，则平衡部件3被膨胀，由此至少使导槽I的侧面和平衡部件3的侧面贴紧，从而能够将平衡部件3固定于导槽I。此时，也可以使导槽I的底面和平衡部件3的底面贴紧。而且，若从平衡部件3解除固定螺栓6的螺栓结合，则平衡部件3缩回原状，从而能够使平衡部件3移动。固定螺栓6只要与平衡部件3螺栓结合，从而将平衡部件3固定于导槽1，当与平衡部件3之间的螺栓结合被解除时，能够使平衡部件3在导槽I中移动即可。根据本发明的第一实施例，易于进行平衡部件3的装卸。接下来，说明本发明第二实施例的导向辊。图4是表示根据本发明的第二实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图，图4的(a)表示平衡部件3为可移动状态，图4的(b)表示平衡部件3固定于导槽I的状态。参照图4，本发明第二实施例的导向辊GR至少配置为两个，是供线W缠绕而被支承的辊轮，能够以旋转轴10为中心进行旋转而使线W高速运行。在导向辊GR高速运行时，需要保持旋转的导向辊GR的重量平衡，因此导向辊GR包括导槽I、平衡部件3和固定件4。导槽I是在导向辊GR的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成的槽，其可在导向棍GR的一侧面上沿着圆周方向而形成为圆形。导槽I也可在导向棍GR的至少一个侧面上形成为三角形或四边形等的多边形。平衡部件3是嵌设于导槽I且沿导槽I而滑动的重量物，在导槽I中能够嵌设至少一个即可。在此，平衡部件3的重量可根据在导向辊GR的旋转时所测定的偏差值而改变，不限定其重量。固定件4将嵌设于导槽I中的平衡部件3固定于导槽I。
尤其是，在本发明的第二实施例的导向辊GR中，导槽I的侧面可形成有导向斜面12，从而导槽的深度越深，其宽度越宽。此外，平衡部件3的侧面对应于导槽I的侧面而形成有支承斜面31。此外，固定件4可构成为贯穿平衡部件3并与平衡部件3螺栓结合的固定螺栓6。这样一来，为了使导向辊GR的重量平衡，若根据所测定的偏差值，使至少一个平衡部件3在图4的(a)状态下移动，且在固定螺栓6螺栓结合于平衡部件3，则如图4的(b)所示，固定螺栓6的末端被支承在导槽I的底面，导向斜面12和支承斜面31相接并贴紧，从而能够将平衡部件3固定于导槽I。而且，若从平衡部件3解除固定螺栓6的螺栓结合，则如图4的(a)所示，导向斜面12和支承斜面31相互隔开，从而能够使平衡部件3沿导槽I移动。固定螺栓6只要与平衡部件3螺栓结合，从而将平衡部件3固定于导槽1，当与平衡部件3之间的螺栓结合被解除时，能够使平衡部件3在导槽I中移动即可。根据本发明的第二实施例，能够将平衡部件3稳定地固定于导槽I。接下来，说明本发明第三实施例的导向辊。图5是表示根据本发明的第三实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图，图5的(a)表示平衡部件3从导槽I分离的状态，图5的(b)表示平衡部件3结合于导槽I的状态。参照图5，本发明第三实施例的导向辊GR至少配置为两个，是供线W缠绕而被支承的辊轮，能够以旋转轴10为中心进行旋转，从而使线W高速运行。在导向辊GR高速旋转时，需要保持旋转的导向辊GR的重量平衡，因此导向辊GR包括导槽I、平衡部件3和固定件4。导槽I是在导向辊GR的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成的槽，在导向辊GR的一侧面上沿着圆周方向形成为圆形。导槽I也可在导向棍GR的至少一个侧面上形成为三角形或四边形等的多边形。平衡部件3是嵌设于导槽I中，沿导槽I滑动的重量物，在导槽I中能够嵌设至少一个即可。在此，平衡部件3的重量可根据在导向辊GR的旋转时所测定的偏差值而改变，不限定其重量。固定件4将嵌设于导槽I中的平衡部件3固定于导槽I。尤其是，在本发明第三实施例的导向辊GR中，导槽I沿着入口侧边缘形成有止挡部51。止挡部51可由止挡件5结合于导槽I的边缘而形成。此外，固定件4可包括在平衡部件3的至少一侧突出设置的支承突部、设置在平衡部件3和支承突部8之间且用于弹性支承支承突部8的弹性件9。此外，导槽I在侧面可进一步形成有供支承突部8嵌入的支承槽11。这样一来，为了使导向辊GR的重量平衡，若根据所测定的偏差值，如图5的(a)所示在平衡部件3从导槽I分离的状态下将至少一个平衡部件3嵌入导槽1，则如图5的(b)所示，平衡部件3被支承在止挡部51，并可在导槽I中滑动。此外，若将平衡部件3嵌入导槽I中，则如图5的(b)所示，支承突部8嵌入支承槽11中，平衡部件3可在导槽I中滑动。在平衡部件3移动后，由于弹性件9弹性支承支承突部8，支承突部8能够贴紧并固定于支承槽11。 根据本发明的第三实施例，能够易于进行平衡部件3的装卸，且能够同时实现平衡部件3的移动和固定。接下来，说明本发明第四实施例的导向辊。图6是表示根据本发明的第四实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图，图6的(a)表示平衡部件3从导轨2分离的状态，图6的(b)表示平衡部件3结合于导轨2的状态。参照图6，本发明第四实施例的导向辊GR至少配置为两个，是供线W缠绕而被支承的辊轮，以旋转轴10为中心旋转而，从而能够使线W高速运行。在导向辊GR高速旋转时，需要保持旋转的导向辊GR的重量平衡，因此导向辊GR包括导轨2、平衡部件3和固定件4。导轨2是在导向辊GR的两个侧面中的至少一个侧面上突出形成的轨道，可在导向棍GR的一侧面上沿圆周方向形成为圆形。导轨2也可在导向棍GR的至少一个侧面上形成为三角形或四边形等的多边形。平衡部件3是形成有供导轨2插入的插槽32的重量物，至少一个能够沿导轨2滑动即可。在此，平衡部件3的重量可根据在导向辊GR的旋转时所测定的偏差值而改变，不
限定其重量。固定件4将嵌设在导槽I中的平衡部件3固定于导槽I。尤其是，在本发明第四实施例的导向辊GR中，固定件4可由贯穿平衡部件3并与平衡部件3螺栓结合的固定螺栓6构成。这样一来，为了使导向辊GR的重量平衡，若根据所测定的偏差值，如图6的(a)所示在平衡部件3从导轨2分离的状态下使导轨2嵌入平衡部件3的插槽32，则平衡部件3可沿导轨2滑动。在使平衡部件3沿着导轨2移动后，如图6的(b)所示，若使固定螺栓6与平衡部件3螺栓结合，则固定螺栓6支承导轨2的一侧面，导轨2的外表面和插槽32的内表面贴紧，从而能够将平衡部件3固定于导轨2。而且，若从平衡部件3解除固定螺栓6的螺栓结合，则平衡部件3可沿导轨2移动。此外，如图6的(a)所示，能够从导轨2分离平衡部件3。固定螺栓6只要与平衡部件3螺栓结合，从而将平衡部件3固定于导轨2，在与平衡部件3之间的螺栓结合被解除后，能够使平衡部件3在导轨2上移动或分离即可。根据本发明的第四实施例，易于进行平衡部件3的装卸。接下来，说明本发明第五实施例的导向辊。
图7表示根据本发明的第五实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图，图7的(a)表示平衡部件3从导轨2分离的状态，图7的(b)表示平衡部件3结合于导轨2的状态。参照图7，本发明第五实施例的导向辊GR至少配置为两个，是供线W缠绕而被支承的辊轮，能够以旋转轴10为中心进行旋转，从而使线W高速运行。 在导向辊GR高速运行时，需要保持旋转的导向辊GR的重量平衡，因此导向辊GR包括导轨2、平衡部件3和固定件4。导轨2是在导向辊GR的两个侧面中的至少一个侧面上突出形成的轨道，可沿导向辊GR的圆周方向形成为圆形。导轨2也可在导向辊GR的至少一个侧面上形成为三角形或四边形等的多边形。平衡部件3是形成有供导轨2插入的插槽32的重量物，至少一个能够沿导轨2滑动即可。在此，平衡部件3的重量可根据在导向辊GR的旋转时所测定的偏差值而改变，不
限定其重量。固定件4将嵌设在导槽I中的平衡部件3固定于导槽I。尤其是，在本发明的第五实施例的导向辊GR中，固定件4可包括从平衡部件3的插槽32突出设置的支承突部8以及设置在平衡部件3和支承突部8之间且用于弹性支承支承突部8的弹性件9。此外，导轨2在侧面可进一步形成有供支承突部8嵌入的支承槽11。这样一来，为了使导向辊GR的重量平衡，若根据所测定的偏差值，如图7的(a)所示在平衡部件3从导轨2分离的状态下使导轨嵌入至少一个平衡部件3的插槽32，则如图7的(b)所示，支承突部8嵌入支承槽11中，平衡部件3可沿导轨2滑动。在平衡部件3移动之后，由于弹性件9弹性支承支承突部8，支承突部8能够贴紧并固定于支承槽11。根据本发明的第五实施例，能够易于进行平衡部件3的装卸，且能够同时实现平衡部件3的移动和固定。
本发明的保护范围不仅限于上述实施例，在所附上的权利要求书中记载的内容基础上能够实现为多种形式的实施例。在不脱离权利要求书所要求保护的本发明宗旨的范围内，本发明所属技术领域中具有一般知识的人都能变更的各种范围也应属于本发明的保护范围内。
权利要求
1.一种线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊包括 导槽，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成； 至少一个平衡部件，嵌设于所述导槽，沿所述导槽滑动；以及 固定件，在所述导槽中固定所述平衡部件。
2.根据权利要求I所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述导槽的侧面构成导向斜面，使得所述导槽的深度越深，所述导槽的宽度越宽。
3.根据权利要求2所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述平衡部件的侧面对应于所述导槽的侧面而形成有支承斜面。
4.根据权利要求I所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述导槽沿入口侧边缘形成有止挡部。
5.一种线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊包括 导轨，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上突出而形成； 至少一个平衡部件，形成有供所述导轨嵌入的插槽，沿所述导轨而滑动；以及 固定件，在所述导轨上固定所述平衡部件。
6.根据权利要求I到5中的任何一项所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述固定件由贯穿所述平衡部件并与所述平衡部件螺栓结合的固定螺栓构成。
7.根据权利要求I到4中的任何一项所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述平衡部件凹陷形成有间隔槽，以形成相互隔开的支承部， 所述固定件由通过所述间隔槽且贯穿所述支承部并与所述平衡部件螺栓结合的固定螺栓构成。
8.根据权利要求I到4中的任何一项所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于，所述固定件包括 支承突部，突出设置在所述平衡部件的至少一侧；以及 弹性件，设置在所述平衡部件和所述支承突部之间，用于弹性支承所述支承突部。
9.根据权利要求8所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述导槽进一步在侧面形成有供所述支承突部嵌入的支承槽。
10.根据权利要求5所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于，所述固定件包括 支承突部，从所述平衡部件的插孔突出而设置；以及 弹性件，设置在所述平衡部件和所述支承突部之间，用于弹性支承所述支承突部。
11.根据权利要求10所述的线锯系统用的导向辊，其特征在于， 所述导轨进一步在侧面形成有供所述支承突部嵌入的支承槽。
全文摘要
本发明的线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊的特征在于，包括导槽，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成；至少一个平衡部件，嵌设于所述导槽，沿所述导槽滑动；及固定件，在所述导槽中固定所述平衡部件。由此提供一种能够防止根据在主辊的旋转时所测定的偏差值进行切削作业的麻烦，随着主辊的旋转便于以旋转轴为中心使重量平衡，保持主辊同心度的线锯系统用的导向辊。此外，提供一种无需进行反复的切削作业，能够节省反复的切屑作业所需的维修费用的线锯系统用的导向辊。
文档编号B28D7/00GK102632556SQ201210029558
公开日2012年8月15日 申请日期2012年2月8日 优先权日2011年2月8日
发明者张石俊, 朴泰仁, 赵商植, 赵昌锡, 郭范锡, 金海砚 申请人:五星Lst有限公司