技术编号:19866601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体生长技术领域,具体涉及一种金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法。背景技术金刚石由于具有极其优异的物理化学性质,可以胜任钻头、半导体、非金属切割等领域,并且具有极佳的性能。但天然金刚石储量有限,于是人们开发出多种合成金刚石方法,如高温高压法、热丝化学气相沉积法等,其中微波等离子体化学气相沉积法(microwaveplasmachemicalvapordeposition,mpcvd)合成金刚石法由于没有杂质的引入,可以合成出高质量、大面积的金刚石,从而被广泛使用。mpcvd(mi...
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