技术编号:19866618
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种pecvd石墨舟载具的制造方法。背景技术在硅片镀膜工艺中会使用到管式pecvd石墨舟,普通石墨舟在使用80~100次左右需要拆卸,进行酸洗、漂洗、烘干,之后必须经过预处理(即饱和工艺)镀一层氮化硅膜,从而使得石墨舟内壁各处均呈氮化硅状态,保证石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致,然后再投入正式生产,以保证后续产品质量。存在的缺陷和问题是:工序复杂,生产和使用维护成本高,降低了生产效率,浪费严重,经济效益和社会效益低。一种带抗氧化涂层管式pecvd石墨舟及制造方法(国别:中国,公开号:1...
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