技术编号:1987274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超精密加工机床精度设计方法,具体涉及一种基于频域误差分配的且适用于加工光学晶体的超精密飞切机床精度设计方法。背景技术光学晶体是一种极具应用价值的光学元件材料,可用来制造透镜、棱镜、调制元件、偏光元件等。在大型惯性约束激光核聚变系统中,光学元件有极高的表面质量要求,这种高要求不仅体现在对空间域误差的控制上,更体现在对波前质量进行全空间频段的控制。因为光学元件的低频波前畸变误差直接决定激光束的焦斑分布,而中、高频的波前畸变误差作为光束强度和相位扰...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。