技术编号：19942668
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学器件。背景技术已知有一种利用mems(microelectromechanicalsystems：微机电系统)技术而在soi(silicononinsulator：绝缘体上硅结构)基片形成干涉光学系统的光模块(例如，参照专利文献1)。此种光模块可提供能够实现高精度的光学配置的ftir(傅立叶变换红外光谱仪)而受到瞩目。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012-524295号公报。发明内容发明所要解决的技术问题然而，在如上所述的光模块中，例如在可动反射镜的镜面尺寸依赖于对...
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