光学器件的制作方法

本发明涉及一种光学器件。

背景技术：

已知有一种利用mems(microelectromechanicalsystems：微机电系统)技术而在soi(silicononinsulator：绝缘体上硅结构)基片形成干涉光学系统的光模块(例如，参照专利文献1)。此种光模块可提供能够实现高精度的光学配置的ftir(傅立叶变换红外光谱仪)而受到瞩目。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012-524295号公报。

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

然而，在如上所述的光模块中，例如在可动反射镜的镜面尺寸依赖于对soi基片的深挖加工的达成度的方面，存在如下的问题。即：由于对soi基片的深挖加工的达成度最大仅为500μm左右，因此可动反射镜的镜面的大型化导致ftir的感度提高受到限制。另一方面，如果可动反射镜伴随镜面的大型化而大型化，则有可能导致可动反射镜的可动性能降低或在形成有其他光学功能部的情况下装置整体大型化。

本发明的目的在提供一种能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时能够抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。

用于解决问题的技术手段

本发明的一个方面的光学器件包括：具有主面的基体；可动反射镜，其具有沿着与主面平行的平面的镜面；第1弹性支承部和第2弹性支承部，其与基体和可动反射镜连接，以可动反射镜沿着与主面垂直的第1方向可移动的方式支承可动反射镜；致动器部，其使可动反射镜沿着第1方向移动；和第1光学功能部，其在从第1方向看时配置在与第1方向垂直的第2方向上的可动反射镜的一侧，第1弹性支承部具有从可动反射镜沿着主面向与第1方向和第2方向垂直的第3方向上的第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆，第2方向上的一对第1杆各自的长度大于镜面的外缘与第1光学功能部的边缘之间的最短距离。

在上述光学器件中，可动反射镜具有沿着与基体的主面平行的平面的镜面。由此，能够实现可动反射镜的镜面的大型化。此外，第1弹性支承部具有从可动反射镜沿着主面向第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆，可动反射镜和第1光学功能部所排列的方向上的一对第1杆各自的长度大于镜面的外缘与第1光学功能部的边缘之间的最短距离。由此，能够抑制可动反射镜与第1光学功能部之间的距离增大，因此能够抑制装置整体的大型化。并且，由于在第1弹性支承部中能够确保一对第1杆各自的长度，因此能够抑制可动反射镜的可动性能的降低。综上所述，根据上述光学器件，能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时能够抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化。

在本发明的一个方面的光学器件中，第3方向上的一对第1杆之间的最大距离为第3方向上的第1光学功能部的最大宽度以上。由此，能够更加平衡地实现抑制可动反射镜与第1光学功能部之间的距离增大以及确保一对第1杆各自的长度。

在本发明的一个方面的光学器件中，从第1光学功能部的边缘中的距镜面最近的部分至一对第1杆各自的与可动反射镜相反侧的端部的距离，大于从第1光学功能部的边缘中的距镜面最远的部分至一对第1杆各自的与可动反射镜相反侧的端部的距离。由此，能够更加平衡地实现抑制可动反射镜与第1光学功能部之间的距离增大以及确保一对第1杆各自的长度。

在本发明的一个方面的光学器件中，第1弹性支承部也可以还具有从第3方向上的第1光学功能部的两侧沿着主面向可动反射镜侧延伸的一对第2杆，一对第1杆各自的可动反射镜侧的端部经由至少1个扭杆与可动反射镜连接，一对第1杆各自的与可动反射镜相反侧的端部经由至少1个扭杆，与一对第2杆各自的与可动反射镜相反侧的端部连接，一对第2杆各自的可动反射镜侧的端部经由至少1个扭杆与基体连接。由此，能够实现可动反射镜的可动范围的增大以及可动反射镜的可动效率的提高(减少可动反射镜的驱动所需的驱动力)。

在本发明的一个方面的光学器件中，一对第1杆各自的可动反射镜侧的端部经由至少1个扭杆与可动反射镜连接，一对第1杆各自的与可动反射镜相反侧的端部经由至少1个扭杆与基体连接。由此，能够实现第1弹性支承部的构造的简化。

在本发明的一个方面的光学器件中，一对第1杆各自的可动反射镜侧的端部经由配置在与第3方向平行的同一轴线上的多个扭杆，与可动反射镜连接。由此，能够使配置在同一轴线的多个扭杆各自的长度变短。其结果，能够抑制可动反射镜向第2方向的移动以及可动反射镜绕与第1方向平行的轴线的旋转。

在本发明的一个方面的光学器件中，致动器部也可以具有沿着可动反射镜的外缘配置的梳齿电极。由此，能够将梳齿电极所产生的静电力高效地用作可动反射镜的驱动力。

在本发明的一个方面的光学器件中，梳齿电极也可以与可动反射镜的外缘隔开间隔，且致动器部还具有将梳齿电极与可动反射镜连结的连结部。由此，能够防止在例如镜面为金属层的表面的情况下，该金属层附着在梳齿电极。

在本发明的一个方面的光学器件中，可动反射镜也可以具有：形成有镜面的主体部；和壁部，其设置在主体部，且在从第1方向看时包围镜面。由此，使壁部作为梁发挥功能，因此能够实现主体部的薄型化，同时抑制镜面的变形(翘曲、挠曲等)。

在本发明的一个方面的光学器件中，第1光学功能部为形成在基体的光通过开口部。由此，能够在从与基体的主面垂直的第1方向看时与第1光学功能部重叠的位置配置固定反射镜等光学元件。

在本发明的一个方面的光学器件中，第1光学功能部也可以为设置在基体的固定反射镜。由此，能够抑制装置整体的大型化，同时实现具有可动反射镜和固定反射镜的光学器件。

在本发明的一个方面的光学器件中，基体、可动反射镜、致动器部、第1弹性支承部、第2弹性支承部和第1光学功能部也可以由soi基片构成。由此，能够获得各结构可通过mems技术容易且高精度地形成的光学器件。

本发明的一个方面的光学器件也可以还包括在从第1方向看时配置在第2方向上的可动反射镜的另一侧的第2光学功能部，第2弹性支承部具有从可动反射镜沿着主面向第3方向上的第2光学功能部的两侧延伸的一对第3杆，第2方向上的一对第3杆各自的长度大于镜面的外缘与第2光学功能部的边缘之间的最短距离。由此，能够实现装置的多功能化，同时能够抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种可实现可动反射镜的镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。

附图说明

图1是一个实施方式的光模块的纵剖视图。

图2是图1所示的光模块所包括的光学器件的纵剖视图。

图3是图2所示的光学器件的俯视图。

图4是用于对图2所示的光学器件的制造方法进行说明的图。

图5是用于对图2所示的光学器件的制造方法进行说明的图。

图6是用于对图2所示的光学器件的制造方法进行说明的图。

图7是用于对图2所示的光学器件的制造方法进行说明的图。

图8是用于对图2所示的光学器件的制造方法的变化例进行说明的图。

图9是用于对图2所示的光学器件的制造方法的变化例进行说明的图。

图10是用于对图2所示的光学器件的制造方法的变化例进行说明的图。

图11是用于对图2所示的光学器件的制造方法的变化例进行说明的图。

图12是光学器件的变化例的俯视图。

图13是光学器件的变化例的俯视图。

图14是光学器件的变化例的俯视图。

图15是光学器件的变化例的俯视图。

图16是光学器件的变化例的俯视图。

图17是光学器件的变化例的俯视图。

图18是光学器件的变化例的俯视图。

图19是光学器件的变化例的俯视图。

图20是光学器件的变化例的纵剖视图。

图21是图20所示的光学器件的变化例的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。另外，在各图中对同一或相当部分标注同一符号，省略重复的部分。

[光模块的结构]

如图1所示，光模块1包括反射镜组件2和分束器组件3。反射镜组件2包括光学器件10和固定反射镜21。光学器件10包括可动反射镜11。在光模块1中，由分束器组件3、可动反射镜11和固定反射镜21构成针对测量光l0的干涉光学系统。干涉光学系统此处为迈克尔逊干涉光学系统。

光学器件10除包括可动反射镜11以外，还包括基体12、驱动部13、第1光学功能部17和第2光学功能部18。基体12具有主面12a。可动反射镜11具有沿着与主面12a平行的平面的镜面11a。可动反射镜11以沿着与主面12a垂直的z轴方向(与z轴平行的方向、第1方向)可移动的方式被支承在基体12。驱动部13使可动反射镜11沿z轴方向移动。在从z轴方向看时，第1光学功能部17配置在与z轴方向垂直的x轴方向(与x轴平行的方向、第2方向)上的可动反射镜11的一侧。在从z轴方向看时，第2光学功能部18配置在x轴方向上的可动反射镜11的另一侧。第1光学功能部17和第2光学功能部18分别为设置在基体12的光通过开口部，在z轴方向上的一侧和另一侧具有开口。

固定反射镜21具有沿着与主面12a平行的平面的镜面21a。固定反射镜21相对于基体12的位置被固定。在反射镜组件2中，可动反射镜11的镜面11a和固定反射镜21的镜面21a朝向z轴方向上的一侧(分束器组件3侧)。

反射镜组件2除包括光学器件10和固定反射镜21外，还包括支承体22、副安装基片23和封装体24。封装体24收容光学器件10、固定反射镜21、支承体22和副安装基片23。封装体24包括底壁241、侧壁242和顶壁243。封装体24例如形成为长方体箱状。封装体24例如具有30×25×10(厚度)mm左右的尺寸。底壁241和侧壁242形成为一体。顶壁243在z轴方向上与底壁241相对，且固定在侧壁242。顶壁243对测量光l0具有透光性。在反射镜组件2中，通过封装体24而形成空间s。空间s例如经由设置在封装体24的通气孔或间隙等而对反射镜组件2的外部敞开。因此，在空间s并非气密空间的情况下，能够抑制来自存在于封装体24内的树脂材料的释气、以及因存在于封装体24内的水分等所引起的镜面11a的污染和起雾等。另外，空间s也可以为维持高真空度的气密空间、或者填充有氮气等惰性气体的气密空间。

在底壁241的内面，隔着副安装基片23固定有支承体22。支承体22例如形成为矩形板状。支承体22对测量光l0具有透光性。在支承体22的与副安装基片23相反侧的表面22a，固定有光学器件10的基体12。即，基体12通过支承体22而被支承。在支承体22的表面22a形成有凹部22b，在光学器件10与顶壁243之间形成有间隙(空间s的一部分)。由此，防止当可动反射镜11沿z轴方向移动时，可动反射镜11和驱动部13接触到支承体22和顶壁243。

在副安装基片23形成有开口23a。固定反射镜21以位于开口23a内的方式配置在支承体22中的副安装基片23侧的表面22c。即，固定反射镜21配置在支承体22的与基体12相反侧的表面22c。在从z轴方向看时，固定反射镜21配置在x轴方向上的可动反射镜11的一侧。在从z轴方向看时，固定反射镜21与光学器件10的第1光学功能部17重叠。

反射镜组件2还具有多个引线销25和多个导线26。各引线销25以贯通底壁241的状态固定在底壁241。各引线销25经由导线26而与驱动部13电连接。在反射镜组件2中，用于使可动反射镜11沿z轴方向移动的电信号经由多个引线销25和多个导线26而被供给至驱动部13。

分束器组件3由封装体24的顶壁243支承。具体而言，分束器组件3通过光学树脂4而被固定在顶壁243的与光学器件10相反侧的表面243a。光学树脂4对测量光l0具有透光性。

分束器组件3具有半反射镜面31、全反射镜面32和多个光学面33a、33b、33c、33d。分束器组件3是通过将多个光学块接合而构成。半反射镜面31例如由电介质多层膜形成。全反射镜面32例如由金属膜形成。

光学面33a例如为与z轴方向垂直的面，在从z轴方向看时，与光学器件10的第1光学功能部17和固定反射镜21的镜面21a重叠。光学面33a使沿z轴方向入射的测量光l0透射。

半反射镜面31例如为相对于光学面33a倾斜45°的面，在从z轴方向看时，与光学器件10的第1光学功能部17和固定反射镜21的镜面21a重叠。半反射镜面31将沿z轴方向入射至光学面33a的测量光l0的一部分沿x轴方向反射且使该测量光l0的剩余部分沿z轴方向透射至固定反射镜21侧。

全反射镜面32为与半反射镜面31平行的面，在从z轴方向看时，与可动反射镜11的镜面11a重叠，且在从x轴方向看时，与半反射镜面31重叠。全反射镜面32将被半反射镜面31反射的测量光l0的一部分沿z轴方向反射至可动反射镜11侧。

光学面33b为与光学面33a平行的面，在从z轴方向看时，与可动反射镜11的镜面11a重叠。光学面33b使被全反射镜面32反射的测量光l0的一部分沿z轴方向透射至可动反射镜11侧。

光学面33c为与光学面33a平行的面，在从z轴方向看时，与固定反射镜21的镜面21a重叠。光学面33c使透射半反射镜面31的测量光l0的剩余部分沿z轴方向透射至固定反射镜21侧。

光学面33d例如为与x轴方向垂直的面，在从x轴方向看时，与半反射镜面31和全反射镜面32重叠。光学面33d使测量光l1沿x轴方向透射。测量光l1为依次被可动反射镜11的镜面11a和全反射镜面32反射并透射半反射镜面31的测量光l0的一部分与依次被固定反射镜21的镜面21a和半反射镜面31反射的测量光l0的剩余部分的干涉光。

在以如上方式构成的光模块1中，当测量光l0从光模块1的外部经由光学面33a入射至分束器组件3时，测量光l0的一部分依次被半反射镜面31和全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的镜面11a前进。然后，测量光l0的一部分被可动反射镜11的镜面11a反射，在同一光路(下述光路p1)上向反方向前进，透射分束器组件3的半反射镜面31。

另一方面，测量光l0的剩余部分在透射分束器组件3的半反射镜面31后，通过第1光学功能部17，进而，透射支承体22朝向固定反射镜21的镜面21a前进。然后，测量光l0的剩余部分被固定反射镜21的镜面21a反射，在同一光路(下述光路p2)上向反方向前进，被分束器组件3的半反射镜面31反射。

透射分束器组件3的半反射镜面31的测量光l0的一部分与被分束器组件3的半反射镜面31反射的测量光l0的剩余部分成为干涉光，即测量光l1，测量光l1从分束器组件3经由光学面33d而出射至光模块1的外部。根据光模块1，能够使可动反射镜11沿z轴方向高速往返移动，因此能够提供小型且高精度的ftir。

支承体22对分束器组件3与可动反射镜11间的光路p1和分束器组件3与固定反射镜21间的光路p2之间的光路差进行校正。具体而言，光路p1为从半反射镜面31起，依次经由全反射镜面32和光学面33b而到达基准位置的可动反射镜11的镜面11a的光路，且为测量光l0的一部分前进的光路。光路p2为从半反射镜面31起，依次经由光学面33c和第1光学功能部17而到达固定反射镜21的镜面21a的光路，且为测量光l0的剩余部分前进的光路。支承体22以使光路p1的光程长度(考虑到光路p1所通过的各介质的折射率的光程长度)与光路p2的光程长度(考虑到光路p2所通过的各介质的折射率的光程长度)之差变小的方式，对光路p1与光路p2之间的光路差进行校正。另外，支承体22例如可由与构成分束器组件3的各光学块相同的透光性材料形成。在该情况下，支承体22的厚度(z轴方向上的长度)可设为与x轴方向上的半反射镜面31与全反射镜面32的距离相同。

[光学器件的结构]

如图2和图3所示，基体12、可动反射镜11的可动部、驱动部13、第1光学功能部17和第2光学功能部18由soi基片50构成。即，光学器件10由soi基片50构成。光学器件10例如形成为矩形板状。光学器件10例如具有15×10×0.3(厚度)mm左右的尺寸。soi基片50包括支承层51、器件层52和中间层53。具体而言，支承层51为soi基片50的第1硅层。器件层52为soi基片50的第2硅层。中间层53为soi基片50的绝缘层，配置在支承层51与器件层52之间。可动反射镜11和驱动部13通过mems技术(图案化和蚀刻)而一体形成在器件层52的一部分上。

基体12由支承层51、器件层52和中间层53形成。基体12的主面12a为器件层52的与中间层53相反侧的表面。基体12中的与主面12a相对的主面12b为支承层51的与中间层53相反侧的表面。在光模块1中，基体12的主面12a与支承体22的表面22a彼此接合(参照图1)

可动反射镜11包括作为可动部的主体部111和壁部112。主体部111由器件层52形成。通过在主体部111的主面12b侧的表面111a形成金属膜而设置镜面11a。壁部112由支承层51和中间层53形成。壁部112设置在主体部111的表面111a。在从z轴方向看时，壁部112包围镜面11a。作为一例，壁部112以在从z轴方向看时在主体部111的外缘的内侧沿着该外缘的方式，且以在从z轴方向看时在镜面11a的外缘的外侧沿着该外缘的方式设置在主体部111的表面111a。

可动反射镜11还具有作为可动部的一对支架113和一对支架114。一对支架113和一对支架114由器件层52形成。一对支架113以向第1光学功能部17侧突出的方式设置在主体部111的侧面中的第1光学功能部17侧的区域。在从z轴方向看时，各支架113呈向同一侧弯曲成曲柄状的形状。一对支架114以向第2光学功能部18侧(与第1光学功能部17相反侧)突出的方式设置在主体部111的侧面中的第2光学功能部18侧的区域。在从z轴方向看时，各支架114呈向同一侧(与各支架113相反侧)弯曲成曲柄状的形状。

驱动部13包括第1弹性支承部14、第2弹性支承部15和致动器部16。第1弹性支承部14、第2弹性支承部15和致动器部16由器件层52形成。

第1弹性支承部14和第2弹性支承部15连接于基体12和可动反射镜11。第1弹性支承部14和第2弹性支承部15将可动反射镜11以可沿z轴方向移动的方式支承。

第1弹性支承部14包括一对第1杆141、一对第2杆142、多个扭杆143、144、145、多个连杆146、147和一对支架148。一对第1杆141从可动反射镜11沿着基体12的主面12a向与z轴方向和x轴方向垂直的y轴方向(与y轴平行的方向，第3方向)上的第1光学功能部17的两侧延伸。在本实施方式中，一对第1杆141从可动反射镜11与第1光学功能部17之间沿基体12的主面12a向y轴方向上的第1光学功能部17的两侧延伸。在从z轴方向看时，一对第1杆141沿第1光学功能部17的边缘延伸。一对第2杆142从y轴方向上的第1光学功能部17的两侧沿基体12的主面12a向可动反射镜11侧延伸。在从z轴方向看时，一对第2杆142在一对第1杆141的外侧沿x轴方向延伸。

连杆146架设在各第1杆141的可动反射镜11侧的端部141a间。连杆147架设在各第2杆142的与可动反射镜11相反侧的端部142a间。在从z轴方向看时，各连杆146、147沿第1光学功能部17的边缘延伸。一对支架148以向可动反射镜11侧突出的方式设置在连杆146的可动反射镜11侧的侧面。在从z轴方向看时，各支架148呈向同一侧(与各支架113相反侧)弯曲成曲柄状的形状。一个支架148的前端部在y轴方向上与一个支架113的前端部相对。另一个支架148的前端部在y轴方向上与另一个支架113的前端部相对。

在一个支架148的前端部与一个支架113的前端部之间，和另一个支架148的前端部与另一个支架113的前端部之间，分别架设有扭杆143。在向互为相反侧弯曲成曲柄状的支架148与支架113之间架设有扭杆143。即，各第1杆141的端部141a经由一对扭杆143而与可动反射镜11连接。一对扭杆143配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在一个第1杆141的与可动反射镜11相反侧的端部141b与一个第2杆142的端部142a之间，和另一个第1杆141的与可动反射镜11相反侧的端部141b与另一个第2杆142的端部142a之间，分别架设有扭杆144。即，各第1杆141的端部141b经由一对扭杆144而与各第2杆142的端部142a连接。一对扭杆144配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在一个第2杆142的可动反射镜11侧的端部142b与基体12之间，和另一个第2杆142的可动反射镜11侧的端部142b与基体12之间，分别架设有扭杆145。即，各第2杆142的端部142b是经由一对扭杆145而连接在基体12。一对扭杆145配置在与y轴方向平行的同一轴线。

第2弹性支承部15包括一对第3杆151、一对第4杆152、多个扭杆153、154、155、多个连杆156、157和一对支架158。一对第3杆151从可动反射镜11沿着基体12的主面12a向y轴方向上的第2光学功能部18的两侧延伸。在本实施方式中，一对第3杆151从可动反射镜11与第2光学功能部18之间向y轴方向上的第2光学功能部18的两侧延伸。在从z轴方向看时，一对第3杆151沿第2光学功能部18的边缘延伸。一对第4杆152从y轴方向上的第2光学功能部18的两侧沿基体12的主面12a向可动反射镜11侧延伸。在从z轴方向看时，一对第4杆152在一对第3杆151的外侧沿x轴方向延伸。

连杆156架设在各第3杆151的可动反射镜11侧的端部151a间。连杆157架设在各第4杆152的与可动反射镜11相反侧的端部152a间。在从z轴方向看时，各连杆156、157沿第2光学功能部18的边缘延伸。一对支架158以向可动反射镜11侧突出的方式设置在连杆156的可动反射镜11侧的侧面。在从z轴方向看时，各支架158呈向同一侧(与各支架114相反侧)弯曲成曲柄状的形状。一个支架158的前端部在y轴方向上与一个支架114的前端部相对。另一个支架158的前端部在y轴方向上与另一个支架114的前端部相对。

在一个支架158的前端部与一个支架114的前端部之间，和另一个支架158的前端部与另一个支架114的前端部之间，分别架设有扭杆153。在向互为相反侧弯曲成曲柄状的支架158与支架114之间架设有扭杆153。即，各第3杆151的端部151a经由一对扭杆153而与可动反射镜11连接。一对扭杆153配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在一个第3杆151的与可动反射镜11相反侧的端部151b与一个第4杆152的端部152a之间，和另一个第3杆151的与可动反射镜11相反侧的端部151b与另一个第4杆152的端部152a之间，分别架设有扭杆154。即，各第3杆151的端部151b经由一对扭杆154而与各第4杆152的端部152a连接。一对扭杆154配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在一个第4杆152的可动反射镜11侧的端部152b与基体12之间，和另一个第4杆152的可动反射镜11侧的端部152b与基体12之间，分别架设有扭杆155。即，各第4杆152的端部152b经由一对扭杆155而与基体12连接。一对扭杆155配置在与y轴方向平行的同一轴线。

第1光学功能部17至少通过一对第1杆141和多个连杆146、147来划定。在第1弹性支承部14中，x轴方向上的各第1杆141的长度a1(在第1光学功能部17的两侧延伸的部分的长度，例如在从y轴方向看时与第1光学功能部17重叠的部分的长度)大于镜面11a的外缘与第1光学功能部17的边缘之间的最短距离d1(从z轴方向看时的最短距离)。y轴方向上的一对第1杆141间的最大距离d2与y轴方向上的第1光学功能部17的最大宽度w1(从z轴方向看时的最大宽度)相等。第1光学功能部17的边缘中的最接近镜面11a的部分至各第1杆141的端部141b的距离d3(从z轴方向看时的距离)大于第1光学功能部17的边缘中的最远离镜面11a的部分至各第1杆141的端部141b的距离d4(从z轴方向看时的距离)。

第2光学功能部18至少通过一对第3杆151和多个连杆156、157来划定。在第2弹性支承部15中，x轴方向上的各第3杆151的长度a2(在第2光学功能部18的两侧延伸的部分的长度，例如在从y轴方向看时与第2光学功能部18重叠的部分的长度)大于镜面11a的外缘与第2光学功能部18的边缘之间的最短距离d5(从z轴方向看时的最短距离)。y轴方向上的一对第3杆151间的最大距离d6与y轴方向上的第2光学功能部18的最大宽度w2(从z轴方向看时的最大宽度)相等。第2光学功能部18的边缘中的最接近镜面11a的部分至各第3杆151的端部151b的距离d7(从z轴方向看时的距离)大于第2光学功能部18的边缘中的最远离镜面11a的部分至各第3杆151的端部151b的距离d8(从z轴方向看时的距离)。

第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或是相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。但是，第1弹性支承部14中的除一对支架148以外的部分与第2弹性支承部15中的除一对支架158以外的部分，无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或是相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均具有彼此对称的构造。

致动器部16使可动反射镜11沿z轴方向移动。致动器部16具有沿着可动反射镜11的外缘配置的一对梳齿电极161和一对梳齿电极162。一个梳齿电极161设置在可动反射镜11的主体部111的侧面中的一个支架113与一个支架114之间的区域111b。另一个梳齿电极161设置在可动反射镜11的主体部111的侧面中的另一个支架113与另一个支架114之间的区域111c。一个梳齿电极162设置在基体12的器件层52的侧面中的、在与主体部111的区域111b隔开间隔的状态下沿该区域111b延伸的区域。另一个梳齿电极162设置在基体12的器件层52的侧面中的、在与主体部111的区域111c隔开间隔的状态下沿该区域111c延伸的区域。在一个梳齿电极161和一个梳齿电极162中，一个梳齿电极161的各梳齿位于一个梳齿电极162的各梳齿间。在另一个梳齿电极161和另一个梳齿电极162中，另一个梳齿电极161的各梳齿位于另一个梳齿电极162的各梳齿间。

在基体12设置有多个电极垫121、122。各电极垫121、122在以到达器件层52的方式形成在基体12的主面12b的开口12c内，形成在器件层52的表面。各电极垫121经由第1弹性支承部14和可动反射镜11的主体部111，或经由第2弹性支承部15和可动反射镜11的主体部111而与梳齿电极161电连接。各电极垫122经由器件层52与梳齿电极162电连接。导线26架设在各电极垫121、122与各引线销25之间。

在以如上方式构成的光学器件10中，当经由多个引线销25和多个导线26而对多个电极垫121与多个电极垫122之间施加电压时，例如以使可动反射镜11向z轴方向上的一侧移动的方式，在彼此相对的梳齿电极161与梳齿电极162间产生静电力。此时，在第1弹性支承部14和第2弹性支承部15中，各扭杆143、144、145、153、154、155扭转，在第1弹性支承部14和第2弹性支承部15产生弹力。在光学器件10中，通过经由多个引线销25和多个导线26对驱动部13供给周期性的电信号，能够使可动反射镜11以该共振频率等级沿z轴方向往返移动。如此，驱动部13作为静电致动器发挥功能。

[光学器件的制造方法]

参照图4～图7对光学器件10的制造方法的一例进行说明。在图4～图7中，以沿通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面(参照图3)的剖面表示各结构。

首先，如图4的(a)所示，准备soi基片50。接着，通过隔着实施有特定图案化的掩模，对支承层51的与中间层53相反侧的表面实施蚀刻，如图4的(b)所示，去除支承层51和中间层53的特定区域。该特定区域为与可动反射镜11、驱动部13、第1光学功能部17、第2光学功能部18和多个开口12c对应的区域(参照图3)。通过去除该特定区域而形成可动反射镜11的壁部112、一对开口12c等。在图4的(b)中，表示有可动反射镜11的壁部112和一对开口12c。

接着，如图5的(a)所示，在支承层51的与中间层53相反侧的表面接合硬质掩模80。在硬质掩模80形成有多个贯通孔80a。多个贯通孔80a以与多个开口12c对应的方式形成在硬质掩模80。即，多个贯通孔80a以使1个开口12c与1个贯通孔80a彼此连通的方式形成在硬质掩模80。该硬质掩模80例如可由硅形成。接着，如图5的(b)所示，通过隔着硬质掩模80蒸镀金属，而在多个开口12c内的器件层52的表面形成多个电极垫121、122(参照图3)。

接着，拆除硬质掩模80，如图6的(a)所示，在支承层51的与中间层53相反侧的表面接合硬质掩模90。在硬质掩模90形成有贯通孔90a。贯通孔90a以与可动反射镜11的壁部112的开口对应的方式形成在硬质掩模90。即，贯通孔90a以使壁部112的开口与贯通孔90a彼此连通的方式形成在硬质掩模90。该硬质掩模90例如可由硅形成。接着，如图6的(b)所示，通过隔着硬质掩模90蒸镀金属，而在可动反射镜11的壁部112的开口内的器件层52的表面形成金属膜的表面即镜面11a。

接着，拆除硬质掩模90，隔着实施有特定图案化的掩模对器件层52的与中间层53相反侧的表面实施蚀刻，如图7所示，去除器件层52的特定区域。由此，形成可动反射镜11、驱动部13、第1光学功能部17和第2光学功能部18(参照图3)。

通过以上工序，获得光学器件10。另外，光学器件10的制造是以晶圆级实施的，最后通过实施切割而同时获得多个光学器件10。在上述光学器件10的制造方法中，在形成电极垫121、122后形成镜面11a，但也可以在形成镜面11a后形成电极垫121、122。

接着，参照图8～图11对光学器件10的制造方法的变化例进行说明。在图8～图11中，以沿通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面(参照图3)的剖面表示各结构。

首先，如图8的(a)所示，准备soi基片50。接着，通过隔着实施有特定图案化的掩模对器件层52的与中间层53相反侧的表面实施蚀刻，图8的(b)所示，去除器件层52的特定区域。由此，形成可动反射镜11、驱动部13、第1光学功能部17和第2光学功能部18(参照图3)。在图8的(b)中，表示有可动反射镜11的主体部111。

接着，通过隔着实施有特定图案化的掩模，对支承层51的与中间层53相反侧的表面实施蚀刻，如图9所示，去除支承层51和中间层53的特定区域。该特定区域为与可动反射镜11、驱动部13、第1光学功能部17、第2光学功能部18和多个开口12c对应的区域(参照图3)。通过去除该特定区域而形成可动反射镜11的壁部112、一对开口12c等。在图9中，表示有可动反射镜11的壁部112和一对开口12c。

接着，如图10的(a)所示，在支承层51的与中间层53相反侧的表面接合硬质掩模80。在硬质掩模80形成有多个贯通孔80a。多个贯通孔80a以与多个开口12c对应的方式形成在硬质掩模80。即，多个贯通孔80a以使1个开口12c与1个贯通孔80a彼此连通的方式形成在硬质掩模80。该硬质掩模80例如可由硅形成。接着，如图10的(b)所示，通过隔着硬质掩模80蒸镀金属，而在多个开口12c内的器件层52的表面形成多个电极垫121、122(参照图3)。

接着，拆除硬质掩模80，如图11的(a)所示，在支承层51的与中间层53相反侧的表面接合硬质掩模90。在硬质掩模90形成有贯通孔90a。贯通孔90a以与可动反射镜11的壁部112的开口对应的方式形成在硬质掩模90。即，贯通孔90a以使壁部112的开口与贯通孔90a彼此连通的方式形成在硬质掩模90。该硬质掩模90例如可由硅形成。接着，如图11的(b)所示，通过隔着硬质掩模90蒸镀金属，而在可动反射镜11的壁部112的开口内的器件层52的表面形成金属膜的表面即镜面11a。接着，如图11的(c)所示，拆除硬质掩模90。

通过以上工序，获得光学器件10。另外，光学器件10的制造以晶圆级实施，最后通过实施切割而同时获得多个光学器件10。在上述光学器件10的制造方法中，在形成电极垫121、122后形成镜面11a，但也可以在形成镜面11a后形成电极垫121、122。此外，在上述光学器件10的制造方法中，进行器件层52的蚀刻后，进行支承层51的蚀刻，然后，使用硬质掩模80、90形成金属膜(电极垫122、镜面11a)，但也可以在进行支承层51的蚀刻后，进行器件层52的蚀刻，然后使用硬质掩模80、90形成金属膜。

[作用和效果]

在光学器件10中，由于可动反射镜11具有沿着与基体12的主面12a平行的平面的镜面11a，因此能够实现可动反射镜11的镜面11a的大型化。此外，通过利用第1弹性支承部14和第2弹性支承部15将具有该种镜面11a的可动反射镜11连接在基体12，并对其在z轴方向上驱动，从而能够变更光程长度。

在上述结构中，从第1和第2弹性支承部14、15的与基体12连接的部分至第1和第2弹性支承部14、15的与可动反射镜连接的部分的、第1和第2弹性支承部14、15各自的长度越大，则可动反射镜11的可动范围越提高，并且可动反射镜11的驱动所需的驱动力越减少从而可动效率越提高。另一方面，第1和第2弹性支承部14、15的长度越大，则第1和第2弹性支承部14、15的配置空间越扩大。因此，在基体12配置上述可动反射镜11以外的第1和第2光学功能部17、18的情况下，为了确保第1和第2弹性支承部14、15的配置空间，而将上述可动反射镜11与第1和第2光学功能部17、18之间的距离扩大，因此有可能导致光学器件10大型化。

在光学器件10中，第1弹性支承部14具有从可动反射镜11沿着主面12a向第1光学功能部17的两侧延伸的一对第1杆141，可动反射镜11和第1光学功能部17所排列的方向上的一对第1杆141各自的长度大于镜面11a的外缘与第1光学功能部17的边缘之间的最短距离。由此，能够抑制可动反射镜11与第1光学功能部17之间的距离的增大，因此能够抑制装置整体的大型化。并且，在第1弹性支承部14中，由于能够确保一对第1杆141各自的长度，因此能够抑制可动反射镜11的可动性能的降低。综上所述，根据上述光学器件10，能够实现可动反射镜11的镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和装置整体的大型化。

在光学器件10中，y轴方向上的一对第1杆141间的最大距离与y轴方向上的第1光学功能部17的最大宽度相等。因此，能够更加平衡地实现抑制可动反射镜11与第1光学功能部17之间的距离增大以及确保一对第1杆141各自的长度。

在光学器件10中，第1光学功能部17的边缘中最接近镜面11a的部分至一对第1杆141各自的与可动反射镜11相反侧的端部141b的距离，大于第1光学功能部17的边缘中最远离镜面11a的部分至一对第1杆141各自的与可动反射镜11相反侧的端部141b的距离。由此，能够更加平衡地实现抑制可动反射镜11与第1光学功能部17之间的距离增大以及确保一对第1杆141各自的长度。

在光学器件10中，第1弹性支承部14还具有从y轴方向上的第1光学功能部17的两侧沿着主面12a向可动反射镜11侧延伸的一对第2杆142，一对第1杆141、一对第2杆142和基体12彼此间的连接经由多个扭杆143、144、145实现。同样地，第2弹性支承部15除具有一对第3杆151外，还具有一对第4杆152，一对第3杆151、一对第4杆152和基体12彼此间的连接经由多个扭杆153、154、155实现。由此，能够实现可动反射镜11的可动范围的增大以及可动反射镜11的可动效率的提高(减少可动反射镜11的驱动所需的驱动力)。

在光学器件10中，各第1杆141的可动反射镜11侧的端部141a经由配置在与y轴方向平行的同一轴线的多个扭杆143而与可动反射镜11连接。同样地，各第3杆151的可动反射镜11侧的端部151a经由配置在与y轴方向平行的同一轴线的多个扭杆153而与可动反射镜11连接。由此，能够使配置在同一轴线的各扭杆143的长度变短。同样地，能够使配置在同一轴线的各扭杆143的长度变短。其结果为，能够抑制可动反射镜11向x轴方向的移动以及可动反射镜11绕与z轴方向平行的轴线的旋转。

在光学器件10中，在第1弹性支承部14中的各第1杆141的可动反射镜11侧的端部141a间架设有连杆146，在各第2杆142的与可动反射镜11相反侧的端部142a间架设有连杆147。同样地，在第2弹性支承部15中的各第3杆151的可动反射镜11侧的端部151a间架设有连杆156，在各第4杆152的与可动反射镜11相反侧的端部152a间架设有连杆157。由此，能够提高可动反射镜11的移动的稳定性。此外，在从z轴方向看时，各连杆146、147沿第1光学功能部17的边缘延伸。由此，能够抑制装置整体的大型化。

在光学器件10中，致动器部16具有沿可动反射镜11的外缘配置的梳齿电极161、162。由此，能够将由梳齿电极161、162产生的静电力高效地用作可动反射镜11的驱动力。

在光学器件10中，在从z轴方向看时，在可动反射镜11的主体部111设置有包围镜面11a的壁部112。由此，使壁部112作为梁发挥功能，因此能够实现主体部111的薄型化，同时抑制镜面11a的变形(翘曲、挠曲等)。

在光学器件10中，第1光学功能部17为设置在基体12的光通过开口部。由此，在从与基体12的主面12a垂直的z轴方向看时，能够在与第1光学功能部17重叠的位置配置固定反射镜21等光学元件。

在光学器件10中，基体12、可动反射镜11、致动器部16、第1弹性支承部14、第2弹性支承部15和第1光学功能部17由soi基片构成。由此，能够获得各结构可通过mems技术容易且高精度地形成的光学器件10。

在光学器件10中，第2弹性支承部15具有从可动反射镜11沿着主面12a向第2光学功能部18的两侧延伸的一对第3杆151，可动反射镜11和第2光学功能部18所排列的方向上的一对第3杆151各自的长度大于镜面11a的外缘与第2光学功能部18的边缘之间的最短距离。由此，能够实现装置的多功能化，同时能够抑制可动反射镜11的可动性能的降低和装置整体的大型化。

在光学器件10的制造方法中，分别使用硬质掩模80与硬质掩模90，分不同步骤形成多个电极垫121、122与镜面11a。由此，例如在构成多个电极垫121、122的金属膜的规格与构成镜面11a的金属膜的规格互不相同的情况下，可分别形成合适的金属膜。

在光学器件10的制造方法中，通过隔着实施有特定图案化的掩模，对支承层51的与中间层53相反侧的表面实施蚀刻，而形成可动反射镜11的壁部112。由此，在形成镜面11a时，可通过壁部112防止用于形成镜面11a的金属的飞散。因此，能够确实地防止在形成镜面11a时金属附着在镜面11a的周边。因此，能够进一步提高制造效率。

[变化例]

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，各结构的材料和形状并不限定于上述材料和形状，可采用各种材料和形状。作为其一例，驱动部13除具有第1弹性支承部14和第2弹性支承部15以外，也可以还具有连接在基体12和可动反射镜11的弹性支承部。

固定反射镜21不仅可如光模块1那样设置在第1光学功能部17的正下方，也可以设置在第2光学功能部18的正下方。通过该结构，能够同样地使用第2光学功能部18与第1光学功能部17，从而能够实现装置的多功能化，同时能够抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化。作为光通过开口部的第1光学功能部17和第2光学功能部18既可为空腔，也可以包括对测量光l0具有透光性的材料。

在图12的(a)所示的结构中，可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各设置有3个。在从z轴方向看时，支架113、114、支架148和支架158均为3者中的2者具有向同一侧弯曲成曲柄状的形状，1者具有向另外2者的相反侧弯曲成曲柄状的形状。

在图12的(a)所示的结构中，第1弹性支承部14具有3个扭杆143。各扭杆143配置在与y轴方向平行的同一轴线。在彼此相对的支架148的前端部与支架113的前端部之间分别架设有扭杆143。在向互为相反侧弯曲成曲柄状的支架148与支架113之间架设有扭杆143。第2弹性支承部15具有3个扭杆153。3个扭杆153配置在与y轴方向平行的同一轴线。在彼此相对的支架158的前端部与支架114的前端部之间分别架设有扭杆153。在向互为相反侧弯曲成曲柄状的支架158与支架114之间架设有扭杆153。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。

在图12的(a)所示的结构中，第1杆141和第3杆151各自经由配置在同一轴线的3个扭杆143、153而与可动反射镜11连接。如此，光学器件10也可以为可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148、和第3杆151的支架158各自设置有3个以上的结构。由此，能够使配置在同一轴线的多个扭杆143、153各自的长度短于图3所示的结构。其结果，能够抑制可动反射镜11向x轴方向的移动。

在图12的(b)所示的结构中，可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各设置有1个。支架113和支架158具有在从z轴方向看时向同一侧弯曲成曲柄状的形状。支架114和支架148具有在从z轴方向看时向同一侧(但与支架113相反侧)弯曲成曲柄状的形状。

在图12的(b)所示的结构中，第1弹性支承部14仅具有1个扭杆143。扭杆143配置在与y轴方向平行的轴线。在彼此相对的支架148的前端部与支架113的前端部之间架设有扭杆143。第2弹性支承部15仅具有1个扭杆153。扭杆153配置在与y轴方向平行的轴线。在彼此相对的支架158的前端部与支架114的前端部之间架设有扭杆153。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。图12的(b)所示的结构相较图3所示的结构更能够实现构造的简化。

在图13的(a)所示的结构中，可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各设置有2个。支架113、114、支架148和支架158均具有一者与另一者互为相反侧弯曲成曲柄状的形状。一对扭杆143配置在与y轴方向平行的同一轴线。在彼此相对的支架148的前端部与支架113的前端部之间分别架设有扭杆143。向互为相反侧弯曲成曲柄状的支架148与支架113之间架设有扭杆143。一对扭杆153配置在与y轴方向平行的同一轴线。在彼此相对的支架158的前端部与支架114的前端部之间分别架设有扭杆153。在向互为相反侧弯曲成曲柄状的支架158与支架114之间架设有扭杆153。

在图13的(b)所示的结构中，致动器部16还具有支承一对梳齿电极161的一对电极支承构件163，和经由各电极支承构件163而将梳齿电极161与可动反射镜11连结的一对连结部164。一对电极支承构件163和一对链接部164由器件层52构成。一对电极支承构件163和一对连结部164在与主面12a平行的y轴方向上在主体部111的两侧各配置有1个。

各电极支承构件163沿可动反射镜11的外缘配置。各电极支承构件163的端部163a向第1光学功能部17侧延伸，各电极支承构件163的端部163b向第2光学功能部18侧延伸。各梳齿电极161从对应的电极支承构件163的侧面在y轴方向上延伸，位于对应的梳齿电极162的各梳齿间。一对连结部164将对应的梳齿电极161连结在可动反射镜11的各侧。即，一对梳齿电极161与基体12和可动反射镜11的外缘隔开间隔，并且沿可动反射镜11的外缘配置。由此，由于一对梳齿电极161与可动反射镜11的外缘隔开间隔，因此能够高度防止在镜面11a的成膜时金属附着在梳齿电极161、162。

在图13的(b)所示的结构中，可动反射镜11具有1个支架113和1个支架114。支架113和支架114均具有在从z轴方向看时向互为相反侧弯曲成曲柄状的形状。第1杆141具有3个支架148。第3杆151具有3个支架158。在从z轴方向看时，3个支架148中2者具有矩形状，1者具有向支架113的相反侧弯曲成曲柄状的形状。在从z轴方向看时，3个支架158中的2者具有矩形状，1者具有向支架114的相反侧弯曲成曲柄状的形状。

在图13的(b)所示的结构中，在弯曲成曲柄状的形状的支架148的前端部与支架113的前端部之间架设有扭杆143。在各矩形状的支架148与对应的电极支承构件163的第1光学功能部17侧的端部163a之间架设有扭杆143。即，3个扭杆143是分别连接在1个弯曲成曲柄状的形状的支架148与2个矩形状的支架148。该3个扭杆143配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在图13的(b)所示的结构中，在弯曲成曲柄状的形状的支架158的前端部与支架114的前端部之间架设有扭杆153。在各矩形状的支架158与对应的电极支承构件163的第2光学功能部18侧的端部163b之间架设有扭杆153。即，3个扭杆153是分别连接在1个弯曲成曲柄状的形状的支架158与2个矩形状的支架158。该3个扭杆153配置在与y轴方向平行的同一轴线。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。

在图14～图18所示的结构中，一对第1杆141各自的可动反射镜11侧的端部141a经由扭杆或弹簧而与可动反射镜11连接。一对第1杆141各自的与可动反射镜11相反侧的端部141b经由扭杆而与基体12连接。一对第3杆151各自的可动反射镜11侧的端部151a经由扭杆或弹簧而与可动反射镜11连接。一对第3杆151各自的与可动反射镜11相反侧的端部151b经由扭杆而与基体12连接。在图14～图18所示的结构中，没有设置一对第2杆142和一对第4杆152。因此，该构成能够实现第1弹性支承部14和第2弹性支承部15的构造的简化。

图14～图18所示的结构中，第1光学功能部17并非通过一对第1杆141和多个连杆146、147等所划定的光通过开口部，而是与一对第1杆141等分开形成在soi基片50的光通过开口部。在该情况下，y轴方向上的一对第1杆141间的最大距离大于y轴方向上的第1光学功能部17的最大宽度(从z轴方向看时的最大宽度)。同样地，第2光学功能部18并非通过一对第3杆151和多个连杆156、157等所划定的光通过开口部，而是与一对第3杆151等分开形成在soi基片50的光通过开口部。在该情况下，y轴方向上的一对第3杆151间的最大距离大于y轴方向上的第2光学功能部18的最大宽度(从z轴方向看时的最大宽度)。

在图14的(a)所示的结构中，可动反射镜11具有2个支架113与2个支架114。支架113和支架114在从z轴方向看时均具有矩形状。第1杆141具有1个支架148。第3杆151具有1个支架158。支架148和支架158的任一者在从z轴方向看时均具有矩形状。

在图14的(a)所示的结构中，在y轴方向上，支架148的前端部位于2个支架113之间。在各支架113的前端部与支架148的前端部之间架设有扭杆143。即，2个扭杆143连接在1个支架148。该2个扭杆143隔着支架148而配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在图14的(a)所示的结构中，在y轴方向上，支架158的前端部位于2个支架114之间。在各支架114的前端部与支架158的前端部之间架设有扭杆153。即，2个扭杆153连接在1个支架158。该2个扭杆153隔着支架158而配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在图14的(b)所示的结构中，可动反射镜11具有1个支架113与1个支架114。支架113和支架114在从z轴方向看时均具有矩形状。第1杆141具有2个支架148。第3杆151具有2个支架158。支架148和支架158在从z轴方向看时均具有矩形状。

在图14的(b)所示的结构中，在y轴方向上，支架113的前端部位于2个支架148之间。在各支架148的前端部与支架113的前端部之间架设有扭杆143。即，2个扭杆143连接在1个支架113。该2个扭杆143隔着支架113而配置在与y轴方向平行的同一轴线。

在图14的(b)所示的结构中，在y轴方向上，支架114的前端部位于2个支架158之间。在各支架158的前端部与支架114的前端部之间架设有扭杆153。即，2个扭杆153连接在1个支架114。该2个扭杆153隔着支架158而配置在与y轴方向平行的同一轴线。在图14的(a)和图14的(b)所示的结构中，能够进一步实现构造的简化。

在图15的(a)和(b)以及图16所示的结构中，可动反射镜11具有1个支架113与1个支架114。支架113和支架114的任一者在从z轴方向看时均具有矩形状。第1杆141具有2个支架148。第3杆151具有2个支架158。支架148和支架158的任一者在从z轴方向看时均具有矩形状。在y轴方向上，支架113的前端部位于2个支架148之间。在y轴方向上，支架114的前端部位于2个支架158之间。

在图15的(a)和(b)以及图16所示的结构中，第1弹性支承部14和第2弹性支承部15各自具有多个弹簧149、159来代替扭杆143、153。多个弹簧149、159与仅具有1个旋转轴的扭杆143、153不同，具有与y轴方向平行的多个旋转轴。在各支架148的前端部与支架113的前端部之间架设有弹簧149。即，2个弹簧149连接在1个支架113。在2个支架158的前端部与支架114的前端部之间架设有弹簧159。即，2个弹簧159连接在1个支架114。在图15的(a)和(b)以及图16所示的结构中，由于弹簧149、159具有与y轴方向平行的多个旋转轴，因此相较于仅具有1个旋转轴的扭杆143、153，减少了各旋转轴的旋转量。此外，能够提高对x轴方向的冲击耐性。

在图15的(a)所示的结构中，2个弹簧149具有同一形状。在从z轴方向看时，弹簧149具有2个z字形状部分夹着1个s字形状部分的形状。z字形状部分具有与y轴方向平行的1个旋转轴，s字形状部分具有与y轴方向平行的3个旋转轴。在1个支架148连接有一个z形状部分的前端，在该一个z字形状部分的另一端连接有s字形状部分的一端。在s字形状部分的另一端连接有另一个z字形状部分的前端，在该另一个z字形状部分的另一端连接有支架113。

在图15的(a)所示的结构中，2个弹簧159具有同一形状。在从z轴方向看时，弹簧159具有2个反z字形状部分夹着1个反s字形状部分(将s字形状左右反转的形状的部分)的结构。反z字形状部分具有与y轴方向平行的1个旋转轴，反s字形状部分具有与y轴方向平行的3个旋转轴。在1个支架158连接有一个反z形状部分的前端，在该一个反z字形状部分的另一端连接有反s字形状部分的一端。在反s字形状部分的另一端连接有另一个反z字形状部分的前端，在该另一个反z字形状部分的另一端连接有支架114。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面不具有彼此对称的构造。

在图15的(b)和图16所示的结构中，在从z轴方向看时，一个弹簧149具有2个z字形状部分夹着1个s字形状部分的形状。z字形状部分具有与y轴方向平行的1个旋转轴，s字形状部分具有与y轴方向平行的3个旋转轴。在从z轴方向看时，另一个弹簧149具有2个反z字形状部分夹着1个反s字形状部分的结构。反z字形状部分具有与y轴方向平行的1个旋转轴，反s字形状部分具有与y轴方向平行的3个旋转轴。一个弹簧149的z字形状部分与另一个弹簧149的反z字形状部分分别连接在支架148。

在图15的(b)和图16所示的结构中，在从z轴方向看时，一个弹簧159具有2个z字形状部分夹着1个s字形状部分的形状。z字形状部分具有与y轴方向平行的1个旋转轴，s字形状部分具有与y轴方向平行的3个旋转轴。在从z轴方向看时，另一个弹簧159具有2个反z字形状部分夹着1个反s字形状部分的结构。反z字形状部分具有与y轴方向平行的1个旋转轴，反s字形状部分具有与y轴方向平行的3个旋转轴。一个弹簧159的z字形状部分与另一个弹簧159的反z字形状部分分别连接在支架158。

在图15的(b)所示的构造中，一个弹簧149的z字形状部分的一端连接在支架148，另一端在较一端更靠可动反射镜11侧连接在s字形状部分。另一个弹簧149的反z字形状部分的一端连接在支架148，另一端在较一端更靠可动反射镜11侧连接在反s字形状部分。一个弹簧159的z字形状部分的一端连接在支架158，另一端在较一端更靠可动反射镜11侧连接在s字形状部分。另一个弹簧159的反z字形状部分的一端连接在支架158，另一端在较一端更靠可动反射镜11侧连接在反s字形状部分。

在图16所示的构造中，一个弹簧149的z字形状部分的一端连接在支架148，另一端在较一端更靠第1光学功能部17侧连接在s字形状部分。另一个弹簧149的反z字形状部分的一端连接在支架148，另一端在较一端更靠第1光学功能部17侧连接在反s字形状部分。一个弹簧159的z字形状部分的一端连接在支架158，另一端在较一端更靠第2光学功能部18侧连接在s字形状部分。另一个弹簧159的反z字形状部分的一端连接在支架158，另一端在较一端更靠第2光学功能部18侧连接在反s字形状部分。

在图17的(a)所示的结构中，支架113、114、支架148、支架158、扭杆143和扭杆153均具有与图12的(a)同样的结构。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各设置有3个。第1弹性支承部14具有3个扭杆143。第2弹性支承部15具有3个扭杆153。如此，光学器件10也可以为可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各自设置有3个以上的结构。由此，可使配置在同一轴线的多个扭杆143、153各自的长度短于图3所示的结构。其结果，能够抑制可动反射镜11向x轴方向的移动。

在图17的(b)所示的结构中，支架113、114、支架148、支架158、扭杆143和扭杆153均具有与图12的(b)同样的结构。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各设置有1个。第1弹性支承部14仅具有1个扭杆143。第2弹性支承部15仅具有1个扭杆153。由此，相较于图3所示的结构，实现了构造的简化。

在图18的(a)所示的结构中，支架113、114、支架148、支架158、扭杆143和扭杆153均具有与图3同样的结构。第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与x轴方向垂直的平面，或相对于通过可动反射镜11的中心且与y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的构造。可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148、和第3杆151的支架158各设置有2个。第1弹性支承部14包括2个扭杆143。第2弹性支承部15包括2个扭杆153。

在图18的(b)所示的结构中，支架113、114、支架148、支架148、扭杆143和扭杆153均具有与图13的(a)同样的结构。可动反射镜11的支架113、114、第1杆141的支架148和第3杆151的支架158各设置有2个。第1弹性支承部14具有2个扭杆143。第2弹性支承部15具有2个扭杆153。

在图19所示的结构中，可动反射镜11具有一对凸缘115、116来代替一对支架113和一对支架114。一对凸缘115、116由器件层52形成。各第1杆141的端部141a在y轴方向上位于凸缘115的两侧。第1光学功能部17至少通过凸缘115、一对第1杆141和连杆146而划定。在各端部141a与凸缘115之间架设有扭杆143。即，各第1杆141的端部141a经由一对扭杆143而与可动反射镜11连接。一对扭杆143配置在与y轴方向平行的同一轴线。

一对第1杆141从可动反射镜11沿着基体12的主面12a向y轴方向上的第1光学功能部17的两侧延伸。在一个第1杆141的端部141b与一个第2杆142的端部142a之间和另一个第1杆141的端部141b与另一个第2杆142的端部142a之间，分别架设有扭杆144。

在图19所示的结构中，连杆146架设在各第1杆141的端部141b间。连杆146沿第1光学功能部17的边缘在y轴方向上延伸。连杆147相对于连杆146在第1光学功能部17的相反侧沿连杆146在y轴方向上延伸。

在图19所示的结构中，各第3杆151的端部151a在y轴方向上位于凸缘116的两侧。第2光学功能部18至少通过凸缘116、一对第3杆151和连杆156而划定。在各端部151a与凸缘116之间架设有扭杆153。即，各第3杆151的端部151a经由一对扭杆153而与可动反射镜11连接。一对扭杆153配置在与y轴方向平行的同一轴线。

一对第3杆151从可动反射镜11沿着基体12的主面12a向y轴方向上的第2光学功能部18的两侧延伸。在一个第3杆151的端部151b与一个第4杆152的端部152a之间和另一个第3杆151的端部151b与另一个第4杆152的端部152a之间分别架设有扭杆154。

在图19所示的结构中，连杆156架设在各第3杆151的端部151b间。连杆156沿第2光学功能部18的边缘而在y轴方向上延伸。连杆157相对于连杆156在第2光学功能部18的相反侧沿连杆156在y轴方向上延伸。

在图20和图21所示的结构中，在可动反射镜11没有设置壁部112，通过在主体部111的主面12a侧的表面形成金属膜而形成镜面11a。此外，在从z轴方向看时，在x轴方向上的可动反射镜11的一侧形成有固定反射镜21(镜面21a)作为第1光学功能部17。该固定反射镜21设置在器件层52的主面12a上。即，在图20和图21所示的结构中，作为第1光学功能部17和第2光学功能部18而发挥功能的光通过开口部没有形成在soi基片50。另外，在图20和图21所示的结构中，支架113、114、支架148、支架158、扭杆143和扭杆153均具有与图18同样的结构。通过图20和图21所示的结构，能够抑制装置整体的大型化，同时实现具有可动反射镜11和固定反射镜21的光学器件10。

在图20和图21所示的结构中，如果可确保使可动反射镜11移动的区域，则也可以不具有位于第1光学功能部17的正下方的固定反射镜21和支承体22。在该结构中，在上述实施方式中被固定反射镜21反射后的光被第1光学功能部17反射。在该情况下，优选在第1光学功能部17的前段部调整分束器组件3内的各光路p1、p2，以对被半反射镜面31所分割的光的光路差进行校正。

在图20和图21所示的结构中，在从z轴方向看时，固定反射镜21不仅作为第1光学功能部17设置在x轴方向上的可动反射镜11的一侧，还作为第2光学功能部18设置在x轴方向上的可动反射镜11的另一侧。通过该结构，能够同样地使用第2光学功能部18与第1光学功能部17，从而能够实现装置的多功能化，同时能够抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化。

致动器部并不限定于静电致动器，例如也可以为压电式致动器、电磁式致动器等。此外，光模块1并不限定于构成ftir，也可以为构成其他光学系统。

上述一个实施方式或变化例中的各结构可任意应用于其他实施方式或变化例中的各结构。

附图标记的说明

10…光学器件，11…可动反射镜，11a…镜面，12…基体，12a…主面，14…第1弹性支承部，15…第2弹性支承部，16…致动器部，17…第1光学功能部，18…第2光学功能部，50…soi基片，111…主体部(可动部)，112…壁部(可动部)，141…第1杆，141a、141b…端部，142…第2杆，142a、142b…端部，143、144、145…扭杆，151…第3杆，161、162…梳齿电极，164…连结部。