技术总结
本发明的目的在提供一种能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。本发明的光学器件(10)包括：具有主面的基体(12)；具有沿着与主面平行的平面的镜面的可动反射镜(11)；将可动反射镜以沿着与主面垂直的第1方向可移动的方式支承的第1弹性支承部(14)和第2弹性支承部(15)；使可动反射镜沿着第1方向移动的致动器部(16)；和配置在与第1方向垂直的第2方向上的可动反射镜的一侧的第1光学功能部(17)。第1弹性支承部(14)具有从可动反射镜(11)沿着主面向与第1方向和第2方向垂直的第3方向上的第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆(141)。第2方向上的一对第1杆(141)各自的长度(A1)大于镜面(11a)的外缘与第1光学功能部(17)的边缘之间的最短距离(D1)。
技术研发人员：杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2020.02.14