技术编号:19965903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种半导体光刻板快速清洗装置,属于半导体领域。背景技术半导体产业是现代电子工业的核心,而半导体产业的基础是硅材料工业,虽然有各种各样新型的半导体材料不断出现,但90%以上的半导体器件和电路,尤其是超大规模集成电路(ulsi)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片和外延片上的,但是该现有技术由于所需清洗的光刻板形状大小不一,难以在处理槽内进行贴合固定,导致其在处理的过程中会有所错位。实用新型内容针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种半导体光刻板快速清洗装置,以解决的现有技术由于所需...
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