一种半导体光刻板快速清洗装置的制作方法

本实用新型是一种半导体光刻板快速清洗装置，属于半导体领域。

背景技术：

半导体产业是现代电子工业的核心，而半导体产业的基础是硅材料工业，虽然有各种各样新型的半导体材料不断出现，但90％以上的半导体器件和电路，尤其是超大规模集成电路(ulsi)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片和外延片上的，但是该现有技术由于所需清洗的光刻板形状大小不一，难以在处理槽内进行贴合固定，导致其在处理的过程中会有所错位。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体光刻板快速清洗装置，以解决的现有技术由于所需清洗的光刻板形状大小不一，难以在处理槽内进行贴合固定，导致其在处理的过程中会有所错位的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体光刻板快速清洗装置，其结构包括主操控箱体、内兜板、顶控层、控制端、显示屏、提示灯、光刻板槽、操作面板、底观察窗。

所述底观察窗嵌入于主操控箱体内部，所述内兜板安装于主操控箱体内部，所述显示屏与顶控层间隙配合，所述提示灯安装于顶控层内部，所述光刻板槽位于内兜板内部，所述光刻板槽贯穿于操作面板顶端。

进一步地，所述操作面板安装于内兜板内部，所述主操控箱体与顶控层为一体化结构，所述提示灯通过顶控层与显示屏相连接，所述控制端位于顶控层下方，所述操作面板安装于主操控箱体内部。

进一步地，所述光刻板槽包括橡胶环、内摩擦球、防护外壳、方圆切换角、内置槽格、内放口，所述内摩擦球嵌入于橡胶环内部，所述内放口位于防护外壳内部。

进一步地，所述方圆切换角包括待压膨体、软层、待膨囊、回压板、弯曲球，所述待压膨体与待膨囊相连接且相互贯通，所述待膨囊嵌入于软层内部，所述弯曲球安装于回压板内部。

进一步地，所述方圆切换角安装于橡胶环与防护外壳之间，所述内置槽格嵌入于防护外壳内部，所述防护外壳与操作面板相连接，所述内摩擦球通过橡胶环与方圆切换角相连接。

进一步地，所述方圆切换角设有四个，所述内摩擦球设有十个。

进一步地，所述内摩擦球为半圆形结构，所述弯曲球为球体结构，所述橡胶环呈圆环形结构。

有益效果

本实用新型一种半导体光刻板快速清洗装置，当设备启动在为物件进行清洗时，其物件将位于橡胶环内部，抵在回压板外表面，使其待压膨体内部的气体跑入待膨囊内，其橡胶环贴于物件表面，让软层在内置槽格内进行挤压移动，能够在物件大小不一时，对其进行边缘贴合固定。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种半导体光刻板快速清洗装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种光刻板槽的俯视内部结构示意图；

图3为本实用新型一种方圆切换角的正视内部结构示意图。

图中：主操控箱体-1、内兜板-2、顶控层-3、控制端-4、显示屏-5、提示灯-6、光刻板槽-7、操作面板-8、底观察窗-9、橡胶环-7aaa、内摩擦球-7bbb、防护外壳-7ccc、方圆切换角-7ddd、内置槽格-7eee、内放口-7fff、待压膨体-711、软层-722、待膨囊-733、回压板-744、弯曲球-755。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1、图2、图3，本实用新型提供一种半导体光刻板快速清洗装置技术方案：其结构包括主操控箱体1、内兜板2、顶控层3、控制端4、显示屏5、提示灯6、光刻板槽7、操作面板8、底观察窗9，所述底观察窗9嵌入于主操控箱体1内部，所述内兜板2安装于主操控箱体1内部，所述显示屏5与顶控层3间隙配合，所述提示灯6安装于顶控层3内部，所述光刻板槽7位于内兜板2内部，所述光刻板槽7贯穿于操作面板8顶端，所述操作面板8安装于内兜板2内部，所述主操控箱体1与顶控层3为一体化结构，所述提示灯6通过顶控层3与显示屏5相连接，所述控制端4位于顶控层3下方，所述操作面板8安装于主操控箱体1内部，所述光刻板槽7包括橡胶环7aaa、内摩擦球7bbb、防护外壳7ccc、方圆切换角7ddd、内置槽格7eee、内放口7fff，所述内摩擦球7bbb嵌入于橡胶环7aaa内部，所述内放口7fff位于防护外壳7ccc内部，所述方圆切换角7ddd包括待压膨体711、软层722、待膨囊733、回压板744、弯曲球755，所述待压膨体711与待膨囊733相连接且相互贯通，所述待膨囊733嵌入于软层722内部，所述弯曲球755安装于回压板744内部，所述方圆切换角7ddd安装于橡胶环7aaa与防护外壳7ccc之间，所述内置槽格7eee嵌入于防护外壳7ccc内部，所述防护外壳7ccc与操作面板8相连接，所述内摩擦球7bbb通过橡胶环7aaa与方圆切换角7ddd相连接，所述方圆切换角7ddd设有四个，所述内摩擦球7bbb设有十个，所述内摩擦球7bbb为半圆形结构，所述弯曲球755为球体结构，所述橡胶环7aaa呈圆环形结构。

本申请所说的橡胶环7aaa密封圈是由一个或几个零件组成的环形罩，固定在轴承的一个套圈或垫圈上并与另一套圈或垫圈接触或形成窄的迷宫间隙，防止润滑油漏出及外物侵入，所述显示屏5通常也被称为监视器，显示器是属于电脑的i/o设备，即输入输出设备。

例如，当设备启动在为物件进行清洗时，其物件将位于橡胶环7aaa内部，抵在回压板744外表面，通过弯曲球755进行调整，其有尖角的物件将对回压板744进行挤压，使其待压膨体711内部的气体跑入待膨囊733内，其橡胶环7aaa贴于物件表面，让软层722在内置槽格7eee内进行挤压移动。

本实用新型解决了由于所需清洗的光刻板形状大小不一，难以在处理槽内进行贴合固定，导致其在处理的过程中会有所错位的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，当设备启动在为物件进行清洗时，其物件将位于橡胶环7aaa内部，抵在回压板744外表面，使其待压膨体711内部的气体跑入待膨囊733内，其橡胶环7aaa贴于物件表面，让软层722在内置槽格7eee内进行挤压移动，能够在物件大小不一时，对其进行边缘贴合固定。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。