一种半导体光刻板快速清洗装置的制作方法

文档序号:19965903发布日期:2020-02-18 14:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体光刻板快速清洗装置,其结构包括主操控箱体(1)、内兜板(2)、顶控层(3)、控制端(4)、显示屏(5)、提示灯(6)、光刻板槽(7)、操作面板(8)、底观察窗(9),其特征在于:

所述底观察窗(9)嵌入于主操控箱体(1)内部,所述内兜板(2)安装于主操控箱体(1)内部,所述显示屏(5)与顶控层(3)间隙配合,所述提示灯(6)安装于顶控层(3)内部,所述光刻板槽(7)位于内兜板(2)内部,所述光刻板槽(7)贯穿于操作面板(8)顶端。

2.根据权利要求1所述的一种半导体光刻板快速清洗装置,其特征在于:所述操作面板(8)安装于内兜板(2)内部,所述主操控箱体(1)与顶控层(3)为一体化结构,所述提示灯(6)通过顶控层(3)与显示屏(5)相连接,所述控制端(4)位于顶控层(3)下方,所述操作面板(8)安装于主操控箱体(1)内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体光刻板快速清洗装置,其特征在于:所述光刻板槽(7)包括橡胶环(7aaa)、内摩擦球(7bbb)、防护外壳(7ccc)、方圆切换角(7ddd)、内置槽格(7eee)、内放口(7fff),所述内摩擦球(7bbb)嵌入于橡胶环(7aaa)内部,所述内放口(7fff)位于防护外壳(7ccc)内部。

4.根据权利要求3所述的一种半导体光刻板快速清洗装置,其特征在于:所述方圆切换角(7ddd)包括待压膨体(711)、软层(722)、待膨囊(733)、回压板(744)、弯曲球(755),所述待压膨体(711)与待膨囊(733)相连接且相互贯通,所述待膨囊(733)嵌入于软层(722)内部,所述弯曲球(755)安装于回压板(744)内部。

5.根据权利要求3所述的一种半导体光刻板快速清洗装置,其特征在于:所述方圆切换角(7ddd)安装于橡胶环(7aaa)与防护外壳(7ccc)之间,所述内置槽格(7eee)嵌入于防护外壳(7ccc)内部,所述防护外壳(7ccc)与操作面板(8)相连接,所述内摩擦球(7bbb)通过橡胶环(7aaa)与方圆切换角(7ddd)相连接。

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