技术编号：20003813
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及洁净控制技术领域，具体涉及一种分体式局部洁净环境制造装置。背景技术随着高功率固体激光器的发展，科研人员意识到激光器内部污染物的存在严重影响激光器性能指标，因此对激光器的运行环境和元器件提出了相当高的洁净要求。为保证高功率固体激光器的整体运行性能，必须关注激光器建造和运行过程中的每一个细节，而元器件的现场安装和调试是激光器建造和运行过程中十分重要的一环。出于经济效益的考虑，在激光器元器件现场安装时，会为安装部位营造局部的洁净环境。现有的洁净环境制造装置均采用整体式结构，各级过滤器及风机均...
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