分体式局部洁净环境制造装置的制作方法

本发明涉及洁净控制技术领域，具体涉及一种分体式局部洁净环境制造装置。

背景技术：

随着高功率固体激光器的发展，科研人员意识到激光器内部污染物的存在严重影响激光器性能指标，因此对激光器的运行环境和元器件提出了相当高的洁净要求。

为保证高功率固体激光器的整体运行性能，必须关注激光器建造和运行过程中的每一个细节，而元器件的现场安装和调试是激光器建造和运行过程中十分重要的一环。出于经济效益的考虑，在激光器元器件现场安装时，会为安装部位营造局部的洁净环境。

现有的洁净环境制造装置均采用整体式结构，各级过滤器及风机均安装在层流罩内部，造成层流罩体积较大。然而，大型高功率固体激光器的工作现场环境复杂，安装空间不仅狭窄，而且不规则，有的作业位置甚至悬于半空，致使无法使用现有的洁净层流罩为指定的工作区域提供局部洁净环境。

因此，亟待设计一种分体式局部洁净环境制造装置，以满足在复杂工作场所营造局部洁净环境的需要。

技术实现要素：

为解决上述的技术问题，本发明提供了一种分体式局部洁净环境制造装置。

其技术方案如下：

一种分体式局部洁净环境制造装置，其要点在于，包括洁净送风模块和洁净空间模块，所述洁净送风模块包括洁净风箱以及设置在该洁净风箱中的风机和过滤组件，所述洁净空间模块包括层流罩以及呈扁平结构的匀流箱，所述匀流箱的一侧箱壁上具有匀流箱进风口，并通过风管与洁净风箱的洁净风箱出风口连通，该匀流箱的另一侧箱壁上均匀分布有用于向匀流箱中送出均匀气流的匀流箱出风小孔，所述匀流箱具有匀流箱进风口和匀流箱出风小孔的两侧箱壁相互正对，且间距小于匀流箱其余任意相互正对的两侧箱壁，所述匀流箱中设置有阻挡在匀流箱进风口与各个匀流箱出风小孔之间的挡风隔板。

采用以上结构，洁净送风模块和洁净空间模块相互独立，构成分体式结构，洁净送风模块可放置在合适位置，远离作业现场，而作业现场的洁净空间模块仅由层流罩和设置在层流罩上的匀流箱两部分组成，使层流罩的重量和体积均得到大幅降低，既适用于在空间较狭窄的作业现场，也可调整其支架用于高空作业；并且，通过设置匀流箱，不仅保证了气流的均匀性，更保证了气流风速不致显著下降，能够更好地保持层流罩内部的洁净环境。

作为优选：所述层流罩和匀流箱均为长方体结构，所述匀流箱设置在层流罩的其中一个侧壁上，且匀流箱具有匀流箱进风口的一侧扁平面与层流罩的该竖直平面齐平，具有匀流箱出风小孔的一侧扁平面位于层流罩中。采用以上结构，简单可靠，易于安装布置和装配。

作为优选：所述挡风隔板为长方形结构，并与匀流箱具有匀流箱进风口和匀流箱出风小孔的两侧箱壁平行，该挡风隔板的四条边与匀流箱的对应箱壁之间均留有间隙。采用以上结构，气流从挡风隔板的四周进入匀流箱的后半段，并形成紊流，由于层流罩内部气压小于匀流箱内部气压，气流能够均匀地从各个匀流箱出风小孔流出，形成均匀的气流，利于在层流罩内部形成相对的水平层流，保持层流罩内部的洁净环境。

作为优选：所述层流罩的顶面为密封结构，该层流罩未设置匀流箱的其余三个侧壁均能够流出气体。采用以上结构，富余洁净空气能够从没有安装匀流箱的其余三个侧壁流出，持续保持层流罩内部的洁净环境。

作为优选：所述层流罩未设置匀流箱的其余三个侧壁均由均匀悬挂的垂帘构成。采用以上结构，简单可靠，成本低廉，易于获取。

作为优选：所述过滤组件包括设置在洁净风箱的洁净风箱进风口与风机进风端之间的一级过滤器以及设置在风机出风端与洁净风箱出风口之间的二级过滤器，所述二级过滤器的净化能力强于一级过滤器的净化能力。采用以上结构，能够从洁净风箱出风口送出洁净空气。

作为优选：所述洁净风箱的底部设置有万向轮。采用以上结构，便于移动洁净送风模块，提高洁净送风模块的灵活性。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

采用以上技术方案的分体式局部洁净环境制造装置，结构新颖，设计巧妙，易于实现，采用分体式结构，洁净送风模块可放置在合适位置，远离作业现场，而作业现场的层流罩的重量和体积均得到大幅降低，既适用于在空间较狭窄的作业现场，也可调整其支架用于高空作业，设备的灵活性得到大幅度提升；并且，通过设置匀流箱，不仅保证了气流的均匀性，更保证了气流风速不致显著下降，能够更好地保持层流罩内部的洁净环境。

附图说明

图1为本发明的示意图；

图2为匀流箱的结构示意图；

图3为图2的右视图。

具体实施方式

以下结合实施例和附图对本发明作进一步说明。

如图1所示，一种分体式局部洁净环境制造装置，其主要包括洁净送风模块和洁净空间模块，洁净送风模块和洁净空间模块之间通过风管6连通。洁净送风模块和洁净空间模块相互独立；其中，洁净送风模块可放置在合适位置，远离作业现场，而位于作业现场的洁净空间模块的重量和体积均得到大幅降低，既适用于在空间较狭窄的作业现场，也可调整其支架用于高空作业；风管6的长度根据实际情况进行选择即可。

请参见图1，所述洁净送风模块包括洁净风箱1以及设置在该洁净风箱1中的风机3和过滤组件。其中，洁净风箱1为长方体箱状结构，洁净风箱1的底部设置有万向轮5，以便于移动换位。并且，洁净风箱1相对的两侧壁上分别具有洁净风箱进风口1a和洁净风箱出风口1b。

所述过滤组件包括设置在洁净风箱进风口1a与风机3进风端之间的一级过滤器2以及设置在风机3出风端与洁净风箱出风口1b之间的二级过滤器4，所述二级过滤器4的净化能力强于一级过滤器2的净化能力。具体地说，本实施例中，一级过滤器2采用中效过滤器，二级过滤器4采用高效过滤器，中效过滤器靠近洁净风箱进风口1a，高效过滤器靠近洁净风箱出风口1b，风机3的吸风口朝向中效过滤器，风机3的排风口朝向高效过滤器。

并且，过滤组件能够根据具体使用环境和用途的不同，进行适当的调整。例如更换或添加过滤器，包括初、中、高效过滤器，活性炭、分子筛等有机分子过滤器，细菌、病毒过滤器，以及其他类型过滤器。

请参见图1-图3，所述洁净空间模块包括层流罩7以及设置在层流罩7中的匀流箱8。其中，所述层流罩7为长方体棚体结构，层流罩7的顶面为密封结构，匀流箱8安装在层流罩7的一侧面上，并通过匀流箱8向层流罩7内进气，层流罩7的其余三侧面均由均匀悬挂的垂帘9构成，以能够流出气体。需要指出的是，本实施例中，层流罩7的顶部优选采用塑料薄膜密封，垂帘9优选采用防静电塑料材质，垂帘9的长度至少大于匀流箱8的高度。

所述匀流箱8为扁平的长方体结构，其一侧箱壁上具有匀流箱进风口8a，并通过风管6与洁净风箱1的洁净风箱出风口1b连通，该匀流箱8的另一侧箱壁上均匀分布有用于向匀流箱8中送出均匀气流的匀流箱出风小孔8b，具体地说，匀流箱8具有匀流箱进风口8a和匀流箱出风小孔8b的两侧箱壁相互正对，且两侧箱壁的间距小于匀流箱8其余任意两侧相互正对的箱壁。所述匀流箱8中设置有挡风隔板8c，该挡风隔板8c与匀流箱8具有匀流箱进风口8a和匀流箱出风小孔8b的两侧箱壁均平行。并且，挡风隔板8c为长方形结构，挡风隔板8c阻挡在匀流箱进风口8a和各个匀流箱出风小孔8b之间，该挡风隔板8c的四条边与匀流箱8的对应箱壁之间均留有间隙。

还需要指出的是，本实施例中，所述匀流箱8设置在层流罩7的其中一个侧壁上，且匀流箱8具有匀流箱进风口8a的一侧箱壁与层流罩7的该侧侧壁齐平，具有匀流箱出风小孔8b的一侧箱壁位于层流罩7中。

工作时，风机3正常运转，空气经洁净风箱进风口1a进入洁净风箱1中，再依次通过一级过滤器2、风机3和二级过滤器4，得到洁净空气，并从洁净风箱出风口1b流向风管6，然后经风管6送入到匀流箱8中。如图2和图3所示，气流沿水平方向进入匀流箱8后受到挡风隔板8c阻挡，气流沿挡风隔板8c四周进入到匀流箱8后半段，气流受到匀流箱8箱壁的影响，气流在匀流箱8的后半段形成紊流，由于层流罩7中的气压小于匀流箱8中的气压，气流通过各个匀流箱出风小孔8b均匀地水平流出，从而形成均匀气流，均匀气流在层流罩7内部形成相对的水平层流(富余洁净空气从对侧垂帘的缝隙流出)，从而保证层流罩7内部为洁净环境。

还需要指出的是，也可将匀流箱8放置在层流罩7的顶部，从而形成向下的垂直层流。

最后需要说明的是，上述描述仅仅为本发明的优选实施例，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不违背本发明宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本发明的保护范围之内。