分体式局部洁净环境制造装置的制作方法

文档序号:20003813发布日期:2020-02-22 03:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:包括洁净送风模块和洁净空间模块,所述洁净送风模块包括洁净风箱(1)以及设置在该洁净风箱(1)中的风机(3)和过滤组件,所述洁净空间模块包括层流罩(7)以及呈扁平结构的匀流箱(8),所述匀流箱(8)的一侧箱壁上具有匀流箱进风口(8a),并通过风管(6)与洁净风箱(1)的洁净风箱出风口(1b)连通,该匀流箱(8)的另一侧箱壁上均匀分布有用于向匀流箱(8)中送出均匀气流的匀流箱出风小孔(8b),所述匀流箱(8)具有匀流箱进风口(8a)和匀流箱出风小孔(8b)的两侧箱壁相互正对,且间距小于匀流箱(8)其余任意相互正对的两侧箱壁,所述匀流箱(8)中设置有阻挡在匀流箱进风口(8a)与各个匀流箱出风小孔(8b)之间的挡风隔板(8c)。

2.根据权利要求1所述的分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:所述层流罩(7)和匀流箱(8)均为长方体结构,所述匀流箱(8)设置在层流罩(7)的其中一个侧壁上,且匀流箱(8)具有匀流箱进风口(8a)的一侧扁平面与层流罩(7)的该竖直平面齐平,具有匀流箱出风小孔(8b)的一侧扁平面位于层流罩(7)中。

3.根据权利要求2所述的分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:所述挡风隔板(8c)为长方形结构,并与匀流箱(8)具有匀流箱进风口(8a)和匀流箱出风小孔(8b)的两侧箱壁平行,该挡风隔板(8c)的四条边与匀流箱(8)的对应箱壁之间均留有间隙。

4.根据权利要求2所述的分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:所述层流罩(7)的顶面为密封结构,该层流罩(7)未设置匀流箱(8)的其余三个侧壁均能够流出气体。

5.根据权利要求4所述的分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:所述层流罩(7)未设置匀流箱(8)的其余三个侧壁均由均匀悬挂的垂帘(9)构成。

6.根据权利要求1所述的分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:所述过滤组件包括设置在洁净风箱(1)的洁净风箱进风口(1a)与风机(3)进风端之间的一级过滤器(2)以及设置在风机(3)出风端与洁净风箱出风口(1b)之间的二级过滤器(4),所述二级过滤器(4)的净化能力强于一级过滤器(2)的净化能力。

7.根据权利要求1所述的分体式局部洁净环境制造装置,其特征在于:所述洁净风箱(1)的底部设置有万向轮(5)。

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