技术总结
本发明公开了一种分体式局部洁净环境制造装置，包括洁净送风模块和洁净空间模块，洁净送风模块包括洁净风箱、风机和过滤组件，洁净空间模块包括层流罩以及呈扁平结构的匀流箱，匀流箱通过风管与洁净风箱连通，匀流箱上均匀分布有匀流箱出风小孔，匀流箱中设置有挡风隔板。采用以上技术方案，洁净送风模块可放置在合适位置，远离作业现场，而位于作业现场的层流罩的重量和体积均得到大幅降低，既适用于在空间较狭窄的作业现场，也可调整其支架用于高空作业，设备的灵活性得到大幅度提升；并且，通过设置匀流箱，不仅保证了气流的均匀性，更保证了气流风速不致显著下降，能够更好地保持层流罩内部的洁净环境。
技术研发人员：程晓锋;张惠鸽;朱成银;叶琳;秦朗;游丹;杨存榜;张涛;张可;周国瑞;王洪彬
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日：2019.12.04
技术公布日：2020.02.21