技术编号:2008530
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含有特定的有机酸钛化合物,钛酸类化合物微粒以及有机溶剂 的涂布液和,利用该涂布液的钛酸类陶瓷膜的制造方法。背景技术钛酸盐陶瓷膜,正在被研究应用至各种用途的。特别是用于应用介电特性 的高介电常数电容器、铁电电容器、栅绝缘体、阻挡膜、电容器、压电元件等 电子构件。所述膜的制造方法可例举MOD法、溶胶-凝胶法、涂布陶瓷微粒的分散液 之后烧成的方法、CVD法,ALD法等。对于加工精度相对低的薄膜,制造成 本低,且易于形成膜的溶胶-凝胶法、MOD法、涂布陶...
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