技术编号:20196254
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于发动机技术领域,尤其涉及一种微压差传感器的过载保护装置及微压差检测系统。背景技术随着硅微机械加工和mems技术的发展,硅基压力传感器被广泛应用于各种领域,包括医学仪器领域、汽车电子领域、以及航空航天等领域。其中微压差传感器在发动机试验台、风洞、泄漏检测系统等领域应用广泛。由于微压差传感器具有测量精度高,响应速度快等特点,在航空发动机试验领域,微压差传感器经常用于测量发动机高空模拟试验中高空小表速条件下的空气流量。但由于微压差传感器量程范围小,许多测量场合操作引起的失误,或压力管路内出现...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。