微压差传感器的过载保护装置及微压差检测系统的制作方法

本发明属于发动机技术领域，尤其涉及一种微压差传感器的过载保护装置及微压差检测系统。

背景技术：

随着硅微机械加工和mems技术的发展，硅基压力传感器被广泛应用于各种领域，包括医学仪器领域、汽车电子领域、以及航空航天等领域。其中微压差传感器在发动机试验台、风洞、泄漏检测系统等领域应用广泛。由于微压差传感器具有测量精度高，响应速度快等特点，在航空发动机试验领域，微压差传感器经常用于测量发动机高空模拟试验中高空小表速条件下的空气流量。

但由于微压差传感器量程范围小，许多测量场合操作引起的失误，或压力管路内出现非正常性的压力冲击和波动，易产生远超过传感器测试量程的压力信号，使得传感器硅膜片处于压力过载状态下。微压差传感器的过载能力是一项重要指标，微压差传感器在超过一定比例的额定工作压力后，不但影响其测量精度，甚至会导致传感器的彻底损坏。尽管在敏感元件设计过程中，会尽可能的提高压力敏感元件的抗过载能力，但其所能承受的过载压力范围仍然是有限的。

可见，现有的微压差传感器的试验装置存在缺乏过载保护装置导致微压差传感器的测量精度较低甚至损坏微压差传感器的技术问题。

技术实现要素：

本发明实施例提供了一种螺纹联接结构和环下供油装置，至少解决上述部分技术问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种微压差传感器的过载保护装置，其特征在于，包括：

u形管；

第一液体收集腔体和第二液体收集腔，分别设置于所述u形管的两端；

第一引压管，所述第一引压管的一端为进气端，所述第一引压管的另一端与所述第一液体收集腔连通，所述第一引压管的另一端还连通有用于连通微压差传感器的第一检测管；

第二引压管，所述第二引压管的一端为进气端，所述第二引压管的另一端与所述第二液体收集腔连通，所述第二引压管的另一端还连通有用于连通所述微压差传感器的第二检测管。

可选的，还包括液体缓冲腔体，所述液体缓冲腔与所述第一检测管、所述微压差传感器和所述液体收集腔均连通。

可选的，还包括挡板，所述挡板设置于液体收集腔体内液体管道的上方。

可选的，所述u型管的端部从所述液体收集腔的底部伸入所述液体收集腔内一定高度；

所述挡板为开口向下的v型挡板，所述挡板的开口朝向所述u型管的端部。

第二方面，本发明实施例提供了一种微压差检测系统，所述微压差检测系统包括微压差传感器，以及如第一方面中任一项所述的过载保护装置；

所述微压差传感器包括传感器本体以及对称设置于所述传感器本体两侧的第一检测管和第二检测管；

所述第一检测管的一端连通所述第一引压管，所述第二检测管的一端连通所述第二引压管。

本实施例提供的微压差传感器的过载保护装置及其所应用的微压差检测系统，其中微压差传感器的过载保护装置包括：u形管；第一液体收集腔体和第二液体收集腔，分别设置于所述u形管的两端；第一引压管，所述第一引压管的一端为进气端，所述第一引压管的另一端与所述第一液体收集腔连通，所述第一引压管的另一端还连通有用于连通微压差传感器的第一检测管；第二引压管，所述第二引压管的一端为进气端，所述第二引压管的另一端与所述第二液体收集腔连通，所述第二引压管的另一端还连通有用于连通所述微压差传感器的第二检测管。本实施例中，为解决微压差传感器在实际使用过程中的过载保护问题，通过在微压差传感器两端气体压差超过限制值的情况下，将微压差传感器的两端气体导通，使得微压差传感器敏感膜片两端处于受力平衡状态，避免传感器膜片产生大变形而损坏的情况，从而达到保护微压差传感器的功效。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种微压差传感器的过载保护装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的微压差检测系统的结构示意图。

附图标记汇总：微压差传感器1；第一引压管2；第二引压管3；第一液体收集腔4；第二液体收集腔5；u型管6；液体7；第一缓冲腔8；第二缓冲腔9；挡板10。

具体实施方式

下面通过具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。

参见图1，为本发明实施例提供的一种微压差传感器的过载保护装置，所述微压差传感器的过载保护装置(以下简称过载保护装置)与微压差传感器配合，组合成图2所示的微压差检测系统。如图1和图2所示，所述装置主要包括：

u形管；

第一液体收集腔4体和第二液体收集腔5，分别设置于所述u形管的两端；

第一引压管2，所述第一引压管2的一端为进气端，所述第一引压管2的另一端与所述第一液体收集腔4连通，所述第一引压管2的另一端还连通有用于连通微压差传感器的第一检测管；

第二引压管3，所述第二引压管3的一端为进气端，所述第二引压管3的另一端与所述第二液体收集腔5连通，所述第二引压管3的另一端还连通有用于连通所述微压差传感器的第二检测管。

可选的，还包括液体缓冲腔体，所述液体缓冲腔与所述第一检测管、所述微压差传感器和所述液体收集腔均连通。

如图1和图2所示，所述液体缓冲腔包括对称设置的第一缓冲腔8和第二缓冲腔9，均与对应位置的微压差传感器检测口以及液体收集腔连通。

可选的，还包括挡板10，所述挡板10设置于液体收集腔体内液体管道的上方。

可选的，所述u型管6的端部从所述液体收集腔的底部伸入所述液体收集腔内一定高度；

所述挡板10为开口向下的v型挡板10，所述挡板10的开口朝向所述u型管6的端部。

此外，如图2所示，本发明实施例还提供了一种微压差检测系统，所述微压差检测系统包括微压差传感器，以及微压差传感器的过载保护装置；其中，所述微压差传感器的过载保护装置为上述图1所示的实施例提供的过载保护装置。

所述微压差传感器包括传感器本体以及对称设置于所述传感器本体两侧的第一检测管和第二检测管；

所述第一检测管的一端连通所述第一引压管2，所述第二检测管的一端连通所述第二引压管。

具体实施时，如图1和图2所示，所述检测系统包括：微压差传感器1、第一引压管2、第二引压管3、第一液体收集腔4、第二液体收集腔5、u型管6、液体7、第一缓冲腔8和缓冲9。

第一引压管2一端与被测气体连通，另一端与第一液体收集腔4和第一缓冲腔8连通；第一缓冲腔8除了与第一引压管2连通外，还与第一液体收集腔4和微压差传感器1连通，将被测气体引入到微压差传感器1中的一个测压端。

同理，第二引压管3一端与被测气体连通，另一端与第二液体收集腔5和第二缓冲腔9连通；第二缓冲腔9除了与第二引压管3连通外，还与第二液体收集腔5和微压差传感器1连通，将被测气体引入到微压差传感器1中的另一个测压端。

第一液体收集腔4和第二液体收集腔5通过u型管6连通，u型管6充有一定量的液体7。

当第一引压管2与第二引压管3之间的压差处于正常范围内时，u型管6中的液体7会在u型管6形成一定的高度差，但还不会被挤压到液体收集腔中，微压差传感器正常工作，可以准确测出压差值。

当第一引压管2与第二引压管3之间的压差超出某个限定范围时，u型管6中的液体7会被全部挤压到液体收集腔中，使得第一引压管2和第二引压管3之间的气体导通，从而使微压差传感器两端压力平衡，保护微压差传感器不被损坏。

上述本实施例提供的微压差检测系统，通过在微压差传感器两端引压管之间设置了一个冲有液体的u型管，当压差处于正常范围时，u型管中的液体就起到隔离两端气压的作用，使得微压差传感器可以正常测量两端的压差信号。当压差超出某限制范围时，u型管中的液体会被全部挤出，使得微压差传感器两端引压管导通，避免传感器膜片产生大变形而损坏的情况，从而达到保护微压差传感器的效果。

以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的而技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应当以权利要求的保护范围为准。