技术编号：20614501
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及曝光技术领域，特别是涉及曝光系统。背景技术目前，曝光系统通过将曝光平台和光罩放置平台进行对位，利用紫外线照射光罩放置平台上的光罩，能够使得光罩上的图案转移至曝光平台上放置的玻璃样品上。然而，在执行曝光工序时，往往在曝光后玻璃样品上出现的图案偏移，导致曝光工序的成品率低。发明内容基于此，有必要针对曝光后玻璃样品上出现的图案偏移，导致曝光工序的成品率低问题，提供一种曝光系统。一种曝光系统，包括：曝光平台，用于放置执行曝光工序的玻璃样品；光罩放置平台，设置于所述曝光平台的顶部，用于放置携带图...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。