技术编号：20848196
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶圆的储存技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆载运装置。背景技术目前市场上的载运装置，常为垂直装晶圆片载运装置，放置在底盖的支撑台上，支撑台一般为多个环状突起，支撑台与晶圆片接触面积很大，上盖中有若干限位凸台顶部为水平面，载运装置关闭时直接抵靠在晶圆片上，晶圆片很容易在储存盒里发生跳动和摩擦，造成晶圆片磨损，严重的则使晶圆片破裂，给使用者造成很大的苦恼。另外，现有的储存盒大多是不能叠合的，即顶盖的上表面和底盖的下表面是不能叠合的，还有载运装置限位凸台不能有效固定晶圆片活动空间。有鉴于...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。