一种晶圆载运装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆的储存技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆载运装置。

背景技术：

目前市场上的载运装置，常为垂直装晶圆片载运装置，放置在底盖的支撑台上，支撑台一般为多个环状突起，支撑台与晶圆片接触面积很大，上盖中有若干限位凸台顶部为水平面，载运装置关闭时直接抵靠在晶圆片上，晶圆片很容易在储存盒里发生跳动和摩擦，造成晶圆片磨损，严重的则使晶圆片破裂，给使用者造成很大的苦恼。

另外，现有的储存盒大多是不能叠合的，即顶盖的上表面和底盖的下表面是不能叠合的，还有载运装置限位凸台不能有效固定晶圆片活动空间。

有鉴于此，急需对现有的晶圆载运装置的结构进行改进，以固定晶圆,减小晶圆与载运装置之间的接触面积，加强顶盖的强度，有效的保护晶圆片。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆载运装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆载运装置，包括：

底盖，其上设有容置所述晶圆的容置槽；所述容置槽的内侧设有沿所述容置槽的径向凸起以支撑所述晶圆的环形支撑台；

顶盖，所述顶盖设置在所述底盖的一侧且与所述底盖可活动连接，以盖合所述底盖，

限位结构，其包括间隔设置在所述顶盖中的若干限位凸台、以及设置在所述容置槽内侧壁且沿所述环形支撑台间隔设置以与所述限位凸台配合限位的若干限位槽；在所述晶圆置于所述环形支撑台且所述底盖和所述顶盖盖合时，所述限位凸台的内壁面与所述晶圆的外边缘抵接以对所述晶圆进行限位。

优选地，所述底盖包括第一本体以及设置在所述第一本体上的卡接凸台；所述容置槽设置在所述卡接凸台内侧；

所述顶盖包括第二本体、以及设置在所述第二本体内侧供所述卡接凸台卡入的卡接槽；所述若干限位凸台设置在所述卡接槽中。

优选地，所述环形支撑台的内壁面呈斜坡状；

所述限位凸台的尺寸朝所述卡接槽的开口方向逐渐减小，所述限位凸台的内壁面为斜面。

优选地，所述卡接槽的内侧设有圆形凹槽；所述圆形凹槽的边沿向外延伸与所述卡接槽的内侧壁连接形成支撑台；

所述若干限位凸台间隔设置在所述支撑台上，且从所述支撑台的内侧壁朝所述卡接槽的开口方向延伸。

优选地，所述限位槽的尺寸大于所述限位凸台的尺寸。

优选地，所述卡接槽的尺寸大于所述卡接凸台的尺寸。

优选地，还包括设置在所述顶盖和所述底盖之间的卡接结构；

所述卡接结构包括间隔设置在所述卡接凸台外侧壁的若干卡槽、以及设置在所述卡接槽内侧壁与所述若干卡槽对应设置的卡台。

优选地，所述第一本体位于所述卡接凸台的外周设有第一外凸缘；

所述第二本体位于所述卡接槽的开口端面设有第二外凸缘；

所述顶盖和所述底盖盖合时，所述第一外凸缘与所述第二外凸缘相互贴合。

优选地，所述第一外凸缘和所述第二外凸缘的形状尺寸相适配。

优选地，所述第二本体的顶面设有朝所述顶面边缘凸出的叠合台；

所述第一本体的底面设有与另一所述晶圆载运装置的所述第二本体的叠合台叠合的环形叠合槽。

实施本实用新型的晶圆载运装置，具有以下有益效果：该晶圆载运装置通过设置在顶盖中设置若干限位凸台，在底盖的容置槽中设置与该限位凸台配合的若干限位槽，当该晶圆置于该底盖的支撑台上且该底盖和该顶盖盖合时，该限位凸台卡接于该限位槽中，且其内壁面可与该晶圆的外边缘抵接以对该晶圆进行限位，从而可支撑固定该晶圆，最大程度的保护晶圆，避免晶圆在存储或运载过程中损坏。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例晶圆载运装置的结构示意图；

图2是图1所示晶圆载运装置的俯视图；

图3是图1所示晶圆载运装置顶盖和该底盖盖合的结构示意图；

图4是多个晶圆载运装置叠合时的状态示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1及图3示出了本实用新型晶圆载运装置的一个优选实施例。该晶圆载运装置能够支撑固定该晶圆，最大程度的保护晶圆，避免晶圆在存储或运载过程中损坏，其具有结构简单、结构紧凑程度高、使用便捷的优点。

如图1至图3所示，该晶圆载运装置可包括底盖10、顶盖20以及限位结构。该底盖10可供晶圆放置。该顶盖20设置在该底盖10的一侧，且其可与该底盖10可活动连接，其可用于盖合该底盖10.该限位结构可设置在该底盖10和该顶盖20中，其可用于对晶圆进行限位，以固定晶圆，从而可实现最大程度的保护晶圆，避免晶圆在储存或者载运过程中损坏。

进一步地，在一些实施例中，该底盖10可包括第一本体11以及卡接凸台12；该第一本体11可供该卡接凸台12设置。该卡接凸台12可设置在该第一本体11的一侧，其可由该第一本体11的一侧壁朝另一侧壁内凹形成。

该第一本体11可为长方体状，其横截面可为正方形。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一本体11可不限于长方体状，且其横截面可不限于正方形。该第一本体11位于该卡接凸台12的外周可设置第一外凸缘111；该第一外凸缘111可沿该卡接凸台12的周向设置。

该卡接凸台12可与该第一本体11一体成型，具体地，在一些实施例中，该卡接凸台12可与该第一本体11通过注塑一体成型。该卡接凸台12的横截面可呈类正方形。该底盖10上可设置容置槽121；具体地，该容置槽121可设置在该卡接凸台12上，其可由该卡接凸台12远离该第一外凸缘一端的端面朝向内凹陷形成。该容置槽12可用于容置该晶圆。在一些实施例中，该容置槽121的内侧可设置环形支撑台122；该环形支撑台122可朝该容置槽121的径向凸起设置，其可用于供该晶圆放置，以支撑该晶圆。该环形支撑台122可与该卡接凸台12一体成型，具体地，在一些实施例中，其可与该卡接凸台12通过注塑一体成型。进一步地，在一些实施例中，该环形支撑台122的内壁面可呈斜坡状，以便于与该限位结构配合，减少占用空间，减小了接触面积，提高了结构紧凑程度，提高使用的便捷性。

进一步地，在一些实施例中，该顶盖20可与该底盖10铰接，以便于盖合该底盖10，该顶盖20可包括第二本体21以及卡接槽22；该第二本体21用于供该卡接槽22设置。该卡接槽22可设置在该第二本体21上，其可由该第二本体21的一侧壁内凹形成，其可用于与该底盖10的卡接凸台12卡接，供该卡接凸台12卡入，以将该底盖10和该顶盖20连接。

进一步地，在一些实施例中，该第二本体21可为长方体状，其形状以及尺寸可与该底盖10的形状以及尺寸相适配，其横截面可呈正方形。可以理解地，在其他一些实施例中，该第二本体21可不限于呈长方体状。该第二本体21位于该卡接槽22的开口端面设有第二外凸缘211；该第二外凸缘211可与该第一外凸缘111相互配合。该第二外凸缘211的一侧边可与该第一外凸缘111的一侧边铰接，从而便于该顶盖20盖合该底盖10；当该顶盖20和该底盖10盖合时，该第一外凸缘111可与该第二外凸缘211相互贴合。该第一外凸缘111和该第二外凸缘211的形状以及尺寸相适配，从而可提高整体的美观效果。

进一步地，在一些实施例中，该卡接槽22的尺寸大于该卡接凸台12的尺寸，具体地，该卡接槽22的尺寸略大于该卡接凸台12的尺寸，其可便于该卡接凸台12卡入。通过该卡接槽22与该卡接凸台12卡接，其可避免该底盖10与该顶盖20发生错动。该卡接槽22的内侧可设置圆形凹槽221；该圆形凹槽221的边沿向外延伸与该卡接槽22的内侧壁连接形成支撑台222。

进一步地，在一些实施例中，该限位结构可包括若干限位凸台23以及若干限位槽123；该若干限位槽123可设置在该底盖10上，该若干限位凸台23可设置在该顶盖20上。该若干限位凸台23可与该若干限位槽123一一对应设置，且其可相互配合限位。当该晶圆置于该环形支撑台122且该底盖10和该顶盖20盖合时，该限位凸台23的内壁面可与该晶圆的外边缘抵接，从而可对该晶圆进行限位，避免晶圆晃动。

在一些实施例中，该若干限位槽123可设置在该容置槽121内侧壁，且其可沿该环形支撑台122间隔设置，其可由该容置槽121的内侧壁沿径向方向内凹形成。该容置槽121可为四个，其可沿该容置槽121的周向间隔设置。可以理解地，在其他一些实施例中，其数量可不限于四个。该容置槽121的横截面可呈u形。可以理解地，在其他一些实施例中，其横截面可不限于u形。在一些实施例中，该限位槽123的尺寸可大于该限位凸台23的尺寸，从而可便于该限位凸台23伸入。

在一些实施例中，该限位凸台23可设置在该卡接槽22中，其可间隔设置在该支撑台222上，且其可从该支撑台222的内侧壁朝该卡接槽22的开口方向延伸设置。该限位凸台23可与该第一本体21一体成型，具体地，在一些实施例中，该限位凸台23可与该第一本体21通过注塑一体成型。进一步地，在一些实施例中，该限位凸台23的尺寸可朝该卡接槽22的开口方向逐渐减小设置，且该限位凸台23的内壁面可为斜面，以方便晶圆进入，减小晶圆与该顶盖20的接触面积，以及能够放置该晶圆晃动。当该晶圆置于该环形支撑台122上且该底盖10和该顶盖20盖合时，该斜面可与该晶圆的外边缘抵接，以对该晶圆进行限位，并且可减少占用空间，减小接触面积，提高结构紧凑程度，提高使用的便捷性。该限位凸台23的整体尺寸小于该限位槽123的尺寸，其能够有效固定该晶圆的活动空间，方便该限位凸台23装入该限位槽123中，又不至于把晶圆压坏。

进一步地，在一些实施例中，该顶盖20和该底盖10之间还可设置卡接结构。该卡接结构可以使得该载运装置提高了结构紧凑程度，并且增强该顶盖20和该底盖10之间配合的稳定性。在一些实施例中，该卡接结构可包括若干卡槽124和卡台212；该若干卡槽124可间隔设置在该卡接凸台12外侧壁，其可为多个，其可沿该卡接凸台12的周向设置。其可由该卡接凸台12的外侧壁内凹形成。该卡台212设置在该卡接槽22内侧壁且与该若干卡槽124对应设置，其与该卡槽124一一对应，其可卡入该卡槽124中。当该底盖10和该顶盖20盖合时，该卡台212可卡入该卡槽124中。

如图3所示，在一些实施例中，该第一本体11的底面还可设置环形叠合槽13；该环形叠合槽13可由该第一本体11的底面内凹形成，该第二本体21的顶面还可设置叠合台24，该叠合台24可朝该第二本体21的顶面边缘凸出设置，当多个晶圆载运装置叠罗在一起时，位于下部的晶圆载运装置的叠合台可卡入位于上部的另一晶圆载运装置的环形叠合槽13中，以与该另一晶圆载运装置的环形叠合槽配合，从而便于叠罗在一起的两个晶圆载运装置连接，提高连接稳定性。

本实用新型晶圆载运装置的使用方法，使用时，可先将晶圆放置于该底盖10的容置槽121中的支撑台122上，晶圆的与该支撑台贴合，然后将顶盖20盖合该底盖10，该卡接凸台12置于该卡接槽22中，使得该限位凸台23置于该限位槽123中，该晶圆的外边缘与该限位凸块23的斜坡相抵靠，该卡台212卡入该卡接槽124中，从而使得该晶圆被稳稳的固定在顶盖20和底盖10之间。打开是，一只手放在该顶盖20前面边沿的第二外凸缘211上，另一种手放置于该底盖20前面的第一外凸缘111上，然后掰开即可。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。