技术编号：20860833
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石英环加工设备技术领域，具体为一种分体式石英环涂蜡粘接装置。背景技术石英环类产品作为重要的半导体辅材，大多应用于电子光刻机和刻蚀机之中，芯片的发展离不开石英产品，由于产品应用的特殊性，因此对石英制品的要求也十分的严格，首先是产品不能有杂质污染，产品的尺寸要求也很高，故而在机加工前的准备工作尤其重要。石英环类产品主要是放置在石英板材之上进行编程加工，需要对石英环类产品进行涂蜡镀膜工作，传统的涂蜡连接方式主要是沿石英环产品原材料的内外径在石英板材上用铅笔画线，然后在线框内用固体石蜡涂抹...
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