一种分体式石英环涂蜡粘接装置的制作方法

本实用新型涉及石英环加工设备技术领域，具体为一种分体式石英环涂蜡粘接装置。

背景技术：

石英环类产品作为重要的半导体辅材，大多应用于电子光刻机和刻蚀机之中，芯片的发展离不开石英产品，由于产品应用的特殊性，因此对石英制品的要求也十分的严格，首先是产品不能有杂质污染，产品的尺寸要求也很高，故而在机加工前的准备工作尤其重要。

石英环类产品主要是放置在石英板材之上进行编程加工，需要对石英环类产品进行涂蜡镀膜工作，传统的涂蜡连接方式主要是沿石英环产品原材料的内外径在石英板材上用铅笔画线，然后在线框内用固体石蜡涂抹，此种方法由于使用铅笔会对石英产品造成污染，因而产品在加工后期报废率极高，十分影响制品的良率，故而提出一种分体式石英环涂蜡粘接装置以解决上述问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种分体式石英环涂蜡粘接装置，具备报废率低等优点，解决了传统的涂蜡连接方式由于使用铅笔会对石英产品造成污染，因而产品在加工后期报废率极高，十分影响制品的良率的问题。

(二)技术方案

为实现上述报废率低目的，本实用新型提供如下技术方案：一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座，所述底座内部开设有收液腔，所述底座的顶部固定安装有固定板，固定板的内部开设有外圈导液槽，所述固定板的内部开设有位于外圈导液槽内侧且底部与外圈导液槽相连通的内圈导液槽，所述外圈导液槽的底部固定安装有开设在固定板上的流通孔，流通孔的底部与收液腔的顶部连通，所述固定板顶部四角的内侧均活动安装有一端贯穿并延伸至固定板外部的导柱，导柱的顶部固定安装有与固定板活动连接的石英环外套盘，所述导柱相对的一侧均啮合有位于固定板内腔的导齿，导齿远离导柱的一侧啮合有一端依次贯穿固定板和石英环外套盘并延伸至石英环外套盘内部的固定杆，固定杆的外侧滑动连接有与固定板内腔固定连接的固定环，所述底座顶部的左右两侧均固定安装有连接杆，连接杆外侧的顶部活动安装有一端与石英环外套盘卡接的固定块。

所述固定板的顶部且位于石英环外套盘的内侧活动安装有石英环本体，所述固定板的顶部卡接有中心定位柱，中心定位柱的顶部固定安装有底面与固定板顶面活动连接的石英环内阻盘，石英环内阻盘外侧壁与石英环本体的内侧壁相贴合，所述石英环外套盘的顶部固定安装有外限位环，所述石英环内阻盘的顶部固定安装有内限位环，所述内限位环的内侧且位于石英环内阻盘的顶部固定安装有拉杆，所述石英环外套盘顶部的左右两侧均固定安装有外杆，外杆的内部活动连接有一端贯穿并延伸至外杆外部的活动杆，活动杆的外侧固定安装有连接块，连接块相对的一侧之间固定安装有顶盘，顶盘的底部转动连接有转盘，转盘的顶部固定安装有一端贯穿并延伸至顶盘顶部的转杆，所述转盘底部的左右均固定安装有固定套，固定套的内部卡接有石蜡块。

优选的，所述收液腔的顶面与底座的顶面在同一平面上，所述底座呈u形，所述底座的正面活动安装有挡板。

优选的，所述外圈导液槽和内圈导液槽分别位于石英环本体的外围和内围。

优选的，所述固定板顶部的四角均开设有与导柱相适配的导柱孔，所述导柱孔的一侧固定安装有开设在固定板内部的活动槽。

优选的，所述固定板顶部的中心处开设有与中心定位柱相适配的中心定位孔，所述固定板的前后左右四面均开设有起盘口。

优选的，所述石英环外套盘底部的四角均开设有与固定杆相适配的固定槽，所述石英环外套盘的内部开设有安装孔，所述安装孔的容积与石英环本体和石英环内阻盘两者体积之和相适配。

优选的，所述固定块的内部开设有与连接杆体积相适配的长条滑孔，所述石英环外套盘的左右两侧均开设有与固定块相适配的卡槽。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种分体式石英环涂蜡粘接装置，具备以下有益效果：

1、该分体式石英环涂蜡粘接装置，通过导柱卡紧在固定板上开设的导柱孔内，导柱与导齿啮合，导齿与固定杆啮合，使得导柱延伸至导柱孔内的同时固定杆反向延伸至石英环外套盘的底部，通过导柱和固定杆实现固定板与石英环外套盘组合的稳固性，通过推动固定块使之与石英环外套盘的两侧卡接，从而实现固定板与石英环外套盘组合的固定，通过中心定位柱卡紧在固定板上开设的中心定位孔内，实现固定板与石英环内阻盘的固定，反之，通过拉动拉杆使得石英环内阻盘与固定板分离，移动固定块使之与石英环外套盘分离，然后延起盘口将固定板和石英环外套盘分离，整体实现对涂蜡粘接装置的分体式安装和拆卸，石英环外套盘和石英环内阻盘之间形成圆形槽，将活动杆插进外杆内，使得石蜡块延伸至圆形槽的内部，然后转动转杆使得转盘转动，进而实现石蜡块在圆形槽内的匀速转动，实现固定石蜡涂抹均匀的目的，然后将活动杆与外杆分离，将顶盘、转盘、转杆、固定套和石蜡块结构取下，随后将石英环本体放置在圆形槽的内部进行下一工序，整体结构简单，避免传统涂蜡连接方式中使用铅笔对石英产品造成污染，降低了产品报废率，同时固体石蜡涂抹均匀，整体提高产品的生产质量，方便使用。

2、该分体式石英环涂蜡粘接装置，通过设置外圈导液槽和内圈导液槽来防止圆形槽内涂抹的石蜡块加热融化后流出，通过设置的外圈导液槽和内圈导液槽将部分流出的液体石蜡收集并通过流通孔流入到底座内部的收液腔内，整体结构简单，有效防止液化后的石蜡流出圆形槽，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中a处放大图；

图3为本实用新型连接杆和固定块的连接结构俯视图；

图4为本实用新型固定板、石英环外套盘和石英环内阻盘的爆炸结构示意图；

图5为本实用新型石英环外套盘、石英环本体和石英环内阻盘的连接结构俯视图。

图中：1底座、2收液腔、3固定板、4导柱、5石英环外套盘、6导齿、7固定杆、8固定环、9连接杆、10固定块、11石英环本体、12中心定位柱、13石英环内阻盘、14外限位环、15内限位环、16拉杆、17外圈导液槽、18内圈导液槽、19流通孔、20外杆、21活动杆、22连接块、23顶盘、24转盘、25转杆、26固定套、27石蜡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座1，底座1内部开设有收液腔2，收液腔2的顶面与底座1的顶面在同一平面上，底座1呈u形，底座1的正面活动安装有挡板，通过打开挡板，方便将底座1内部积留的石蜡液体取出，或者对收液腔2进行清洗工作，底座1的顶部固定安装有固定板3，固定板3的前后左右四面均开设有起盘口，固定板3的内部开设有外圈导液槽17，固定板3的内部开设有位于外圈导液槽17内侧且底部与外圈导液槽17相连通的内圈导液槽18，外圈导液槽17和内圈导液槽18分别位于石英环本体11的外围和内围，外圈导液槽17的底部固定安装有开设在固定板3上的流通孔19，流通孔19的底部与收液腔2的顶部连通，通过设置外圈导液槽17和内圈导液槽18来防止圆形槽内涂抹的石蜡块27加热融化后流出，通过设置的外圈导液槽17和内圈导液槽18将部分流出的液体石蜡收集并通过流通孔19流入到底座1内部的收液腔2内，整体结构简单，有效防止液化后的石蜡流出圆形槽，使用方便，固定板3顶部四角的内侧均活动安装有一端贯穿并延伸至固定板3外部的导柱4，固定板3顶部的四角均开设有与导柱4相适配的导柱孔，导柱孔的一侧固定安装有开设在固定板3内部的活动槽，导齿6、固定杆7和固定环8均位于活动槽的内部，导柱4的顶部固定安装有与固定板3活动连接的石英环外套盘5，导柱4相对的一侧均啮合有位于固定板3内腔的导齿6，导齿6通过转轴固定安装在固定板3的内腔内部，导齿6远离导柱4的一侧啮合有一端依次贯穿固定板3和石英环外套盘5并延伸至石英环外套盘5内部的固定杆7，所石英环外套盘5底部的四角均开设有与固定杆7相适配的固定槽，固定杆7的外侧滑动连接有与固定板3内腔固定连接的固定环8，底座1顶部的左右两侧均固定安装有连接杆9，连接杆9外侧的顶部活动安装有一端与石英环外套盘5卡接的固定块10，固定块10的内部开设有与连接杆9体积相适配的长条滑孔，石英环外套盘5的左右两侧均开设有与固定块10相适配的卡槽，通过导柱4卡紧在固定板3上开设的导柱孔内，导柱4与导齿6啮合，导齿6与固定杆7啮合，使得导柱4延伸至导柱孔内的同时固定杆7反向延伸至石英环外套盘5的底部，通过导柱4和固定杆7实现固定板3与石英环外套盘5组合的稳固性，通过推动固定块10使之与石英环外套盘5的两侧卡接，从而实现固定板3与石英环外套盘5组合的固定，通过中心定位柱12卡紧在固定板3上开设的中心定位孔内，实现固定板3与石英环内阻盘13的固定，反之，通过拉动拉杆16使得石英环内阻盘13与固定板3分离，移动固定块10使之与石英环外套盘5分离，然后延起盘口将固定板3和石英环外套盘5分离，整体实现对涂蜡粘接装置的分体式安装和拆卸。

固定板3的顶部且位于石英环外套盘5的内侧活动安装有石英环本体11，固定板3的顶部卡接有中心定位柱12，固定板3顶部的中心处开设有与中心定位柱12相适配的中心定位孔，中心定位柱12的顶部固定安装有底面与固定板3顶面活动连接的石英环内阻盘13，石英环内阻盘13外侧壁与石英环本体11的内侧壁相贴合，石英环外套盘5的内部开设有安装孔，安装孔的容积与石英环本体11和石英环内阻盘13两者体积之和相适配，石英环外套盘5和石英环内阻盘13之间形成与石英环本体11相适配的圆形槽，石英环外套盘5的顶部固定安装有外限位环14，石英环内阻盘13的顶部固定安装有内限位环15，外限位环14和内限位环15分别位于石英环本体11的外围和内围，内限位环15的内侧且位于石英环内阻盘13的顶部固定安装有拉杆16，石英环外套盘5顶部的左右两侧均固定安装有外杆20，外杆20的内部活动连接有一端贯穿并延伸至外杆20外部的活动杆21，活动杆21的外侧固定安装有连接块22，连接块22相对的一侧之间固定安装有顶盘23，顶盘23的底部转动连接有转盘24，转盘24的顶部固定安装有一端贯穿并延伸至顶盘23顶部的转杆25，顶盘23的底部开设有与转盘24相适配的转槽，转槽的顶部固定安装有开设在顶盘23内部的通孔，通孔与转杆25相适配，转盘24底部的左右均固定安装有固定套26，固定套26的内部卡接有石蜡块27，石英环外套盘5和石英环内阻盘13之间形成圆形槽，将活动杆21插进外杆20内，使得石蜡块27延伸至圆形槽的内部，然后转动转杆25使得转盘24转动，进而实现石蜡块27在圆形槽内的匀速转动，实现固定石蜡涂抹均匀的目的，然后将活动杆21与外杆20分离，将顶盘23、转盘24、转杆25、固定套26和石蜡块27结构取下，随后将石英环本体11放置在圆形槽的内部进行下一工序，整体结构简单，避免传统涂蜡连接方式中使用铅笔对石英产品造成污染，降低了产品报废率，同时固体石蜡涂抹均匀，整体提高产品的生产质量，方便使用。

在使用时，将固定板3安装在底座1上，将固定板3、石英环外套盘5和石英环内阻盘13安装好，在石英环外套盘5和石英环内阻盘13之间形成的圆形槽内涂抹石蜡块27，然后将石英环本体11放进去，然后将底座1和石英环本体11送去加工中心。

综上所述，该分体式石英环涂蜡粘接装置，通过导柱4卡紧在固定板3上开设的导柱孔内，导柱4与导齿6啮合，导齿6与固定杆7啮合，使得导柱4延伸至导柱孔内的同时固定杆7反向延伸至石英环外套盘5的底部，通过导柱4和固定杆7实现固定板3与石英环外套盘5组合的稳固性，通过推动固定块10使之与石英环外套盘5的两侧卡接，从而实现固定板3与石英环外套盘5组合的固定，通过中心定位柱12卡紧在固定板3上开设的中心定位孔内，实现固定板3与石英环内阻盘13的固定，反之，通过拉动拉杆16使得石英环内阻盘13与固定板3分离，移动固定块10使之与石英环外套盘5分离，然后延起盘口将固定板3和石英环外套盘5分离，整体实现对涂蜡粘接装置的分体式安装和拆卸，石英环外套盘5和石英环内阻盘13之间形成圆形槽，将活动杆21插进外杆20内，使得石蜡块27延伸至圆形槽的内部，然后转动转杆25使得转盘24转动，进而实现石蜡块27在圆形槽内的匀速转动，实现固定石蜡涂抹均匀的目的，然后将活动杆21与外杆20分离，将顶盘23、转盘24、转杆25、固定套26和石蜡块27结构取下，随后将石英环本体11放置在圆形槽的内部进行下一工序，整体结构简单，避免传统涂蜡连接方式中使用铅笔对石英产品造成污染，降低了产品报废率，同时固体石蜡涂抹均匀，整体提高产品的生产质量，方便使用。

并且，通过设置外圈导液槽17和内圈导液槽18来防止圆形槽内涂抹的石蜡块27加热融化后流出，通过设置的外圈导液槽17和内圈导液槽18将部分流出的液体石蜡收集并通过流通孔19流入到底座1内部的收液腔2内，整体结构简单，有效防止液化后的石蜡流出圆形槽，使用方便，解决了传统的涂蜡连接方式由于使用铅笔会对石英产品造成污染，因而产品在加工后期报废率极高，十分影响制品的良率的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。