一种螺杆泵的泵体结构的制作方法技术资料下载

技术编号:20883374

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本实用新型属于机械技术领域,涉及一种螺杆泵的泵体结构。背景技术随着科学技术的进步,真空技术也在不断地快速发展,各种真空设备的应用范围也越来越广。其中螺杆式真空泵以其结构简单且、可靠性高、寿命长、腔内完全无油对工件无污染、可直排且机械振动和噪音小、转速高且对介质粘度不敏感等优点而被广泛运用于航空航天、表面处理、化工、半导体、热核聚变、光伏、微纳米加工、电子行业、真空镀膜等行业。而螺杆泵在长期运行过程中,会有杂质进入并沉积在泵腔内,由于泵腔与螺杆转子之间的间隙一般都是很小的,当沉积的杂质过多时容易导...
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