技术编号：20893906
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种用于镀膜机腔体中的防护机构。背景技术由于溅射镀膜机溅射出来的材质一般比较贵重，在溅射镀膜工作过程中会同样溅射到机器的外箱侧壁上，或者溅射到基片托架导轨上，这样溅射机需要定期清理。清理时不仅困难繁琐，而且必须要停机操作，还很有可能造成清理不彻底，影响后续的镀膜产品的品质。在此基础上，本申请创设一种新的拆装方便的用于镀膜机腔体中的防护机构，使其能大大减少清理时间，还能方便回收贵重金属，使资源重复利用，节能环保。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供...
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