一种用于镀膜机腔体中的防护机构的制作方法

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种用于镀膜机腔体中的防护机构。

背景技术：

由于溅射镀膜机溅射出来的材质一般比较贵重，在溅射镀膜工作过程中会同样溅射到机器的外箱侧壁上，或者溅射到基片托架导轨上，这样溅射机需要定期清理。清理时不仅困难繁琐，而且必须要停机操作，还很有可能造成清理不彻底，影响后续的镀膜产品的品质。

在此基础上，

本技术：
创设一种新的拆装方便的用于镀膜机腔体中的防护机构，使其能大大减少清理时间，还能方便回收贵重金属，使资源重复利用，节能环保。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于镀膜机腔体中的防护机构，使其能大大减少清理时间，还能方便回收贵重金属，使资源重复利用，节能环保，从而克服现有的镀膜机存在的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括两个相对设置的一类防护板和两个相对设置的二类防护板，所述一类防护板和二类防护板彼此相接，围成具有四个侧壁的防护箱，所述一类防护板设置在镀膜机腔体中基片托架导轨的两侧，且所述一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，所述二类防护板设置在所述基片托架导轨上方且与其垂直设置，所述二类防护板上开设有与所述基片托架导轨相对应且贯通的缺口。

进一步改进，还包括设置在靶材与所述一类防护板之间的挡板插件，所述挡板插件包括多个，彼此相接形成靶材面至所述一类防护板通孔之间的防护通道。

进一步改进，所述防护箱和防护通道均属于可拆卸结构。

进一步改进，还包括用于固定在镀膜机外箱体内壁上的限位板。

进一步改进，所述限位板采用l型板或u型板，包括至少两个，至少两个限位板分别固定在靶材的两侧，且所述至少两个限位板之间的距离等于所述一类防护板的长度距离。

进一步改进，所述限位板包括四个，分别用于设置在所述防护箱的四角，以实现对所述防护箱的限位。

进一步改进，还包括设置在所述基片托架导轨上的导轨防护罩，所述导轨防护罩的中心开设有用于基片托架移动的移动槽。

进一步改进，所述导轨防护罩通过销轴固定在基片托架导轨上。

进一步改进，所述防护箱架设在所述导轨防护罩上部，且所述防护箱底部结构与所述导轨防护罩上部结构相匹配。

采用这样的设计后，本实用新型至少具有以下优点：

1.本实用新型用于镀膜机腔体中的防护机构通过设置可拆卸的具有四个侧壁的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。

2.还通过加设防护通道，进一步的防止溅射金属从靶材与一类防护板之间的缝隙溅出，防护效果加强。

3.还通过设置限位板，方便防护箱每次拆卸后重新安装时的位置固定，简化了操作，提高了效率。

4.还通过在基片托架导轨上设置导轨防护罩，能更好的防止靶离子或靶分子溅射到基片托架导轨上，以及导轨中的轴承上，进一步保证了防护效果。

附图说明

上述仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是现有镀膜机腔体中靶材和基片托架导轨的结构示意图。

图2是本实用新型用于镀膜机腔体中的防护机构的结构示意图。

具体实施方式

附图1就是现有镀膜机腔体中靶材1和基片托架导轨2的结构示意图，当基片随托架在基片托架导轨2上匀速移动，通过靶材面时，接收靶材的镀膜，但由于没有任何遮挡防护，靶离子或靶分子会溅射到镀膜机箱体侧壁上，以及基片托架导轨上，甚至是镀膜机腔体内的一些精密机构中，造成不易清理，不易回收溅射金属，还会随着时间的推移，影响机器精度和流畅性，最终导致影响生产效率和产品质量。

附图2是本实用新型用于镀膜机腔体中的防护机构的结构示意图。参照附图2所示，本实施例用于镀膜机腔体中的防护机构，包括两个相对设置的一类防护板11和两个相对设置的二类防护板12，该一类防护板11和二类防护板12彼此相接，围成具有四个侧壁的防护箱。该一类防护板11设置在基片托架导轨2的两侧，且该一类防护板11上开设有与靶材面相对的通孔13。该二类防护板12设置在该基片托架导轨2上方且与其垂直设置，该二类防护板12上开设有与该基片托架导轨2相对应且贯通的缺口14。这样该防护箱既不影响镀膜工作的顺利进行，又能防止镀膜时镀膜金属向镀膜室箱体侧壁上的溅射，而是将溅射金属拦截在该防护箱内侧。

该防护箱属于可拆卸结构，可以采用本领域任何便于拆卸的结构，便于定期拆下，对其内侧进行清理，也方便对清理掉的溅射金属离子进行回收，实现资源重复利用的目的。

本实施例防护机构还包括设置在靶材1与该一类防护板11之间的挡板插件16，该挡板插件16包括上下左右四个护板，其彼此相接形成靶材面至该一类防护板通孔13之间的防护通道。该防护通道能进一步的防止靶材面上的靶离子或靶分子溅射到一类防护板外侧壁上。当然，该挡板插件可以包括多个，只要能起到本申请防护目的即可。

进一步改进，为了防止防护箱每次拆卸后重新安装时位置的不确定性，本实施例中还包括用于固定在镀膜机外箱体内壁上的限位板15。

本实施例中该限位板15采用l型板或u型板，包括四个，该四个限位板15分别固定在该防护箱的四角处，用于实现对该防护箱的限位，方便该防护箱的拆装。当然，该限位板还可根据镀膜室腔体的实际空间，设置一个、两个或三个。

还为了防止靶离子或靶分子溅射到基片托架导轨2上，本申请防护机构还包括设置在该基片托架导轨2上的导轨防护罩21。该导轨防护罩21的中心开设有用于供基片托架移动的移动槽22。该移动槽22与二类防护板12上的缺口14相对应，保证基片托架的顺利移动。

本实施例中该导轨防护罩21通过销轴23固定在基片托架导轨2上。该防护箱架设在该导轨防护罩21上部，且该防护箱底部结构与该导轨防护罩21上部结构相匹配，这样形成防护箱与防护罩之间的紧密接触，防止溅射金属溅射的其他地方。该防护罩21也能实现方便的拆卸，利于定期清理和回收溅射金属。

本实用新型用于镀膜机腔体中的防护机构防护全面，设置灵活，能很好的保证了溅射金属溅射在防护箱内部、防护通道内部以及防护罩上部，防护效果，并且该防护机构均方便拆卸，利于定期进行清理，可以减少清理卫生时耽误生产，还可以回收贵重金属，重复利用，节能环保，降低成本。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，本领域技术人员利用上述揭示的技术内容做出些许简单修改、等同变化或修饰，均落在本实用新型的保护范围内。

技术特征：

1.一种用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，包括两个相对设置的一类防护板和两个相对设置的二类防护板，所述一类防护板和二类防护板彼此相接，围成具有四个侧壁的防护箱，所述一类防护板设置在镀膜机腔体中基片托架导轨的两侧，且所述一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，所述二类防护板设置在所述基片托架导轨上方且与其垂直设置，所述二类防护板上开设有与所述基片托架导轨相对应且贯通的缺口。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，还包括设置在靶材与所述一类防护板之间的挡板插件，所述挡板插件包括多个，彼此相接形成靶材面至所述一类防护板通孔之间的防护通道。

3.根据权利要求1所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述防护箱和防护通道均属于可拆卸结构。

4.根据权利要求1所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，还包括用于固定在镀膜机外箱体内壁上的限位板。

5.根据权利要求4所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述限位板采用l型板或u型板，包括至少两个，至少两个限位板分别固定在靶材的两侧，且所述至少两个限位板之间的距离等于所述一类防护板的长度距离。

6.根据权利要求5所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述限位板包括四个，分别用于设置在所述防护箱的四角，以实现对所述防护箱的限位。

7.根据权利要求1至6任一项所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，还包括设置在所述基片托架导轨上的导轨防护罩，所述导轨防护罩的中心开设有用于基片托架移动的移动槽。

8.根据权利要求7所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述导轨防护罩通过销轴固定在基片托架导轨上。

9.根据权利要求8所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述防护箱架设在所述导轨防护罩上部，且所述防护箱底部结构与所述导轨防护罩上部结构相匹配。

技术总结
本实用新型公开了一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括由一类防护板和二类防护板围成的可拆卸的防护箱，一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，二类防护板上开设有与导轨相对应且贯通的缺口。还包括设置在靶材与一类防护板之间的防护通道、设置在导轨上的导轨防护罩，以及限位板。本实用新型通过设置可拆卸的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。还通过加设防护通道和导轨防护罩，能进一步加强防护效果。还通过设置限位板，方便防护箱的拆装。该防护机构结构简单、易于拆装，防护效果好，节能环保。

技术研发人员：唐志强;姜钧
受保护的技术使用者：承德奥斯力特电子科技有限公司
技术研发日：2019.07.18
技术公布日：2020.05.26