技术编号:21209085
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及洁净厂房的防微振建筑结构的技术领域,尤其涉及一种防微振平台。背景技术在集成电路生产过程中,由于线宽尺寸越来越小,受制于环境的因素也越来越多,从一块硅片开始到一块芯片产出,中间要经过几百道物理、化学的加工工序。在此期间,如果遭受任何污染,就会产生大量问题产品,如光刻工序,很小的微振动会引起对焦不准,曝光后的线路模糊,降低产品的成品率。除了对防微振动的要求,集成电路在生产过程中对空气的质量要求也比较高,空气在生产厂房内的滞留会携带较多的尘埃、颗粒、水汽、细菌等,不利于集成电路的生产。如...
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