一种防微振平台的制作方法

本实用新型涉及洁净厂房的防微振建筑结构的技术领域，尤其涉及一种防微振平台。

背景技术：

在集成电路生产过程中，由于线宽尺寸越来越小，受制于环境的因素也越来越多，从一块硅片开始到一块芯片产出，中间要经过几百道物理、化学的加工工序。在此期间，如果遭受任何污染，就会产生大量问题产品，如光刻工序，很小的微振动会引起对焦不准，曝光后的线路模糊，降低产品的成品率。除了对防微振动的要求，集成电路在生产过程中对空气的质量要求也比较高，空气在生产厂房内的滞留会携带较多的尘埃、颗粒、水汽、细菌等，不利于集成电路的生产。

如图1所示，目前硅集成电路前工序工艺生产洁净厂房的fab层(即工艺层)一般单独采用华夫板1(即waffle)的结构形式建成防微振平台，具体的，在支撑柱2之间以及由支撑柱2围成的区域内都是采用华夫板1的结构形式。在fab层上设置有穿透fab层的通孔3，满足净化空气从上而下垂直层流的功能。但是采用该设置方式所建成的防微振平台，在竖直方向上的刚度较差。

技术实现要素：

本实用新型提供一种防微振平台，以提高工艺层的刚度，改善工艺层的微振现象。

本实用新型提供了一种防微振平台，该防微振平台包括沿竖直方向层叠的工艺层及回风层，其中，工艺层位于回风层的上方，且工艺层及回风层间隔设置以形成第一回风夹道。该防微振平台还包括环绕设置在工艺层上的第一围护墙、以及环绕设置在回风层上的第二围护墙。其中，第一围护墙及第二围护墙间隔设置以形成第二回风夹道，且第一回风夹道与第二回风夹道连通。上述防微振平台还包括设置在第一围护墙顶部且与工艺层相对的过滤器，且过滤器与第二回风夹道连通。上述防微振平台还包括用于支撑所述工艺层及所述回风层且阵列排列的多个支撑柱。其中，工艺层包括位于每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的cheese板、以及位于由cheese板围成的口字形区域内的华夫板，且cheese板及华夫板上设置有与第一回风夹道连通的通孔。

在上述的方案中，通过在工艺层上相邻的两个支撑柱之间设置cheese板、在由cheese板围成的口字型区域内设置华夫板，以提高工艺层上的竖向刚度，提高工艺层的防微振性能，使工艺层满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

在一个具体的实施方式中，每个支撑柱包括第一支撑柱以及第二支撑柱。其中，第二支撑柱的端面面积小于第一支撑柱的端面面积，第一支撑柱的横截面的形状为倒置的等腰梯形。第一支撑柱与cheese板固定连接，第二支撑柱穿过回风层并与第一支撑柱固定连接，且第二支撑柱与回风层固定连接。通过采用上端较大下端较小的结构作为支撑柱，以提高防微振平台的防微振性能。

在一个具体的实施方式中，每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间设置有连接两个支撑柱的钢筋砼梁，位于相邻的两个支撑柱之间的通孔设置在钢筋砼梁上，以在相邻的两个支撑柱之间形成cheese板，简化设置难度，提高工艺层的刚度及防微振性能。

在一个具体的实施方式中，钢筋砼梁表面设置有smc(sheetmoidingcompoungd，玻璃纤维高分子材料)模板，以防止钢筋砼梁上的灰尘、颗粒状杂质掉落，从而提高洁净厂房内的洁净度。

在一个具体的实施方式中，smc模板的抗拉强度不小于55mpa，smc模板的弯曲强度不小于110mpa，以提高smc模板的受力性能，便于采用浇灌方式制作出钢筋砼梁。

在一个具体的实施方式中，smc模板的比重不小于7.809克/立方厘米，以提高smc模板的性能。

在一个具体的实施方式中，smc模板的阻燃指数不小于20，以提高smc模板的防火性能。

在一个具体的实施方式中，smc模板的材料中具有玻璃纤维，玻璃纤维的质量占比为25％-35％，以提高smc模板的力学性能。

在一个具体的实施方式中，钢筋砼梁的横截面的形状为倒置的等腰梯形，以提高工艺层的防微振性能。

在一个具体的实施方式中，钢筋砼梁的顶侧的宽度为200mm，钢筋砼梁的底侧的宽度为160mm，以便于钢筋砼梁标准化，简化结构，便于加工。

在一个具体的实施方式中，每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的间距为4800mm、6000mm、7200mm或其组合，以提高洁净厂房的受力性能，便于洁净厂房标准化及模块化。

在一个具体的实施方式中，上述防微振平台还包括设置在第二围护墙顶部的天花板，其中，天花板及过滤层间隔设置以形成第三回风夹道，且第三回风夹道与第二回风夹道连通，以便于过滤器吹出的洁净空气的循环利用。

在一个具体的实施方式中，在每排支撑柱或每排支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的间距为4800mm时，华夫板或cheese板的厚度不小于1000mm，钢筋砼梁的厚度不小于1000mm，以使工艺层满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。在每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的间距为6000mm时，华夫板或cheese板的厚度不小于1200mm，钢筋砼梁的厚度不小于1200mm，以使工艺层满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。在每排支撑柱或每排支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的间距为7200mm时，华夫板或cheese板的厚度不小于1300mm，钢筋砼梁的厚度不小于1300mm，以使工艺层满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

在一个具体的实施方式中，第一支撑柱的截面尺寸在1400mm*1400mm-1500mm*1500mm之间，第二支撑柱的截面尺寸不小于600mm*600mm，以使工艺层满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

在一个具体的实施方式中，华夫板、cheese板及支撑柱均为钢筋混凝土结构，以便于设置。在具体设置上述的钢筋混凝土结构时，钢筋混凝土结构的强度等级不小于c30，以使工艺层满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

附图说明

图1为现有技术的工艺层楼板的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种防微振平台的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种工艺层的结构示意图；

图4为图3提供的工艺层上的b-b面剖视图；

图5为图3提供的工艺层上的c-c面剖视图；

图6为本实用新型实施例提供的另一种工艺层的结构示意图；

图7为图6提供的工艺层上的b-b面剖视图；

图8为图6提供的工艺层上的c-c面剖视图；

图9为本实用新型实施例提供的另一种工艺层的结构示意图；

图10为图9提供的工艺层上的b-b面剖视图；

图11为图9提供的工艺层上的c-c面剖视图。

附图标记：

11-工艺层12-回风层13-第一回风夹道

21-第一围护墙22-第二围护墙23-第二回风夹道

30-过滤器40-支撑柱41-第一支撑柱

42-第二支撑柱50-通孔51-cheese板52-华夫板

511-钢筋砼梁53-smc模板60-天花板61-第三回风夹道

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。

为了方便理解本实用新型实施例提供的防微振平台，首先说明一下其应用场景。该防微振平台用于放置加工集成电路的工艺设备，作为加工集成电路的场所。下面结合附图对本实用新型实施例提供的防微振平台进行详细的描述。

参考图2及图3，本实用新型实施例提供了一种防微振平台，该防微振平台包括沿竖直方向层叠的工艺层11及回风层12，工艺层11位于回风层12的上方，且工艺层11及回风层12间隔设置以形成第一回风夹道13。其中，工艺层11作为放置加工集成电路的工艺设备，作为加工集成电路的核心场所。回风层12与工艺层11间隔设置，以形成用于回风的第一回风夹道13。

参考图2及图3，上述防微振平台还包括用于支撑所述工艺层11及所述回风层12且阵列排列的多个支撑柱40。工艺层11包括位于每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的cheese板51、以及位于由cheese板51围成的口字形区域内的华夫板52，且cheese板51及华夫板52上设置有与第一回风夹道13连通的通孔50。其中，上述cheese板51为现有技术中的cheese板51，华夫板52为现有技术中的华夫板52。通过在工艺层11上相邻的两个支撑柱40之间设置cheese板51、在由cheese板51围成的口字型区域内设置华夫板52，以提高工艺层11上的竖向刚度，提高工艺层11的防微振性能。另外，cheese板51及华夫板52上的通孔50的开孔率不小于25.97％，具体的，cheese板51及华夫板52上通孔50的开孔率可以为25.97％、26.00％、26.10％、26.20％等不小于25.97％的任意值,以满足净化空气从上而下垂直层流的功能，提高洁净区内的洁净度。

在具体设置每个支撑柱40时，参考图2、图4及图5，每个支撑柱40包括第一支撑柱41以及第二支撑柱42。其中，第二支撑柱42的端面面积小于第一支撑柱41的端面面积，第一支撑柱41的横截面的形状为倒置的等腰梯形。在具体设置第一支撑柱41时，第一支撑柱41与工艺层11固定连接，第二支撑柱42穿过回风层12并与第一支撑柱41固定连接，且第二支撑柱42与回风层12固定连接。第一支撑柱41及第二支撑柱42的截面形状可以为矩形，还可以为圆形。在第一支撑柱41及第二支撑柱42的截面形状为矩形，在具体确定上述第一支撑柱41的尺寸时，可以设置第一支撑柱41的横截面尺寸在1400mm*1400mm-1500mm*1500mm之间，具体的，可以设置第一支撑柱41的剖截面的形状为等腰梯形，例如第一支撑柱41的上端的截面尺寸为1500mm*1500mm，第一支撑柱41的下端的截面尺寸为1400mm*1400mm，以使第一支撑柱41的尺寸为标准件，便于第一支撑柱41的设置。应当理解的是，上述仅仅示出了具体确定第一支撑柱41的尺寸的一种方式，除此之外，还可以采用其他的方式。在具体确定第二支撑柱42的截面尺寸时，第二支撑柱42的截面尺寸可以设置为不小于600mm*600mm，具体的，第二支撑柱42的截面尺寸可以为650mm*650mm、600mm*650mm、650mm*700mm等不小于600mm*600mm的任意值。通过采用上端较大下端较小的结构作为支撑柱40，以提高防微振平台的防微振性能。应当理解的是，上述仅仅示出了设置支撑柱的一种方式，除此之外，还可以采用其他的方式。

在具体排列支撑柱40时，参考图3、图4及图5，每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距可以为4800mm，以使多个支撑柱40形成4800mm*4800mm的间距。参考图6、图7及图8，还可以设置每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为6000mm，以使多个支撑柱40形成6000mm*6000mm的间距。参考图9、图10、图11，还可以设置每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为7200mm，以使多个支撑柱40形成7200mm*7200mm的间距。应当理解的是，相邻两个支撑柱40之间的间距的设置方式并不限于上述示出的方式，除此之外，还可以采用其他的方式。例如，还可以设置每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为7200mm，每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为4800mm，以使多个支撑柱40形成4800mm*7200mm的间距。还可以设置每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为4800mm，每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为6000mm，以使多个支撑柱40形成4800mm*6000mm的间距。还可以设置每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为6000mm，每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为7000mm，以使多个支撑柱40形成6000mm*7200mm的间距。通过采用支撑柱40之间的间距为固定的间距，以提高洁净厂房的受力性能，便于洁净厂房标准化及模块化。

另外，在每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距较大时，可以设置华夫板52及cheese板51的厚度大些；在每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距较小时，可以设置华夫板52及cheese板51的厚度小些。具体设置时，参考图3、图4及图5，在每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为4800mm时，可以设置华夫板52及cheese板51的厚度不小于1000mm，具体的，华夫板52及cheese板51的厚度具体可以为1000mm、1050mm、1100mm、1150mm、1200mm等不小于1000mm的任意值。此时，第一支撑柱41的厚度也不小于1000mm，具体的，第一支撑柱41的厚度具体可以为1000mm、1050mm、1100mm、1150mm、1200mm等不小于1000mm的任意值，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

参考图6、图7及图8，在每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为6000mm时，可以设置华夫板52及cheese板51的厚度不小于1200mm，具体的，华夫板52及cheese板51的厚度具体可以为1200mm、1250mm、1300mm、1350mm、1400mm等不小于1200mm的任意值。此时，第一支撑柱41的厚度也不小于1200mm，具体的，第一支撑柱41的厚度具体可以为1200mm、1250mm、1300mm、1350mm、1400mm等不小于1200mm的任意值，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

参考图9、图10及图11，在每排支撑柱40或每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为7200mm时，可以设置华夫板52及cheese板51的厚度不小于1300mm，具体的，华夫板52及cheese板51的厚度具体可以为1300mm、1350mm、1400mm、1450mm、1400mm等不小于1300mm的任意值。此时，第一支撑柱41的厚度也不小于1300mm，具体的，第一支撑柱41的厚度具体可以为1300mm、1350mm、1400mm、1450mm、1500mm等不小于1300mm的任意值，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

在具体设置上述的cheese板51时，每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间设置有连接两个支撑柱40的钢筋砼梁511，位于相邻的两个支撑柱40之间的通孔50设置在钢筋砼梁511上，以在相邻的两个支撑柱40之间形成cheese板51，简化设置难度，提高工艺层11的刚度及防微振性能。

在具体设置钢筋砼梁511时，钢筋砼梁511的横截面的形状为倒置的等腰梯形，以提高工艺层11的防微振性能。具体的，可以设置钢筋砼梁511的顶侧的宽度为200mm，钢筋砼梁511的底侧的宽度为160mm，以便于钢筋砼梁511标准化，简化结构，便于加工。另外，钢筋砼梁511的厚度可以与第一支撑柱41的厚度相等，在每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距较大时，可以使钢筋砼梁511的厚度大些；在每排支撑柱40或每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距较小时，可以使钢筋砼梁511的厚度小些。具体的，参考图3、图4及图5，在每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为4800mm时，可以设置钢筋砼梁511的厚度不小于1000mm，具体的，钢筋砼梁511的厚度可以为1000mm、1050mm、1100mm、1150mm、1200mm等不小于1000mm的任意值，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。参考图6、图7及图8，在每排支撑柱40或每列支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为6000mm时，可以设置钢筋砼梁511的厚度不小于1200mm，具体的，钢筋砼梁511的厚度可以为1200mm、1250mm、1300mm、1350mm、1400mm等不小于1200mm的任意值，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。参考图9、图10及图11，在每排支撑柱40或每排支撑柱40中相邻的两个支撑柱40之间的间距为7200mm时，可以设置钢筋砼梁511的厚度为1300mm，具体的，钢筋砼梁511的厚度可以为1300mm、1350mm、1400mm、1450mm、1500mm等不小于1300mm的任意值，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。应当理解的是，上述仅仅示出了钢筋砼梁511的一种方式，除此之外，还可以采用其他的方式。

在具体设置时，钢筋砼梁511表面设置有smc模板53，以防止钢筋砼梁511上的灰尘、颗粒状杂质掉落，从而提高洁净厂房内的洁净度。另外，在制作钢筋砼梁511时，可以通过采用smc模板53制作出用于浇筑钢筋砼梁511的外模，之后通过浇筑的方式制作出钢筋砼梁511，且便于钢筋砼梁511与smc模板53之间的连接，提高钢筋砼梁511及smc模板53之间连接的稳定性。

在具体选择smc模板53时，可以选择smc模板53的抗拉强度不小于55mpa，具体的，smc模板53的抗拉强度可以为55mpa、60mpa、65mpa、70mpa、75mpa等不小于55mpa的任意值。可以选择smc模板53的弯曲强度不小于110mpa，具体的，smc模板53的弯曲强度可以为110mpa、115mpa、120mpa、125mpa、130mpa等不小于110mpa的任意值。通过上述的方式，以提高smc模板53的受力性能，便于采用浇灌方式制作出钢筋砼梁511。可以选择smc模板53的比重不小于7.809克/立方厘米，具体的，smc模板53的比重可以为7.809克/立方厘米、7.900克/立方厘米、8.000克/立方厘米、8.100克/立方厘米等不小于7.809克/立方厘米的任意值，以提高smc模板53的性能。可以选择smc模板53的阻燃指数不小于20，即smc模板53的其氧指数在20以上，具体的,smc模板53的其氧指数可以为20、23、25、27、30等不小于20的任意值，以符合消防法规中b1难燃等级，提高smc模板53的防火性能。另外，smc模板53的材料中具有玻璃纤维，玻璃纤维的质量占比为25％-35％，具体的，玻璃纤维的质量占比可以为25％、27％、30％、32％、35％等介于25％-35％之间的任意值，以提高smc模板53的力学性能。

另外，在使用smc模板53前，可以通过实验测试，以使所选取的smc模板53符合玻璃纤维增强热固性塑料耐化学介质性能试验方法gb/t3857-2017或等效测试方式时，smc模板5324小时无变化，以提高smv模板的整体良率。可以对smc模板53的voc有机挥发物分析，具体的方式为，在室温下，对smc模板53进行24小时测试，以检测苯乙烯的含量，使不含有苯乙烯的smc模板53应用到实际的加工过程中。

在具体设置上述的华夫板52、cheese板51及支撑柱40时，华夫板52、cheese板51及支撑柱40可以均为钢筋混凝土结构，设置时，可以采用浇筑混凝土的方式，以便于设置。在具体设置上述的钢筋混凝土结构时，钢筋混凝土结构的强度等级不小于c30，具体的，钢筋混凝土结构的强度等级可以为c30、c35、c40等不小于c30的任意值。其中，上述c30、c35、c40为现有技术中表征钢筋混凝土结构强度等级的标准参数。通过采用上述的方式，以使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即4.6微米/秒)的要求。

参考图2，上述防微振平台还包括设置在第二围护墙22顶部的天花板60，其中，天花板60及过滤层间隔设置以形成第三回风夹道61，且第三回风夹道61与第二回风夹道23连通，以便于过滤器30吹出的洁净空气的循环利用。

参考图2及图3，该防微振平台还包括环绕设置在工艺层11上的第一围护墙21、以及环绕设置在回风层12上的第二围护墙22。其中，第一围护墙21及第二围护墙22间隔设置以形成第二回风夹道23，且第一回风夹道13与第二回风夹道23连通。上述防微振平台还包括设置在第一围护墙21顶部且与工艺层11相对的过滤器30，且过滤器30与第二回风夹道23连通。采用上述的方式，使工艺层11上的通孔50与第一回风夹道13连通，且使第一回风夹道13与第二回风夹道23连通，使过滤器30输入到工艺层11的洁净空气经过工艺层11后，从工艺层11上的通孔50通入到第一回风夹道13内，之后从第一回风夹道13通入到第二回风夹道23，之后通过过滤器30后再次通入到工艺层11内，以使洁净空气形成一个循环的系统，提高洁净空气的利用效率。

通过在工艺层11上相邻的两个支撑柱40之间设置cheese板51、在由cheese板51围成的口字型区域内设置华夫板52，以提高工艺层11上的竖向刚度，提高工艺层11的防微振性能，使工艺层11满足微振控制标准vc-d⁺(即微振平台的垂直方向振动在1-80hz范围内，三分之一倍频带的振动幅值标准为4.6微米/秒)的要求。与现有技术中采用单独采用华夫板52作为制作工艺层11的楼板方式相比，在工艺层11的厚度相同的情况下，本实用新型实施例提供的工艺层11的竖向刚度较大，从而降低了竖向振动，提高了防微振平台的防微振性能。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。