1.一种防微振平台，其特征在于，包括：
沿竖直方向层叠的工艺层(11)及回风层(12)，其中，所述工艺层(11)位于所述回风层(12)的上方；且所述工艺层(11)及所述回风层(12)间隔设置以形成第一回风夹道(13)；
环绕设置在所述工艺层(11)上的第一围护墙(21)，以及环绕设置在所述回风层(12)上的第二围护墙(22)；所述第一围护墙(21)及所述第二围护墙(22)间隔设置以形成第二回风夹道(23)，且所述第一回风夹道(13)与所述第二回风夹道(23)连通；
设置在所述第一围护墙(21)顶部且与所述工艺层(11)相对的过滤器(30)，且所述过滤器(30)与所述第二回风夹道(23)连通；
用于支撑所述工艺层(11)及所述回风层(12)且阵列排列的多个支撑柱(40)；
其中，所述工艺层(11)包括位于每排支撑柱(40)或每列支撑柱(40)中相邻的两个支撑柱(40)之间的cheese板(51)、以及位于由所述cheese板(51)围成的口字形区域内的华夫板(52)；且所述cheese板(51)及所述华夫板(52)上设置有与所述第一回风夹道(13)连通的通孔(50)。
2.如权利要求1所述的防微振平台，其特征在于，每个支撑柱(40)包括第一支撑柱(41)以及第二支撑柱(42)；其中，所述第二支撑柱(42)的端面面积小于所述第一支撑柱(41)的端面面积，所述第一支撑柱(41)的横截面的形状为倒置的等腰梯形；
所述第一支撑柱(41)与所述cheese板(51)固定连接；所述第二支撑柱(42)穿过所述回风层(12)并与所述第一支撑柱(41)固定连接，且所述第二支撑柱(42)与所述回风层(12)固定连接。
3.如权利要求1所述的防微振平台，其特征在于，每排支撑柱(40)或每列支撑柱(40)中相邻的两个支撑柱(40)之间设置有连接所述两个支撑柱(40)的钢筋砼梁(511)，位于所述相邻的两个支撑柱(40)之间的通孔(50)设置在所述钢筋砼梁(511)上，以在所述相邻的两个支撑柱(40)之间形成所述cheese板(51)。
4.如权利要求3所述的防微振平台，其特征在于，所述钢筋砼梁(511)表面设置有smc模板。
5.如权利要求4所述的防微振平台，其特征在于，所述smc模板的抗拉强度不小于55mpa，所述smc模板的弯曲强度不小于110mpa。
6.如权利要求4所述的防微振平台，其特征在于，所述smc模板的阻燃指数不小于20。
7.如权利要求4所述的防微振平台，其特征在于，所述smc模板的材料中具有玻璃纤维，所述玻璃纤维的质量占比为25％-35％。
8.如权利要求3-7任一项所述的防微振平台，其特征在于，所述钢筋砼梁(511)的横截面的形状为倒置的等腰梯形。
9.如权利要求8所述的防微振平台，其特征在于，所述钢筋砼梁(511)的顶侧的宽度为200mm，所述钢筋砼梁(511)的底侧的宽度为160mm。
10.如权利要求3所述的防微振平台，其特征在于，每排支撑柱(40)或每列支撑柱(40)中相邻的两个支撑柱(40)之间的间距为4800mm、6000mm、7200mm或其组合。
11.如权利要求10所述的防微振平台，其特征在于，在每排支撑柱(40)或每排支撑柱(40)中相邻的两个支撑柱(40)之间的间距为4800mm时，所述华夫板(52)及所述cheese板(51)的厚度不小于1000mm，所述钢筋砼梁(511)的厚度不小于1000mm；
在每排支撑柱(40)或每列支撑柱(40)中相邻的两个支撑柱(40)之间的间距为6000mm时，所述华夫板(52)及所述cheese板(51)的厚度不小于1200mm，所述钢筋砼梁(511)的厚度不小于1200mm；
在每排支撑柱(40)或每排支撑柱(40)中相邻的两个支撑柱(40)之间的间距为7200mm时，所述华夫板(52)及所述cheese板(51)的厚度不小于1300mm，所述钢筋砼梁(511)的厚度不小于1300mm。
12.如权利要求1所述的防微振平台，其特征在于，所述华夫板(52)、所述cheese板(51)及所述支撑柱(40)均为钢筋混凝土结构，且所述钢筋混凝土结构的强度等级不小于c30。