技术编号:21366355
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及锂钴氧化物溅射靶的领域。更具体地,本发明涉及即使在直流模式下也可进行溅射的锂钴氧化物溅射靶。背景技术可再充电薄膜电池(rtfb)可以是超薄(200μm)的可再充电固态电池,具有快速再充电和长的寿命。例如,它们可以应用在屏幕上装有电池的超薄手机中。其他应用例如是“物联网”设备或芯片电池中的rtfb。在图1中示意性地示出rtfb的基本实例。它包括在阴极侧的第一电极11、阴极12、固体电解质13、阳极14、在阳极侧的第二电极15的堆叠。钴酸锂(licoo2)可用作这些rtfb的阴极材料。因此...
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