技术编号:21408503
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对准系统、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。背景技术最近,作为平板显示装置,有机el显示装置备受关注。有机el显示装置作为自发光显示器,响应速度、视角、薄型化等特性优于液晶面板显示器,在监视器、电视机、以智能手机为代表的各种便携式终端等中快速代替现有的液晶面板显示器。另外,其应用领域也扩展到汽车用显示器等。构成有机el显示装置的有机发光元件(有机el元件:oled)具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有进行发光的有机物层的基本结构。有机el元件的有机物层和电极金属...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。